[發明專利]一種靶式濺射鍍膜機在審
| 申請號： | 201410011781.4 | 申請日： | 2014-01-11 |
| 公開（公告）號： | CN104775098A | 公開（公告）日： | 2015-07-15 |
| 發明（設計）人： | 呂春哲;孫旭東 | 申請（專利權）人： | 煙臺力凱電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 265500 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 濺射 鍍膜 | ||
【權利要求書】：
1.一種靶式濺射鍍膜機，包括接地板和靶體，其特征在于：靶體安裝在接地板上，靶體與接地板之間加有靶體絕緣墊，所述靶體的腔內裝有靶磁續，靶磁續上裝有中心墊和環形磁鐵，靶體前端有靶頭，將靶體腔密封，靶頭上設有凹槽，凹槽內裝有銀靶，銀靶通過邊框固定在靶頭上，所述接地板前端裝有靶護罩，所述靶護罩前端安裝有靶前護罩，所述靶體后側設有安裝孔，安裝孔內裝有接頭。
2.根據權利要求1所述的靶式濺射鍍膜機，其特征在于：所述靶中心墊與靶磁續接觸的一側有若干個凹槽。
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