[發明專利]涂敷方法及涂敷裝置

有效

• 申請號: 201410015555.3
• 申請日: 2011-07-27
• 公開（公告）號: CN103721913A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 大石誠士
• 申請（專利權）人: 東京應化工業株式會社
• 主分類號: B05D1/26
• 分類號: B05D1/26;B05D3/12;B05C11/08;B05C13/02;B05C11/10
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 雒運樸

1.一種涂敷方法，該方法通過使保持有基板的卡盤部旋轉，而將液體材料擴散涂覆于所述基板的表面，其特征在于，包括：

對位于基板載置位置的所述卡盤部載置基板的載置工序；

將載置有所述基板的所述卡盤部從所述基板載置位置向進行旋轉動作的旋轉位置移動的移動工序；

在所述旋轉位置使所述卡盤部進行旋轉的旋轉工序，

在所述載置工序和所述移動工序之間包括向載置于所述卡盤部的所述基板的表面滴下所述液體材料的滴下工序。

2.如權利要求1所述的涂敷方法，其特征在于，

在所述滴下工序中，以使所述卡盤部進行旋轉的狀態進行。

3.如權利要求2所述的涂敷方法，其特征在于，

所述滴下工序中的所述卡盤部的轉速設定為比所述旋轉工序中的所述卡盤部的轉速低。

4.如權利要求3所述的涂敷方法，其特征在于，

所述滴下工序中的所述卡盤部的轉速設定為50rpm以下。

5.如權利要求3所述的涂敷方法，其特征在于，

在所述旋轉工序中，所述卡盤部在防止所述液體材料飛散的防飛散用杯內進行旋轉。

6.如權利要求3所述的涂敷方法，其特征在于，

所述旋轉工序中的所述卡盤部的旋轉動作為4000rpm以上的轉數，且在5秒以內進行。

7.如權利要求1所述的涂敷方法，其特征在于，

使向所述基板滴下所述液體材料的噴嘴相對于所述卡盤部進退。

8.如權利要求7所述的涂敷方法，其特征在于，

所述噴嘴的進退方向與所述基板相對于所述卡盤部的搬入方向平行。

9.如權利要求7所述的涂敷方法，其特征在于，

在將所述基板向所述卡盤部載置的時刻的同時，使所述噴嘴與所述基板對置。

10.如權利要求1所述的涂敷方法，其特征在于，

在所述旋轉工序中，進行對所述基板的背面加以清洗的背面沖洗處理。

11.如權利要求1所述的涂敷方法，其特征在于，

作為所述液體材料，使用粘度在20cp以上的材料。

12.如權利要求1～11中任一項所述的涂敷方法，其特征在于，

所述基板為太陽能電池用基板。

13.一種涂敷裝置，其通過使基板旋轉，而在所述基板的表面擴散涂覆液體材料，其特征在于，具備：

噴嘴，其向所述基板滴下所述液體材料；

卡盤部，其在保持有所述基板的狀態下可旋轉，并在載置所述基板的基板載置位置和進行所述旋轉的旋轉位置之間進行升降動作；

控制部，其控制所述噴嘴，以使該噴嘴在所述卡盤部開始向所述旋轉位置移動之前的時刻，向載置在位于所述基板載置位置的所述卡盤部上的所述基板的表面滴下所述液體材料。