[發明專利]碳納米管的制造方法有效
| 申請號： | 201380066836.5 | 申請日： | 2013-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN104870362B | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 涉谷明慶 | 申請（專利權）人： | 日本瑞翁株式會社 |
| 主分類號： | C01B31/02 | 分類號： | C01B31/02 |
| 代理公司： | 北京市嘉元知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11484 | 代理人： | 張永新 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 納米 制造 方法 | ||
1.碳納米管的制造方法，其是使碳納米管在表面負載有催化劑的基材上生長的方法，其中，該制造方法包括：
生長工序，該工序中，
向所述催化劑供給碳納米管的原料氣體及催化劑活化物質，并且對所述催化劑及所述原料氣體中的至少一者進行加熱，使碳納米管在所述基材上生長；以及
反饋控制工序，該工序中，
對所述生長工序中的所述基材周圍的氣體成分的濃度進行數次測定，
提取在數次測定的氣體成分濃度中，選自氫、甲烷及乙烷中的至少1種以上氣體成分的濃度達到最大時的所述催化劑活化物質的供給量，
將所述生長工序中供給的所述催化劑活化物質的供給量補正為所提取的供給量。
2.根據權利要求1所述的碳納米管的制造方法，其中，
在所述反饋控制工序中，提取在數次測定的所述氣體成分的濃度中，氫的濃度達到最大時的所述催化劑活化物質的供給量。
3.根據權利要求1或2所述的碳納米管的制造方法，其中，
所述基材周圍的氣體成分包含乙烯。
4.根據權利要求1～3中任一項所述的碳納米管的制造方法，其在所述生長工序之前進一步包括設定工序，
該設定工序包括：對在所述生長工序中對所述催化劑及所述原料氣體中的至少一者進行加熱的加熱溫度進行設定，
在所述設定工序中，
向容納所述基材的位置的周圍供給碳納米管的原料氣體及催化劑活化物質，并且對所述原料氣體進行加熱，
對容納所述基材的位置的周圍的氣體成分濃度進行測定，
設定所述加熱溫度，使得在測定的氣體成分濃度中選自氫、甲烷及乙烷中的至少1種以上的氣體成分的濃度達到使期望的碳納米管生長時的濃度。
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