[發明專利]振動片、振子、振蕩器、傳感器以及電子設備

有效

• 申請號: 201410012335.5
• 申請日: 2010-11-10
• 公開（公告）號: CN103731118A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 山田明法
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/21
• 分類號: H03H9/21;H03H9/15
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黃綸偉;馬建軍

本發明專利申請是發明名稱為“振動器件及電子設備”、申請日為2010年11月10日、申請號為“201010542414.9”的發明專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及彎曲振動的振動片、具有該振動片的振子、振蕩器、傳感器以及電子設備。

背景技術

在專利文獻1中公開了一種振動片，該振動片具有基部、和從基部突出形成的振動臂部（以下稱作振動臂），在振動臂上形成有槽部，在基部中形成有切入部。

此外，在專利文獻2中公開了一種音叉型振子（以下稱作振動片），該音叉型振子在設為U字狀等的音叉前端具有附加值量部分（以下稱作施重部），并具有向音叉基部的兩外側橫向或橫向上方突出的支撐部。

【專利文獻1】日本特開2002－280870號公報

【專利文獻2】日本實公昭51－10755號公報

專利文獻1的振動片通過在基部中形成有切入部，能夠緩和從振動臂向基部的漏振，從而能夠實現CI值（Q值）的波動抑制。

但是，專利文獻1的振動片不能通過其結構實現Q值自身的提高。

專利文獻2的振動片在音叉（以下稱作振動臂）的前端具有施重部，因此能夠實現Q值的提高而不增長振動臂。

但是，專利文獻2的振動片為使支撐部向基部的兩外側橫向或橫向上方突出的結構，因此難以不使包含支撐部的基部大型化地實現Q值的提高。

發明內容

本發明正是為了解決上述課題的至少一部分而提出的，能夠作為如下的形式或者適用例來實現。

[適用例1]本適用例的振動片的特征在于，所述振動片具有：基部，在其一端與另一端之間設置有切入部；一對振動臂，在俯視時該一對振動臂從所述基部的所述一端起沿著第1方向延伸；以及支撐部，在俯視時該支撐部與所述基部的另一端側連接，所述振動臂的機械諧振頻率f比所述振動臂的熱緩和頻率f₀大，當設在俯視時所述切入部的外緣與所述一對振動臂之間的分叉部的外緣之間的最短距離為基部彎曲寬度Wb，設假想振動臂的臂寬為有效臂寬We時，滿足Wb＞We的關系，其中，所述假想振動臂沿著包含與所述第1方向交叉的第2方向和所述振動臂的厚度方向的面的截面形狀為矩形，所述假想振動臂的機械諧振頻率與所述振動臂的機械諧振頻率f相等，熱彈性損失與所述振動臂的熱彈性損失等價，厚度與所述振動臂的厚度相同。

[適用例2]在上述適用例的振動片中，優選當設伴隨所述切入部的所述外緣與所述分叉部的所述外緣之間的彎曲振動而產生的溫度差為dΘ_b，設伴隨作為與所述一對振動臂之間的連接部的根部在所述第2方向上的兩端之間的彎曲振動而產生的溫度差為dΘ時，滿足Wb＞We×dΘ_b/dΘ的關系，其中，dΘ_b＜dΘ。

[適用例3]在上述適用例的振動片中，優選所述一對振動臂在相互處于正反關系的第1主面和第2主面中的至少一個主面上沿著所述第1方向設置有槽部。

[適用例4]在上述適用例的振動片中，優選所述一對振動臂包含施重部和與所述施重部相比配置得更靠基部側的臂部。

[適用例5]在上述適用例的振動片中，優選所述施重部沿著所述第2方向的寬度比所述臂部寬。

[適用例6]在上述適用例的振動片中，優選所述支撐部具有在俯視時從所述基部的所述另一端側沿著所述第2方向延伸的第1突出部和在俯視時從所述第1突出部起沿著所述第1方向延伸的第2突出部，該第2突出部沿著所述第2方向與所述振動臂并列設置。

[適用例7]本適用例的振子的特征在于，該振子具有所述振動片和收納有所述振動片的封裝。

[適用例8]在上述適用例的振子中，優選所述支撐部利用由環氧系、硅系、聚酰亞胺系中的任意一者構成的接合材料安裝在設于所述封裝的電極盤上。

[適用例9]在上述適用例的振子中，優選所述支撐部利用凸塊安裝在設于所述封裝的電極盤上。

[適用例10]本適用例的振蕩器的特征在于，該振蕩器具有所述振動片和IC芯片。

[適用例11]本適用例的傳感器的特征在于，該傳感器具有所述振動片。

[適用例12]本適用例的電子設備的特征在于，該電子設備具有所述振動片。

附圖說明

圖1是示出石英振子的概略結構的示意圖，（a）是俯視圖，（b）是截面圖。

圖2是針對絕熱區域進行說明的示意圖。

圖3是針對振動臂的有效臂寬進行說明的示意圖。

圖4是示出了計算振動臂的有效臂寬的步驟的流程圖。