[發(fā)明專利]光阻干燥裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410028504.4
• 申請(qǐng)日: 2014-01-21
• 公開（公告）號(hào): CN103760696A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐彬;鄧沖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13
• 代理公司: 廣東廣和律師事務(wù)所 44298
• 代理人: 劉敏

1.一種光阻干燥裝置，用于抽取光阻(300)中的溶劑，其特征在于，該光阻干燥裝置(100)包括：

腔體(10)，該腔體(10)包括開設(shè)有一個(gè)抽氣孔(120)的頂壁(12)、與該頂壁(12)相對(duì)的底壁(14)以及連接該頂壁(12)與該底壁(14)的側(cè)壁(16)，涂布有該光阻(300)的玻璃基板(200)位于該腔體(10)內(nèi)；

開設(shè)有多個(gè)篩孔(44)的篩板(40)，該篩板(40)收容在該腔體(10)內(nèi)并位于該光阻(300)與該頂壁(12)之間；

抽氣單元(50)，位于該腔體(10)外并與該抽氣孔(120)連接以通過該抽氣孔(120)從該腔體(10)內(nèi)抽氣。

2.如權(quán)利要求1所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該篩板(40)安裝在該側(cè)壁(16)上且與該側(cè)壁(16)緊密接觸。

3.如權(quán)利要求2所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該篩板(40)、該頂壁(12)及該側(cè)壁(16)共同圍成第一通風(fēng)腔(101)，該篩板(40)、該底壁(14)及該側(cè)壁(16)共同圍成第二通風(fēng)腔(103)，該第一通風(fēng)腔(101)與該第二通風(fēng)腔(103)通過該多個(gè)篩孔(44)連通。

4.如權(quán)利要求2所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該抽氣孔(120)位于該頂壁(12)的中心位置，該篩板(40)的中心(42)與該抽氣孔(120)對(duì)準(zhǔn)，該多個(gè)篩孔(44)自遠(yuǎn)離該篩板(40)的中心(42)呈由疏到密排布。

5.如權(quán)利要求4所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該多個(gè)篩孔(44)的數(shù)量與該篩板(40)上某處到該篩板(40)的中心(42)的距離滿足關(guān)系式：，其中，n為該多個(gè)篩孔(44)的數(shù)量，x為該篩板(40)上某處到該篩板(40)的中心(42)的距離，h(x)為篩孔(44)的分布密度。

6.如權(quán)利要求5所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該光阻干燥裝置(100)還包括一個(gè)承載板(30)，該承載板(30)固設(shè)在該底壁(14)上，該涂布有該光阻(300)的玻璃基板(200)承載在該承載板(30)上，且該光阻(300)遠(yuǎn)離該承載板(30)。

7.如權(quán)利要求6所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該光阻干燥裝置(100)還包括多個(gè)支撐桿(20)，每個(gè)支撐桿(20)的一端固設(shè)在該底壁(14)上，另一端與該承載板(30)固定連接。

8.如權(quán)利要求7所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該抽氣單元(50)包括一個(gè)抽氣泵(52)、一個(gè)閥門(54)以及一個(gè)通風(fēng)管(56)，該通風(fēng)管(56)的一端與該抽氣泵(52)連接，另一端裝設(shè)在該抽氣孔(120)內(nèi)以與該腔體(10)連通，該閥門(54)裝設(shè)在該通風(fēng)管(56)上用以控制該通風(fēng)管(56)與該抽氣泵(52)相通的面積。

9.如權(quán)利要求1所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該腔體(10)呈圓柱體，該篩板(40)呈圓柱體。

10.如權(quán)利要求1所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該腔體(10)呈長方體，該篩板(40)呈長方體。