[發(fā)明專利]利用高速粒子束的液膜去除方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380065787.3
• 申請(qǐng)日: 2013-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN104853854A
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金忍號(hào);李振遠(yuǎn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浦項(xiàng)工科大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團(tuán)
• 主分類號(hào): B08B7/02
• 分類號(hào): B08B7/02;B08B6/00
• 代理公司: 北京冠和權(quán)律師事務(wù)所 11399
• 代理人: 朱健;陳國軍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種利用高速粒子束的液膜去除方法，更詳細(xì)地涉及一種方法，其中，經(jīng)過濕式清洗后，在殘留于清洗對(duì)象物的液膜照射高速的粒子束，從而不僅能夠去除構(gòu)成液膜的液體，而且同時(shí)去除包含于液體中的各種污染物質(zhì)。

背景技術(shù)

通常的濕式清洗工藝中，為了去除附著于清洗對(duì)象物的表面的雜質(zhì)或者污染物質(zhì)，經(jīng)過利用清洗液清洗表面的過程。在此過程中，為了提高清洗的效率，通常以高速噴射清洗液或者使用超聲波等攪拌清洗液。

另外，在結(jié)束所述的濕式清洗后，一定會(huì)在清洗對(duì)象物的表面殘留清洗液和雜質(zhì)或者污染物的一部分。

如上所述，在完成清洗的清洗液中殘留雜質(zhì)或者污染物的一部分是當(dāng)然的，并且為了提高去垢力，添加于清洗液的添加物質(zhì)的分子或離子與清洗液一起被殘留。如上所述，為了去除殘留的清洗液，通常會(huì)經(jīng)過額外的干燥過程。

在所述干燥過程中，構(gòu)成清洗液的液體物質(zhì)(溶劑)通過蒸發(fā)迅速地被去除，但是熔化或者懸浮的物質(zhì)相當(dāng)部分不會(huì)被去除而原封不動(dòng)地殘留于表面，從而具有需要另外的額外的去除過程的問題。

并且，由于殘留物質(zhì)，也產(chǎn)生引發(fā)二次不良的問題。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決所述的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種利用高速粒子束的液膜去除方法，其中，同時(shí)去除濕式清洗工藝后殘留于對(duì)象物的清洗液和包含于其的污染物質(zhì)乃至雜質(zhì)。

為了實(shí)現(xiàn)所述目的而提出的根據(jù)本發(fā)明的利用高速粒子束的液膜去除方法，其包括：濕式清洗步驟，利用清洗液清洗對(duì)象物；以及干式清洗步驟，通過噴射升華性粒子來同時(shí)去除殘留于所述對(duì)象物的所述清洗液及包含于所述清洗液的污染物質(zhì)或雜質(zhì)。

根據(jù)本發(fā)明的利用高速粒子束的液膜去除方法，通過一個(gè)工藝可同時(shí)去除形成于對(duì)象物的液膜及包含于其的污染物質(zhì)或雜質(zhì)，因此與單純地對(duì)液膜進(jìn)行干燥的現(xiàn)有方法相比具有如下效果：可解決污染物質(zhì)或雜質(zhì)殘留于對(duì)象物的問題，從而不需要用于解決所述問題的額外的工藝，并且預(yù)先防止由于殘留物所導(dǎo)致的二次不良。

此外，具有如下效果：因?yàn)椴恍枰糜谌コ鰵埩粑锏念~外的濕式清洗工藝，所以能夠減少化學(xué)污廢水，從而可防止環(huán)境污染。

并且，可大大地減少額外的清洗工藝，從而可同時(shí)提高生產(chǎn)性、經(jīng)濟(jì)性、空間效率。

附圖說明

圖1是屬于表示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的利用高速粒子束的液膜去除方法的主要概念的概略圖。

圖2及圖3是屬于表示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的包括濕式清洗步驟的利用高速粒子束的液膜去除方法的順序圖。

圖4是屬于表示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的利用于干式清洗步驟的噴嘴的橫截面圖。

圖5是屬于表示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的利用于干式清洗步驟的干式清洗裝置的主要構(gòu)成的構(gòu)成圖。

標(biāo)號(hào)說明

1：對(duì)象物

2：液膜，清洗液

3：污染物質(zhì)或雜質(zhì)

10：噴嘴

11：噴嘴喉

12：孔口(orifice)

13：孔口塊體(orifice?block)

14：第一膨脹部

15：第二膨脹部

16：第三膨脹部

17：氣體供給管

18：隔熱部

19：噴嘴軸

20：壓力調(diào)節(jié)器

30：混合室(chamber)

40：粒子生成氣體存儲(chǔ)部

50：載氣(carrier?gas)存儲(chǔ)部

θ₁，θ₂，θ₃：膨脹角

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的具體內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)說明。

圖1是屬于表示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的利用高速粒子束的液膜去除方法的主要概念的概略圖。圖1的(a)是表示形成于對(duì)象物的液膜及包含于其的污染物質(zhì)或雜質(zhì)，圖1的(b)是表示清洗的狀態(tài)的對(duì)象物。

如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的利用高速粒子束的液膜去除方法屬于如下方法：通過噴射升華性粒子，去除形成于對(duì)象物1的表面的液膜2及包含于所述液膜2的污染物質(zhì)或雜質(zhì)3。

首先，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的利用高速粒子束的液膜去除方法涉及經(jīng)過濕式清洗步驟后去除殘留于對(duì)象物1的清洗液及包含于所述清洗液的污染物質(zhì)或雜質(zhì)3。圖1中的液膜2可視為濕式清洗步驟后殘留的清洗液。以下，對(duì)于清洗液也使用與液膜相同的附圖標(biāo)號(hào)“2”。

圖2及圖3是屬于表示包括所述濕式清洗步驟的利用高速粒子束的液膜去除方法的順序圖。