[發(fā)明專利]涂敷方法及涂敷裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410015555.3
• 申請日: 2011-07-27
• 公開（公告）號: CN103721913A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 大石誠士
• 申請（專利權(quán)）人: 東京應(yīng)化工業(yè)株式會社
• 主分類號: B05D1/26
• 分類號: B05D1/26;B05D3/12;B05C11/08;B05C13/02;B05C11/10
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 雒運樸

本申請是申請日為2011年7月27日、申請?zhí)枮?01110212716.4、發(fā)明名稱為“涂敷方法及涂敷裝置”的發(fā)明專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及涂敷方法及涂敷裝置。

本申請基于2010年7月29日在日本申請的特愿2010-170475號及2010年7月29日在日本申請的特愿2010-170476號主張優(yōu)先權(quán)，在此引用其內(nèi)容。

背景技術(shù)

近年來，太陽能電池在各種用途上備受關(guān)注。在太陽能電池用基板的制造工序中，包括在半導(dǎo)體基板的表面涂敷擴散材料的工序。在這種太陽能電池用涂敷裝置上正在要求經(jīng)濟且高速節(jié)拍的裝置。

但是，一直以來，在制造IC等半導(dǎo)體裝置時，作為使晶片及保持晶片的卡盤部旋轉(zhuǎn)，用離心力在其表面涂敷抗蝕劑的涂敷裝置，已知有旋涂機(例如，參照專利文獻1)。因此，作為用于在太陽能電池用基板上涂敷擴散材料的裝置，考慮使用上述的旋涂機。

專利文獻1日本特開平06-20935號公報

但是，例如，當將旋涂機直接應(yīng)用于擴散材料的涂敷時，需要耗費處理時間，不能經(jīng)濟地制造太陽能電池用基板，具有實用性低這種問題。另外，由于太陽能電池用基板比晶片還薄，因此例如當將上述旋涂機直接應(yīng)用于擴散材料的涂敷時，保持于卡盤部的太陽能電池用基板就會向下垂，由此具有缺乏穩(wěn)定性這種問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于這種課題而開發(fā)的，其目的在于，提供一種能夠縮短節(jié)拍且能夠既經(jīng)濟又穩(wěn)定地在基板上涂敷液體材料的涂敷方法及涂敷裝置，且提供一種能夠?qū)μ柲茈姵赜没迥菢颖〉姆叫位辶己玫赝糠髷U散材料的涂敷裝置。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明第一方式(aspect)提供一種涂敷方法，該方法通過使保持有基板的卡盤部旋轉(zhuǎn)，而將液體材料擴散涂覆于所述基板的表面，其特征在于，包括：對位于基板載置位置的所述卡盤部載置基板的載置工序；將載置有所述基板的所述卡盤部從所述基板載置位置向進行旋轉(zhuǎn)動作的旋轉(zhuǎn)位置移動的移動工序；在所述旋轉(zhuǎn)位置使所述卡盤部進行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)工序，在所述載置工序和所述移動工序之間包括向載置于所述卡盤部的所述基板的表面滴下所述液體材料的滴下工序。

根據(jù)本發(fā)明第一方式的涂敷方法，在載置工序和移動工序之間，向載置于卡盤部的基板的表面滴下液體材料，因此能夠?qū)崿F(xiàn)涂敷工序的節(jié)拍的縮短。

另外，在本發(fā)明第一方式的涂敷裝置中，優(yōu)選的是，在所述滴下工序中，以使所述卡盤部進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)進行。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠預(yù)先在基板的表面擴散涂覆液體材料，能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)拍縮短。

另外，本發(fā)明第一方式的涂敷裝置中，優(yōu)選的是，所述滴下工序中的所述卡盤部的轉(zhuǎn)速設(shè)定為比所述旋轉(zhuǎn)工序的所述卡盤部的轉(zhuǎn)速低。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠在不從基板溢出的范圍內(nèi)良好地擴散涂覆液體材料。

另外，本發(fā)明第一方式的涂敷裝置中，優(yōu)選的是，所述滴下工序中的所述卡盤部的轉(zhuǎn)速設(shè)定為50rpm以下。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠以不從基板溢出的方式擴散涂覆液體材料，因此能夠縮短將液體材料甩開的旋轉(zhuǎn)工序的時間。

另外，本發(fā)明第一方式的涂敷裝置中，優(yōu)選的是，在所述旋轉(zhuǎn)工序中，所述卡盤部在防止所述液體材料飛散的防飛散用杯內(nèi)進行旋轉(zhuǎn)。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在旋轉(zhuǎn)工序時，能夠可靠地防止液體材料向周圍飛散。

另外，本發(fā)明第一方式的涂敷裝置中，優(yōu)選的是，所述旋轉(zhuǎn)工序中的所述卡盤部的旋轉(zhuǎn)動作為4000rpm以上的轉(zhuǎn)數(shù)，且在5秒以內(nèi)進行。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒁后w材料遍及基板的整個面而可靠地擴散涂覆。

另外，本發(fā)明第一方式的涂敷裝置中，優(yōu)選的是，使向所述基板滴下所述液體材料的噴嘴相對于所述卡盤部進退。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于采用了噴嘴相對于卡盤部進退的結(jié)構(gòu)，因此噴嘴不會妨礙基板向卡盤部的搬入工序。

另外，本發(fā)明第一方式的涂敷裝置中，優(yōu)選的是，所述噴嘴的進退方向與所述基板相對于所述卡盤部的搬入方向平行。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠縮短噴嘴的移動距離，能夠?qū)崿F(xiàn)涂敷工序整體的節(jié)拍的縮短。

另外，本發(fā)明第一方式的涂敷裝置中，優(yōu)選的是，在將所述基板向所述卡盤部載置的時刻的同時，使所述噴嘴與所述基板對置。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于在基板向卡盤部載置的時刻的同時，噴嘴與基板對置，因此消除了噴嘴移動到卡盤部時的等待時間。

另外，本發(fā)明第一方式的涂敷裝置中，優(yōu)選的是，在所述旋轉(zhuǎn)工序中，進行對所述基板的背面加以清洗的背面沖洗處理。