[發明專利]振動片、振子、振蕩器、傳感器以及電子設備

有效

• 申請號: 201410012335.5
• 申請日: 2010-11-10
• 公開（公告）號: CN103731118A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 山田明法
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/21
• 分類號: H03H9/21;H03H9/15
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黃綸偉;馬建軍

1.一種振動片，其特征在于，該振動片具有：

基部，在其一端與另一端之間設置有切入部；

一對振動臂，在俯視時該一對振動臂從所述基部的所述一端起沿著第1方向延伸；以及

支撐部，在俯視時該支撐部與所述基部的另一端側連接，

所述振動臂的機械諧振頻率f比所述振動臂的熱緩和頻率f₀大，

當設在俯視時所述切入部的外緣與所述一對振動臂之間的分叉部的外緣之間的最短距離為基部彎曲寬度Wb，設假想振動臂的臂寬為有效臂寬We時，滿足Wb＞We的關系，其中，所述假想振動臂沿著包含與所述第1方向交叉的第2方向和所述振動臂的厚度方向的面的截面形狀為矩形，所述假想振動臂的機械諧振頻率與所述振動臂的機械諧振頻率f相等，熱彈性損失與所述振動臂的熱彈性損失等價，厚度與所述振動臂的厚度相同。

2.根據權利要求1所述的振動片，其特征在于，

當設伴隨所述切入部的所述外緣與所述分叉部的所述外緣之間的彎曲振動而產生的溫度差為dΘ_b，設伴隨作為與所述一對振動臂之間的連接部的根部在所述第2方向上的兩端之間的彎曲振動而產生的溫度差為dΘ時，滿足Wb＞We×dΘ_b/dΘ的關系，其中，dΘ_b＜dΘ。

3.根據權利要求1或2所述的振動片，其特征在于，

所述一對振動臂在相互處于正反關系的第1主面和第2主面中的至少一個主面上沿著所述第1方向設置有槽部。

4.根據權利要求3所述的振動片，其特征在于，

所述一對振動臂包含施重部和與所述施重部相比配置得更靠基部側的臂部。

5.根據權利要求4所述的振動片，其特征在于，

所述施重部沿著所述第2方向的寬度比所述臂部寬。

6.根據權利要求1或2所述的振動片，其特征在于，

所述支撐部具有在俯視時從所述基部的所述另一端側沿著所述第2方向延伸的第1突出部和在俯視時從所述第1突出部起沿著所述第1方向延伸的第2突出部，該第2突出部沿著所述第2方向與所述振動臂并列設置。

7.一種振子，其特征在于，該振子具有權利要求1或2所述的振動片和收納有所述振動片的封裝。

8.根據權利要求7所述的振子，其特征在于，

所述支撐部利用由環氧系、硅系、聚酰亞胺系中的任意一者構成的接合材料安裝在設于所述封裝的電極盤上。

9.根據權利要求7所述的振子，其特征在于，

所述支撐部利用凸塊安裝在設于所述封裝的電極盤上。

10.一種振蕩器，其特征在于，該振蕩器具有權利要求1或2所述的振動片和IC芯片。

11.一種傳感器，其特征在于，該傳感器具有權利要求1或2所述的振動片。

12.一種電子設備，其特征在于，該電子設備具有權利要求1或2所述的振動片。