[發明專利]在母材的表面通過掩模形成凸起的方法及裝置

在審

• 申請號: 201380077204.9
• 申請日: 2013-09-05
• 公開（公告）號: CN105378137A
• 公開（公告）日: 2016-03-02
• 發明（設計）人: 李相老;羅鐘周;樸明漸;金明根;金允煥;徐在亨;岳昕;李智英
• 申請（專利權）人: SEP株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/34;C23C16/04;C23C16/44
• 代理公司: 北京冠和權律師事務所 11399
• 代理人: 朱健;陳國軍

1.一種通過掩模形成凸起的方法，其包括：

掩模形成步驟，在母材上形成掩模層；

蝕刻步驟，對母材上未形成掩模的區域進行蝕刻；以及

掩模去除步驟，去除所述掩模層，

所述掩模形成步驟包括：至少形成一個以上的小型掩模的步驟，以及

至少形成一個以上的大型掩模的步驟。

2.根據權利要求1所述的通過掩模形成凸起的方法，其特征在于，

所述掩模形成步驟，將熔點不同的金屬在相同的溫度下進行供給，從而形成小型掩模或大型掩模。

3.根據權利要求1所述的通過掩模形成凸起的方法，其特征在于，

所述掩模形成步驟，將相同的金屬用相互不同的處理時間期間或在相互不同的溫度下進行供給，從而形成小型掩模或大型掩模。

4.根據權利要求1所述的通過掩模形成凸起的方法，其特征在于，

所述掩模形成步驟，將熔點不同的金屬用相互不同的處理時間期間或在相互不同的溫度下進行供給，從而形成小型掩模或大型掩模。

5.根據權利要求2所述的通過掩模形成凸起的方法，其特征在于，

所述掩模形成步驟，在相同的艙室內對熔點不同的金屬用物理氣相沉積方法，由此在母材上形成小型掩模或大型掩模。

6.根據權利要求3所述的通過掩模形成凸起的方法，其特征在于，

所述掩模形成步驟，用相互不同的處理時間期間進行操作或施加相互不同的溫度的多個艙室中，將相同的金屬通過物理氣相沉積方法在母材上形成為小型掩模或大型掩模。

7.根據權利要求4所述的通過掩模形成凸起的方法，其特征在于，

所述掩模形成步驟，用相互不同的處理時間期間進行操作或施加相互不同的溫度的多個艙室中，將熔點不同的金屬通過物理氣相沉積方法在母材上形成為小型掩模或大型掩模。

8.根據權利要求1所述的通過掩模形成凸起的方法，其特征在于，

所述掩模形成步驟，在相同的艙室內調節母材的溫度，并將前驅體通過化學氣相沉積方法進行沉積，從而形成小型掩模或大型掩模。

9.根據權利要求1所述的通過掩模形成凸起的方法，其特征在于，

所述掩模形成步驟，在多個艙室內使得前驅體的種類不同，并且通過化學氣相沉積方法進行沉積，從而形成小型掩模或大型掩模。

10.一種通過掩模的凸起形成裝置，其包括：

艙室；

母材安裝部，其形成于所述艙室內，并將母材安裝于所述母材安裝部；

金屬供給部，其形成于所述艙室內，并用于通過濺射方式向安裝于所述母材安裝部的母材上供給金屬；以及

溫度調節部，其用于調節所述艙室內溫度。

11.根據權利要求10所述的通過掩模的凸起形成裝置，其特征在于，

所述母材安裝部包括母材加熱器，所述母材加熱器用于將所安裝的母材加熱至已設定的溫度，

在所述母材加熱器可設置多個熱電偶。

12.根據權利要求10所述的通過掩模的凸起形成裝置，其特征在于，

所述溫度調節部包括：傳感器，其用于測定艙室內的溫度；以及

艙室加熱器，其通過電力調整對艙室內的溫度進行調節。

13.根據權利要求10所述的通過掩模的凸起形成裝置，其特征在于，

還可包括用于移動所述母材的內聯部，

隨著所述內聯部的驅動，所述金屬供給部將熔點不同的金屬向母材進行供給，并且所述溫度調節部將艙室內的溫度維持為一定。

14.根據權利要求10所述的通過掩模的凸起形成裝置，其特征在于，

所述艙室由相互區分的多個艙室組成，

還包括內聯部，所述內聯部用于在所述多個艙室之間移動母材，

所述金屬供給部將相同的金屬向母材進行供給，

各個艙室用相互不同的處理時間期間進行操作或通過所述溫度調節部分別調節為不同的溫度。