[發明專利]用于在基板上絲網印刷的裝置

有效

• 申請號: 201410010084.7
• 申請日: 2014-01-09
• 公開（公告）號: CN104669774B
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: T·瓦塞斯;M·索恩戈
• 申請（專利權）人: 應用材料意大利有限公司
• 主分類號: B41F15/08
• 分類號: B41F15/08;B41F15/14;B41F33/16;H01L31/18
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

本發明公開一種用于在基板(200)上絲網印刷的裝置(100,200)。用于在基板(120)上絲網印刷的裝置(100,200)包括：基板支撐件(110)，被配置以支撐基板(120)；印刷刮刀(142)；絲網裝置(130)，提供在基板支撐件(110)和印刷刮刀(142)之間，其中所述印刷刮刀(142)在沿著絲網裝置(130)的至少一個方向可動以便印刷；和控制裝置，被配置以在印刷期間根據預定圖案控制印刷刮刀(142)的一個或多個印刷參數。

技術領域

本案實施例涉及用于在基板上絲網印刷的裝置；特別地涉及太陽能電池生產、太陽能電池生產裝置，和用于在基板上絲網印刷的方法。本案實施例具體而言涉及用于絲網印刷的裝置、太陽能電池生產裝置和用于在用以形成光生伏打(photovoltaic；PV)電池的基板上絲網印刷的方法。

背景技術

太陽能電池是將太陽光直接轉換成為電力的PV裝置。在此領域之內，已知通過絲網印刷技術在結晶硅基底上生產太陽能電池，在太陽能電池的前表面上獲得選擇性發射器的結構。在生產光生伏打電池領域中的一些缺點是有關于由傳統絲網印刷裝置的缺點引起的印刷結構的不均勻幾何形狀。印刷結構的這種不均勻幾何形狀影響所述印刷結構的電氣特性。因為電氣特性對于太陽能電池的性能和可靠性非常關鍵，所以需要提供允許印刷均勻結構的絲網印刷裝置。

鑒于上文，本發明的目的是提供一種克服本技術領域中的至少一些問題的用于在基板上絲網印刷的裝置，具體而言用于在用以形成光生伏打(PV)電池的基板上絲網印刷的裝置。

發明內容

鑒于上文，本發明提供了一種用于在基板上絲網印刷的裝置、太陽能電池生產裝置，和用于在基板上絲網印刷的方法。本發明的進一步方面、優點和特征從附屬權利要求、描述和附圖中顯而易見。

根據一個實施例，用于在基板上絲網印刷的裝置包括：基板支撐件，被配置以支撐基板；印刷刮刀；絲網裝置，所述絲網裝置提供在基板支撐件和印刷刮刀之間，其中印刷刮刀在沿著絲網裝置的至少一個方向可動以便印刷；和控制裝置，所述控制裝置被配置以在印刷期間控制印刷刮刀的一個或多個印刷參數，其中一個或多個印刷參數的至少一個參數在印刷期間根據預定圖案修正。

根據另一實施例，用于在基板上絲網印刷的裝置包括：基板支撐件，被配置以支撐基板；回收裝置，在沿著基板的至少一個方向可動以便回收過量印刷材料；和控制裝置，被配置以在操作期間，具體而言在回收操作或印刷期間，控制回收裝置的一個或多個回收參數，其中一個或多個回收參數的至少一個參數在操作期間根據預定圖案修正。

根據一個實施例，用于在基板上絲網印刷的裝置包括：基板支撐件，被配置以支撐基板；印刷刮刀；絲網裝置，所述絲網裝置提供在基板支撐件和印刷刮刀之間，其中印刷刮刀在沿著絲網裝置的至少一個方向可動以便印刷；和控制裝置，所述控制裝置被配置以在印刷期間根據預定圖案調整印刷刮刀相對于絲網裝置的角度。

根據一個實施例，提供一種包括一個或多個印刷站的太陽能電池生產裝置，所述一個或多個印刷站的至少一個具有用于絲網印刷的上述裝置。

根據一個實施例，提供一種用于在基板上絲網印刷的方法。所述方法包括：通過印刷刮刀接觸絲網；相對于絲網移動印刷刮刀以便印刷；和在印刷期間控制印刷刮刀的一個或多個印刷參數，其中一個或多個印刷參數的至少一個參數根據預定圖案修正。

術語“預定圖案”可具體而言代表在印刷工藝之前定義的控制圖案。特別地，印刷工藝可能對預定圖案不具有影響。

根據一個實施例，提供一種用于在基板上絲網印刷的方法。所述方法包括：通過印刷刮刀接觸絲網；相對于絲網移動印刷刮刀以便印刷；和在印刷期間調整印刷刮刀相對于絲網裝置的角度。

附圖說明

因此，以可詳細地理解本案的上述特征的方式，可參考實施例獲得上文簡要概述的本案的更特定描述。附圖涉及本發明實施例且附圖描述在下文中：