[發明專利]沉積源和有機層沉積設備

有效

• 申請號: 201410018562.9
• 申請日: 2014-01-15
• 公開（公告）號: CN104178732B
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 李寶羅
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/12
• 分類號: C23C14/12;C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 王占杰,韓芳

1.一種沉積源，所述沉積源包括：

排放管，構造為釋放包括有機材料的流體；

坩堝，包括：i)與排放管相鄰的第一表面，其中，第一表面具有第一高度并被構造為接觸從排放管釋放的流體；ii)遠離第一表面延伸的第二表面，其中，第二表面被構造為接觸流自第一表面的流體，其中，第二表面具有比第一高度低的第二高度；

排泄管，與第二表面相鄰，并且被構造為排放流自第二表面的流體；以及

連接管，使排泄管和排放管互相連接，其中，連接管被構造為提供從排泄管排放到排放管的流體。

2.根據權利要求1所述的沉積源，其中，第一表面和第二表面形成臺階金字塔。

3.根據權利要求1所述的沉積源，其中，第一表面和第二表面形成圓錐形。

4.根據權利要求1所述的沉積源，其中，第一表面和第二表面形成斜坡。

5.根據權利要求1所述的沉積源，其中，第一表面和第二表面形成多個臺階。

6.根據權利要求1所述的沉積源，所述沉積源還包括：

加熱器，與坩堝相鄰并且被構造為加熱坩堝。

7.一種有機層沉積設備，所述有機層沉積設備包括：

沉積源；

沉積靶材；以及

掩模，位于沉積源和沉積靶材之間并且包括對應于將要形成在沉積靶材上的有機層的開口圖案，

其中，沉積源包括：

排放管，構造為釋放包括有機材料的流體；

坩堝，包括：i)連接排放管的第一表面，其中，第一表面具有第一高度并且被構造為接觸從排放管釋放的流體；ii)遠離第一表面延伸的第二表面，其中，第二表面被構造為接觸流自第一表面的流體，其中，第二表面具有比第一高度低的第二高度；

排泄管，與第二表面相鄰并被構造為排放流自第二表面的流體；以及

連接管，使排泄管和排放管互相連接，其中，連接管被構造為提供從排泄管排放到排放管的流體。

8.一種沉積源，所述沉積源包括：

排放管，構造為釋放包括有機材料的流體；

坩堝，包括：第一表面和與第一表面相鄰的第二表面，其中，第一表面與排放管相鄰并且第二表面的高度低于第一表面的高度；以及

排泄管，與第二表面相鄰，其中，排泄管被構造為向排放管再供給流體。