[發明專利]磁控濺射鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201410029234.9
• 申請日: 2014-01-22
• 公開（公告）號: CN103789739A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 王魯南;王建華;竇立峰
• 申請（專利權）人: 南京匯金錦元光電材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 王清義

技術領域

本技術涉及磁控濺射鍍膜裝置。

背景技術

柔性卷對卷磁控濺射鍍膜生產過程中，考慮到生產工藝的要求，磁控濺射鍍膜工作腔通常會設置2個或更多。如果圖1所示的卷對卷磁控濺射鍍膜裝置，殼體100內從左到右依次為上料儲藏腔4、磁控濺射工作腔5、磁控濺射工作腔6、下料儲藏腔7，一共有4個真空腔體。相鄰兩個真空腔體之間設置有隔板12，隔板上開有板縫13。在上料儲藏腔4內設置有放料輥8，在下料儲藏腔7設置有收卷輥9，在磁控濺射工作腔設置有磁控濺射靶機10。需要鍍膜的柔性透明薄膜11經放料輥的放卷，通過板縫13依次進入磁控濺射工作腔6，下料儲藏腔7，最后進入下料儲藏腔7經收卷輥收卷。

相鄰的兩個腔體之間通過板縫互為連通，以便于柔性基帶運行。一般情況下，柔性透明薄膜11的寬度為1300mm，長度為1000-3000米，由此以來，整個磁控濺射鍍膜裝置的真空腔體空間巨大，一次真空準備時間（由大氣狀態至真空工作狀態（通常在10^-3-10^-7?Pa）約需7-8小時。圖1所示的是兩個工作腔，如果工作腔再增加，真空腔體的數量還會增加，真空準備時間更長。

在濺射鍍膜生產過程當中，時常會因上料、更換靶機中的靶材、相應腔體清潔、設備維護等，需要將腔體打開。操作完成后重新開始抽真空。一次真空準備耗時8小時，一個月中因上料每運行6小時更換一次、靶機中的靶材3天更換一次、相應腔體清潔一周一次、設備維護一周一次等，一個月會開腔數十次。因開腔后抽真空就要耗時占全部時間的57%，工時利用率極低，而且浪費大量的能源。

發明內容

本技術的目的是提供一種能夠有效縮短抽真空時間，節約能源，提高設備有效利用率的磁控濺射鍍膜裝置。

本磁控濺射鍍膜裝置，包括多個真空腔體，相鄰兩腔體之間以隔板分隔，其特征是：隔板兩側壁上均開有v形槽，兩個v形槽的頂端相對；把相鄰兩腔體連通的板縫開在兩v形槽的頂端之間；在v形槽處設置有兩個隔離條，隔離條沿著v形槽的長度方向延伸，兩個隔離條位于v形槽的對稱軸的兩側，隔離條與v形槽的斜側面相對的表面為與v形槽斜側面相平行的斜面，兩個隔離條相對的平面相互平行；在v形槽的長度方向上，板縫的長度小于隔離條長度，隔離條長度小于v形槽長度；隔離條與驅動裝置相連；兩個隔離條在驅動裝置帶動下移動時，隔離條的斜面與v形槽的斜側面接觸并在斜側面的導向下，兩個隔離條相對移動，兩個隔離條相對的平面相接觸。

本技術的有益效果：需要對打開某一個腔體時，先把該腔體與相鄰的腔體密封分隔，然后再對該腔體進行操作（如維修、清潔等等）。操作完成后，再對該腔體抽真空。由于無需對磁控濺射鍍膜裝置的所有腔體抽真空，所以極大的縮短了真空準備時間，同時也節約了抽真空的能耗。

把一個腔體與其它腔體密封分隔的操作過程如下：通過驅動裝置驅動該腔體內的隔離條向v形槽移動，使得隔離條的斜面與v形槽的斜側面接觸，之后繼續驅動隔離移動，在v形槽斜側面的導向下，兩個隔離條相對移動，使得兩個隔離條相對的平面把位于兩個隔離條之間的柔性透明薄膜夾緊。此時，兩個隔離條的兩端密封接觸、隔離條與v形槽的斜側面密封接觸，也就是說，隔離條把與相鄰腔體相通的板縫完全封閉。

當隔離條把板縫完全封閉后，對該腔體逐漸充氣釋放該腔體的真空，此時該腔體的真空度小于相鄰腔體的真空度，該腔體與相鄰的真空腔體之間則形成壓力差。由于此壓力差的作用，將兩個隔離條推向v形槽的斜側面，使得兩個隔離條之間以及隔離條與v形槽之間貼合的更緊，閉合程度更好，密封性也更好。所以，由于壓力差的作用，對于驅動裝置來說，而無需施加更大的外力作用也能達到很好密封效果。這樣，就能可靠的將該腔體與相鄰腔體隔離。當該對腔體操作完畢后，需要該腔體恢復真空時，逐漸對該腔體抽真空，該腔體與相鄰腔體之間的壓力差減小直至消失，施加于隔離條的壓力消除，隔離條在驅動裝置的作用下方向移動，兩個隔離條相互分離松開被夾緊的柔性透明薄膜，使該腔體和相鄰的腔體又通過板縫連通，即可進入工作狀態。

上述的磁控濺射鍍膜裝置，兩個隔離條之間設置有常態時使得兩個隔離條相對的平面相互分離的彈性裝置。彈性裝置能夠使得兩個隔離條在本磁控濺射鍍膜裝置正常工作時相互分離，防止兩個隔離條壓住從隔離條之間通過的柔性透明薄膜。

上述的磁控濺射鍍膜裝置，驅動裝置包括能夠沿著v形槽的對稱軸移動的前后移動裝置，兩端分別與隔離條和前后移動裝置鉸接的連桿。最好，兩個連桿之間設置有常態時使得連接在連桿上的兩個隔離條相對的平面相互分離的彈性裝置。