[發(fā)明專利]光阻干燥裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410028504.4
• 申請日: 2014-01-21
• 公開（公告）號: CN103760696A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐彬;鄧沖
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 廣東廣和律師事務(wù)所 44298
• 代理人: 劉敏

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及干燥技術(shù)，尤其涉及一種抽取光阻內(nèi)溶劑的光阻干燥裝置。

背景技術(shù)

彩色濾光片(Color?Filer,CF)是薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)中的重要元件之一，制作彩色濾光片包括在玻璃基板上進行光阻涂布、曝光、顯影、光阻剝離以及鍍膜等步驟。為了方便被涂布在玻璃基板上，光阻內(nèi)加入了大量的溶劑(solvent)，然而，這些溶劑并非有效成分，光阻涂布完成后，需要使用真空干燥裝置(Vacuum?Dry,VCD)將光阻內(nèi)的溶劑去除，以不影響后續(xù)的曝光顯影等動作。

真空干燥裝置去除光阻內(nèi)的溶劑，具體為將涂布有光阻的玻璃基板放置在一密封腔體內(nèi)的承載板上，然后利用抽氣泵抽取腔體內(nèi)的空氣以將光阻內(nèi)的溶劑抽取干凈。目前，真空干燥裝置有在腔體上方開設(shè)多個抽氣孔進行抽氣及在腔體下方開設(shè)單個抽氣孔進行抽氣兩種類型。在腔體上方開設(shè)多個抽氣孔進行抽氣的抽氣氣流較大，容易造成光阻上表面先干燥，而光阻內(nèi)的溶劑無法輕易被抽取出來，導(dǎo)致孔位附近的光阻與其他區(qū)域的光阻存在較大差異，產(chǎn)生色不均現(xiàn)象。由于承載板的阻隔，在腔體下方開設(shè)單個抽氣孔進行抽氣的抽氣位置是在光阻的邊緣，即光阻的邊緣的抽氣氣流很大，此處的溶劑較易被抽取，而光阻中心區(qū)域離抽氣點較遠，此處的溶劑較難被抽取，若要將光阻中心區(qū)域的溶劑抽干，則需要花較多的抽氣時間，即抽氣效率不高。

因此，有必要提供能夠解決上述問題的光阻干燥裝置。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實施例提供了一種光阻干燥裝置，用于抽取光阻中的溶劑。該光阻干燥裝置包括腔體、開設(shè)有多個篩孔的篩板及抽氣單元。該腔體包括開設(shè)有一個抽氣孔的頂壁、與該頂壁相對的底壁以及連接該頂壁與該底壁的側(cè)壁，涂布有該光阻的玻璃基板位于該腔體內(nèi)。該篩板收容在該腔體內(nèi)并位于該光阻與該頂壁之間。該抽氣單元位于該腔體外并與該抽氣孔連接以通過該抽氣孔從該腔體內(nèi)抽氣。

其中，該篩板安裝在該側(cè)壁上且與該側(cè)壁緊密接觸。

其中，該篩板、該頂壁及該側(cè)壁共同圍成第一通風(fēng)腔，該篩板、該底壁及該側(cè)壁共同圍成第二通風(fēng)腔，該第一通風(fēng)腔與該第二通風(fēng)腔通過該多個篩孔連通。

其中，該抽氣孔位于該頂壁的中心位置，該篩板的中心與該抽氣孔對準，該多個篩孔自遠離該篩板的中心呈由疏到密排布。

其中，該多個篩孔的數(shù)量與該篩板上某處到該篩板的中心的距離滿足關(guān)系式：，其中，n為該多個篩孔的數(shù)量，x為該篩板上某處到該篩板的中心的距離，h(x)為篩孔的分布密度。

其中，該光阻干燥裝置還包括一個承載板，該承載板固設(shè)在該底壁上，該涂布有該光阻的玻璃基板承載在該承載板上，且該光阻遠離該承載板。

其中，該光阻干燥裝置還包括多個支撐桿，每個支撐桿的一端固設(shè)在該底壁上，另一端與該承載板固定連接。

其中，該抽氣單元包括一個抽氣泵、一個閥門以及一個通風(fēng)管，該通風(fēng)管的一端與該抽氣泵連接，另一端裝設(shè)在該抽氣孔內(nèi)以與該腔體連通，該閥門裝設(shè)在該通風(fēng)管上用以控制該通風(fēng)管與該抽氣泵的相通的面積。

其中，該腔體呈圓柱體，該篩板呈圓柱體。

其中，該腔體呈長方體，該篩板呈長方體。

本發(fā)明所提供的光阻干燥裝置的頂壁僅開設(shè)有一個抽氣孔，抽氣氣流相較開設(shè)多個抽氣孔要小，而且開設(shè)有多個篩孔的篩板對該氣流有均勻及穩(wěn)定作用，可以避免因抽氣氣流較大或氣流不穩(wěn)造成光阻的色不均現(xiàn)象。另外，由于是在該腔體的上方設(shè)置抽氣孔進行抽氣，抽氣位置針對的是整個光阻，而不局限于在該光阻的邊緣，因此，抽氣效率較高。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明第一實施例所提供的光阻干燥裝置的立體示意圖。

圖2是圖1中的光阻干燥裝置的部分剖面示意圖。

圖3是圖1中的光阻干燥裝置中的篩板的平面示意圖。

圖4是相同面積的篩板上的篩孔的數(shù)量關(guān)系圖。

圖5是本發(fā)明第二實施例所提供光阻干燥裝置中的立體示意圖。

圖6是圖5中的光阻干燥裝置中的篩板的平面示意圖。

具體實施方式