[發明專利]分析樣品的方法、用于分析樣品的帶電粒子束裝置和計算機可讀介質

有效

• 申請號: 201410017457.3
• 申請日: 2014-01-15
• 公開（公告）號: CN104089966B
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: E.希爾;S.比恩
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司
• 主分類號: G01N23/20
• 分類號: G01N23/20;G01N23/22
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邱軍

1.一種使用帶電粒子束裝置(1)分析物體(24)的方法，

-所述帶電粒子束裝置(1)包括用于產生帶電粒子束的帶電粒子源(4)、用于將所述帶電粒子束聚焦在所述物體(24)上的物鏡(8)、用于檢測互相作用輻射的第一檢測器(17A)和用于檢測互相作用粒子的第二檢測器(17B)，

其中，所述方法包括以下步驟：

-通過將樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)布置在樹脂(15B)中而提供包括所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)和所述樹脂(15B)的所述物體(24)；

-使用所述帶電粒子源(4)產生所述帶電粒子束；

-使用所述物鏡(8)將所述帶電粒子束引導到所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)和所述樹脂(15B)上；

-在所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)和所述樹脂(15B)上引導所述帶電粒子束；

-因所述帶電粒子束與所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)的互相作用以及所述帶電粒子束與所述樹脂(15B)的互相作用，產生從所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)和所述樹脂(15B)發射出的互相作用輻射；

-通過使用所述第一檢測器(17A)檢測所述互相作用輻射來識別布置有所述樹脂(15B)的第一區域，并識別布置有所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)的第二區域；

-通過使用所述第二檢測器(17B)檢測互相作用粒子來識別所述第一區域中的樹脂(15B)的至少一個粒子的位置或所述第二區域中的樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)的至少一個粒子的位置，其中，所述互相作用粒子由所述帶電粒子束與所述樹脂(15B)或所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)的所述至少一個粒子的互相作用產生；以及

-使用所述帶電粒子束分析所述樹脂(15B)或所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)的所述至少一個粒子。

2.如權利要求1所述的方法，其中，產生所述互相作用輻射包括產生陰極發光光。

3.如權利要求1或2所述的方法，其中，分析所述樹脂(15B)或所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)的所述至少一個粒子包括使用所述第二檢測器(17B)檢測所述互相作用粒子。

4.如權利要求3所述的方法，其中，檢測所述互相作用粒子包括檢測由所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)發射或從所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)反向散射的互相作用粒子。

5.如權利要求1、2或4所述的方法，其中，分析所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)包括檢測電磁輻射和檢測X射線形式的電磁輻射中的至少一個。

6.如權利要求3所述的方法，其中，分析所述樣品(15A、15A′、15A″、15A″′)包括檢測電磁輻射和檢測X射線形式的電磁輻射中的至少一個。

7.一種存儲計算機軟件的計算機可讀介質，用于使用帶電粒子束裝置(1)分析物體(24)，所述計算機軟件包括可執行代碼，所述可執行代碼在微處理器(19)中運行，其中，當所述計算機軟件加載在所述微處理器(19)中且所述可執行代碼在所述微處理器(19)中運行時，執行根據上述權利要求任一項所述的方法。

8.一種用于分析物體(24)的帶電粒子束裝置(1)，所述帶電粒子束裝置(1)包括：

-帶電粒子源(4)，用于產生帶電粒子束；

-物鏡(8)，用于使所述帶電粒子束聚焦在所述物體(24)上；

-第一檢測器(17A)，用于檢測互相作用輻射；

-第二檢測器(17B)，用于檢測互相作用粒子；

-微處理器(19)；以及

-根據權利要求7所述的計算機可讀介質。

9.如權利要求8所述的帶電粒子束裝置(1)，其中，

-所述帶電粒子束裝置(1)是電子束裝置；或者

-所述帶電粒子束裝置(1)是離子束裝置。