[發明專利]用于在基板上絲網印刷的裝置

有效

• 申請號: 201410010084.7
• 申請日: 2014-01-09
• 公開（公告）號: CN104669774B
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: T·瓦塞斯;M·索恩戈
• 申請（專利權）人: 應用材料意大利有限公司
• 主分類號: B41F15/08
• 分類號: B41F15/08;B41F15/14;B41F33/16;H01L31/18
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

1.一種用于在基板(120)上絲網印刷以便生產太陽能電池的裝置(100,200)，包含：

-基板支撐件(110)，被配置以支撐所述基板(120)；

-印刷刮刀(142)；

-絲網裝置(130)，在所述基板支撐件(110)和印刷刮刀(142)之間提供，

其中所述印刷刮刀(142)在沿著所述絲網裝置(130)的至少一個方向可動以便印刷；

-控制裝置，被配置以在印刷期間控制所述印刷刮刀(142)的一個或多個印刷參數，其中所述一個或多個印刷參數的至少一個參數在印刷期間根據預定圖案修正，所述預定圖案存儲在所述裝置的存儲器中；以及

-回收裝置，所述回收裝置在沿著所述絲網裝置(130)的至少一個方向可動以便回收過量印刷材料，其中所述控制裝置被進一步配置以在操作期間控制所述回收裝置的一個或多個回收參數，其中所述一個或多個回收參數的至少一個參數在操作期間根據另一預定圖案修正。

2.如權利要求1所述的裝置(100)，其特征在于，所述一個或多個印刷參數包括以下參數的至少一個：

-所述印刷刮刀(142)相對于所述絲網裝置(130)的角度(147,148)；

-所述印刷刮刀(142)相對于所述絲網裝置(130)的移動速度；和

-所述印刷刮刀(142)作用在所述絲網裝置(130)上的壓力。

3.如權利要求1或2所述的裝置(100)，其特征在于，所述預定圖案包括以下圖案中的至少一個：

-基于印刷時間的印刷參數順序；和

-基于所述印刷刮刀(142)相對于所述絲網裝置(130)的位置的印刷參數順序。

4.如權利要求1或2所述的裝置(100)，進一步包括一個或多個壓力傳感器(111,112,113)，所述一個或多個壓力傳感器(111,112,113)被配置以檢測所述印刷刮刀(142)作用在所述絲網裝置(130)上的壓力。

5.如權利要求1或2所述的裝置(100)，進一步包括平移裝置(141)，所述平移裝置(141)被配置以用于在相對于所述絲網裝置(130)的所述至少一個方向移動所述印刷刮刀(142)。

6.如權利要求5所述的裝置(100)，其特征在于，所述印刷刮刀(142)被附接于所述平移裝置(141)。

7.如權利要求4所述的裝置(100)，其特征在于，所述一個或多個壓力傳感器(111,112)在所述基板支撐件(110)處提供。

8.如權利要求4所述的裝置(100)，其特征在于，所述一個或多個壓力傳感器的至少一個傳感器在所述絲網裝置(130)處提供。

9.如權利要求4所述的裝置(100)，其特征在于，進一步包括平移裝置(141)，所述平移裝置(141)被配置以用于在相對于所述絲網裝置(130)的所述至少一個方向移動所述印刷刮刀(142)，所述一個或多個壓力傳感器(113)的至少一個傳感器在所述平移裝置(141)處提供。

10.如權利要求5所述的裝置(100)，其特征在于，所述平移裝置(141)被配置以基于所述控制裝置的控制調整所述一個或多個印刷參數的至少一個參數。

11.如權利要求1或2所述的裝置(100)，其特征在于，所述控制裝置被配置以基于所述印刷刮刀(142)相對于所述絲網裝置(130)的位置調整至少一個所述印刷參數。

12.如權利要求1所述的裝置(100)，其特征在于，所述一個或多個印刷參數包括所述印刷刮刀(142)作用在所述絲網裝置(130)上的壓力，所述控制裝置被配置以通過控制所述印刷刮刀(142)相對于所述絲網裝置(130)的距離，來調整所述印刷刮刀(142)作用在所述絲網裝置(130)上的所述壓力。