[發明專利]用于靜電防護的半導體結構在審
| 申請號: | 201410022415.9 | 申請日: | 2014-01-17 |
| 公開(公告)號: | CN104733442A | 公開(公告)日: | 2015-06-24 |
| 發明(設計)人: | 柯鈞鐘;吳志倫;林碩彥 | 申請(專利權)人: | 臺灣類比科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/60 | 分類號: | H01L23/60 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 靜電 防護 半導體 結構 | ||
1.一種用于靜電防護的半導體結構,其特征在于,所述半導體結構設置在一個集成電路上,所述集成電路包含一個封環(seal?ring)設置在所述集成電路的外圍,一個金屬環設置在所述封環的內側,以及一個電源總線設置在所述金屬環的一側,所述半導體結構包含:
一個第一P型電極區,形成在一個P型井上相對應于所述封環的位置,且耦接至所述封環;
一個第二P型電極區,形成在所述P型井上相對應于所述金屬環的位置,且耦接至所述金屬環;以及
一個第一N型電極區,形成在相對應于所述電源總線的位置,且耦接至所述電源總線;
其中,所述封環及所述金屬環耦接至一個接地端,所述電源總線耦接至一個電壓源。
2.根據權利要求1所述的半導體結構,其特征在于,所述第一P型電極區、所述第二P型電極區及所述第一N型電極區之間被多個絕緣區所隔開。
3.根據權利要求2所述的半導體結構,其特征在于,所述多個絕緣區為場效氧化(Field?Oxide,FOX)區。
4.根據權利要求1所述的半導體結構,其特征在于,所述第一N型電極區部分形成在所述P型井及一個N型井上。
5.根據權利要求1所述的半導體結構,其特征在于,所述第一N型電極區形成在所述P型井上。
6.根據權利要求5所述的半導體結構,其特征在于,所述集成電路另包含一個N型井耦接至所述電壓源。
7.根據權利要求5所述的半導體結構,其特征在于,所述P型井形成在一個P型基底上,所述集成電路另包含一個N型埋入層設置在所述P型井及所述P型基底之間。
8.根據權利要求1所述的半導體結構,其特征在于,所述電源總線設置在所述封環及所述金屬環之間。
9.根據權利要求8所述的半導體結構,其特征在于,所述第一N型電極區向外延伸形成一個N型摻雜區,且所述N型摻雜區的摻雜濃度較第一N型電極區的摻雜濃度低。
10.根據權利要求1所述的半導體結構,其特征在于,所述半導體結構另包含:
一個第二N型電極區,形成在所述P型井上相對應于所述封環的位置,且耦接至所述封環;以及
一個第三N型電極區,形成在所述P型井上相對應于所述金屬環的位置,且耦接至所述金屬環。
11.根據權利要求10所述的半導體結構,其特征在于,所述第二N型電極區較所述第一P型電極區接近所述第一N型電極區,且所述第三N型電極區較所述第二P型電極區接近所述第一N型電極區。
12.根據權利要求1所述的半導體結構,其特征在于,所述集成電路另包含多個耦接單元,用于耦接所述封環及所述金屬環。
13.根據權利要求1所述的半導體結構,其特征在于,所述封環、所述金屬環及所述電源總線設置在同一層。
14.一種用于靜電防護的半導體結構,其特征在于,所述半導體結構設置在一個集成電路上,所述集成電路包含一個封環(seal?ring)設置在所述集成電路的外圍,一個金屬環設置在所述封環的內側,以及一個電源總線設置在所述金屬環的一側,所述半導體結構包含:
一個第一N型電極區,形成在一個N型井上相對應于所述封環的位置,且耦接至所述封環;
一個第二N型電極區,形成在所述N型井上相對應于所述電源總線的位置,且耦接至所述電源總線;以及
一個第一P型電極區,形成在相對應于所述金屬環的位置,且耦接至所述金屬環;
其中,所述封環及所述電源總線耦接至一個電壓源,所述金屬環耦接至一個接地端。
15.根據權利要求14所述的半導體結構,其特征在于,所述第一N型電極區、所述第二N型電極區及所述第一P型電極區之間被多個絕緣區所隔開。
16.根據權利要求15所述的半導體結構,其特征在于,所述多個絕緣區為場效氧化(Field?Oxide,FOX)區。
17.根據權利要求14所述的半導體結構,其特征在于,所述半導體結構另包含一個P型井,所述第一P型電極區部分形成在所述P型井上。
18.根據權利要求14所述的半導體結構,其特征在于,所述金屬環設置在所述封環及所述電源總線之間。
19.根據權利要求18所述的半導體結構,其特征在于,所述集成電路另包含一個金屬層,設置在所述封環、所述金屬環及所述電源總線上方,用于耦接所述封環及所述電源總線。
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