[發(fā)明專利]印刷基板用作業(yè)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380076859.4 | 申請日: | 2013-05-24 |
| 公開(公告)號: | CN105247656B | 公開(公告)日: | 2017-09-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 黒木俊明 | 申請(專利權(quán))人: | 雅馬哈發(fā)動機(jī)株式會社 |
| 主分類號: | H01L21/02 | 分類號: | H01L21/02 |
| 代理公司: | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11219 | 代理人: | 穆德駿,謝麗娜 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 印刷 用作 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及向印刷基板進(jìn)行涂敷液的涂敷、電子元件的安裝等的印刷基板用作業(yè)裝置。
背景技術(shù)
以往,作為將印刷基板作為作業(yè)的對象的印刷基板用作業(yè)裝置,有例如電子元件安裝裝置、涂敷機(jī)或者用于涂敷膏狀焊料的網(wǎng)板印刷機(jī)等。在這些裝置中,向印刷基板實(shí)施作業(yè)的作業(yè)空間形成在罩構(gòu)件中。在作業(yè)空間中收容有用于搬運(yùn)印刷基板的搬運(yùn)裝置、涂敷裝置或電子元件移動裝置等。涂敷裝置向印刷基板涂敷粘接劑、焊膏等涂敷液。電子元件安裝裝置向印刷基板安裝電子元件。涂敷裝置、電子元件安裝裝置因以高速進(jìn)行動作而發(fā)熱。因此,以往的電子元件安裝裝置、涂敷機(jī)等有時為了防止作業(yè)空間的溫度過度上升而配備排氣裝置。
作為將作業(yè)空間形成在罩構(gòu)件中的作業(yè)裝置,有例如專利文獻(xiàn)1 所記載的結(jié)構(gòu)。專利文獻(xiàn)1所公開的作業(yè)裝置具備向作業(yè)空間送入空氣且使作業(yè)空間的壓力高于大氣壓的帶過濾器的送風(fēng)裝置。該送風(fēng)裝置設(shè)于罩構(gòu)件的頂板部分的中央部,從作業(yè)空間的上端朝向下方輸送空氣。由此,將作業(yè)空間的壓力設(shè)為比大氣壓高的正壓,并進(jìn)行作業(yè)空間的換氣。
當(dāng)在以往的電子元件安裝裝置、涂敷機(jī)等安裝上述的排氣裝置時,作業(yè)空間成為負(fù)壓。當(dāng)作業(yè)空間成為負(fù)壓時,外部的灰塵從罩構(gòu)件的開口部、間隙與空氣一起進(jìn)入作業(yè)空間。當(dāng)在電氣設(shè)備上附著灰塵時,有可能引起接點(diǎn)接觸不良或者電極間發(fā)生短路。另外,當(dāng)在相互摩擦的機(jī)械元件彼此之間咬入灰塵時,該機(jī)械元件有可能發(fā)生動作不良。
這樣的不良情況能夠通過如專利文獻(xiàn)1所記載的那樣將作業(yè)空間的壓力設(shè)為比大氣壓高的正壓而在一定程度上消除。
但是,專利文獻(xiàn)1所公開的帶過濾器的送風(fēng)裝置在作業(yè)空間的中央部產(chǎn)生向下的較強(qiáng)空氣流(風(fēng))。因此,當(dāng)將該送風(fēng)裝置應(yīng)用于電子元件安裝裝置、涂敷機(jī)時,如后述那樣,存在難以對印刷基板準(zhǔn)確地實(shí)施作業(yè)這樣的問題。即,在電子元件安裝裝置中,有可能安裝于印刷基板的較小的電子元件因風(fēng)飛起,使電子元件的安裝位置改變。在涂敷機(jī)中,有可能形成于涂敷頭的下端的液滴被風(fēng)橫向推壓,使涂敷液無法涂敷于準(zhǔn)確的位置。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2010-3867號公報
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題
本發(fā)明是為了消除這樣的問題而作出的,其目的在于提供印刷基板用作業(yè)裝置,盡管使用將作業(yè)空間內(nèi)加壓為正壓的送風(fēng)裝置來實(shí)現(xiàn)防止灰塵的侵入并對作業(yè)空間進(jìn)行換氣,也能夠不受風(fēng)的影響而對印刷基板準(zhǔn)確地實(shí)施作業(yè)。
用于解決課題的技術(shù)方案
為了實(shí)現(xiàn)該目的,本發(fā)明的印刷基板用作業(yè)裝置的特征在于,具備:底座構(gòu)件,在上端部形成有支撐面;基板搬運(yùn)路徑,支撐于上述底座構(gòu)件,且搬運(yùn)印刷基板;作業(yè)裝置主體,支撐于上述底座構(gòu)件,且對保持于上述基板搬運(yùn)路徑的印刷基板進(jìn)行作業(yè);罩構(gòu)件,設(shè)在上述底座構(gòu)件上,與上述底座構(gòu)件一起規(guī)定上述作業(yè)裝置主體進(jìn)行作業(yè)的作業(yè)空間;基板搬入口,在上述罩構(gòu)件的一側(cè)部開口;基板搬出口,在上述罩構(gòu)件的另一側(cè)部開口;空氣入口,設(shè)于上述底座構(gòu)件或者罩構(gòu)件;送風(fēng)裝置,從上述空氣入口向上述作業(yè)空間送入外部的空氣而使上述作業(yè)空間的壓力高于大氣壓;及過濾器,設(shè)于上述送風(fēng)裝置,上述空氣入口設(shè)在:上述底座構(gòu)件的從上方觀察不與上述基板搬運(yùn)路徑重疊的區(qū)域內(nèi)、或者上述罩構(gòu)件的從上方觀察不與上述基板搬運(yùn)路徑重疊的區(qū)域中比上述基板搬運(yùn)路徑高的區(qū)域內(nèi)。
發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明,由過濾器除去灰塵后的空氣被送風(fēng)裝置送入到作業(yè)空間。因此,能夠防止灰塵從外部進(jìn)入作業(yè)空間,并且將作業(yè)空間的壓力加壓為比大氣壓高的正壓。其結(jié)果是,能夠防止在基板搬運(yùn)路徑上的印刷基板、作業(yè)裝置主體的機(jī)械元件上附著灰塵。本發(fā)明的作業(yè)裝置由于不在印刷基板、機(jī)械元件上附著灰塵,因此能夠較高地保持作業(yè)精度,不發(fā)生故障而準(zhǔn)確地進(jìn)行動作。
通過作業(yè)空間的空氣入口后的空氣避開基板搬運(yùn)路徑而流動。因此,風(fēng)不會與位于基板搬運(yùn)路徑上的印刷基板接觸,對印刷基板進(jìn)行的作業(yè)不會被風(fēng)妨礙。
作業(yè)空間的空氣主要通過基板搬入口以及基板搬出口而向罩構(gòu)件外流出。因此,對作業(yè)空間進(jìn)行換氣,不會在作業(yè)空間滯留高溫的空氣,因此能夠始終利用溫度較低的空氣對作業(yè)空間進(jìn)行冷卻。
因此,根據(jù)本發(fā)明,能夠提供印刷基板用作業(yè)裝置,盡管使用將作業(yè)空間加壓為正壓的送風(fēng)裝置來實(shí)現(xiàn)灰塵的侵入防止并對作業(yè)空間進(jìn)行換氣,也能夠不受風(fēng)的影響而對印刷基板準(zhǔn)確地實(shí)施作業(yè)。
附圖說明
圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的涂敷機(jī)的俯視圖。圖1是在剖開罩構(gòu)件的一部分的狀態(tài)下進(jìn)行描繪的。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





