[發明專利]印刷基板用作業裝置

有效

• 申請號: 201380076859.4
• 申請日: 2013-05-24
• 公開（公告）號: CN105247656B
• 公開（公告）日: 2017-09-26
• 發明（設計）人: 黒木俊明
• 申請（專利權）人: 雅馬哈發動機株式會社
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司11219
• 代理人: 穆德駿,謝麗娜

1.一種印刷基板用作業裝置，其特征在于，

具備：

基座構件，在上端部形成有支撐面；

基板搬運路徑，支撐于所述基座構件，且搬運印刷基板；

作業裝置主體，支撐于所述基座構件，且對保持于所述基板搬運路徑的印刷基板進行作業；

罩構件，設在所述基座構件上，與所述基座構件一起規定所述作業裝置主體進行作業的作業空間；

基板搬入口，在所述罩構件的一側部開口；

基板搬出口，在所述罩構件的另一側部開口；

空氣入口，設于所述罩構件；

送風裝置，從所述空氣入口向所述作業空間送入外部的空氣而使所述作業空間的壓力高于大氣壓；及

過濾器，設于所述送風裝置，

所述空氣入口設在：所述罩構件的從上方觀察不與所述基板搬運路徑重疊的區域中比所述基板搬運路徑高的區域內，

由所述送風裝置送入到所述作業空間的空氣的流動方向是從上方觀察與從所述空氣入口朝向所述基板搬運路徑的方向不同的方向，

所述印刷基板用作業裝置還具備空氣引導件，該空氣引導件設于所述空氣入口，且在所述基板搬運路徑的側方將空氣的流動方向從水平方向改為上方。

2.根據權利要求1所述的印刷基板用作業裝置，其特征在于，

所述基座構件形成為在內部具有收納空間的箱狀，在該收納空間內收納產生熱量的電氣設備，所述基座構件還具有形成所述支撐面且對所述收納空間與所述作業空間進行劃分的劃分構件，

所述劃分構件具有將所述收納空間與所述作業空間連通的連通孔，

由所述送風裝置送入到所述作業空間的空氣通過所述連通孔而向所述收納空間流入，并從該收納空間向外部排出。

3.根據權利要求2所述的印刷基板用作業裝置，其特征在于，

還具備：

排氣裝置，設于所述基座構件，從所述收納空間向外部排出空氣；及

引導構件，設于所述收納空間內，形成從所述連通孔到所述排氣裝置的空氣通路下游部，

所述電氣設備配置于所述空氣通路下游部。