[發(fā)明專利]利用高速粒子束的液膜去除方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380065787.3 | 申請日： | 2013-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN104853854A | 公開（公告）日： | 2015-08-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 金忍號;李振遠(yuǎn) | 申請（專利權(quán)）人： | 浦項工科大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團(tuán) |
| 主分類號： | B08B7/02 | 分類號： | B08B7/02;B08B6/00 |
| 代理公司： | 北京冠和權(quán)律師事務(wù)所 11399 | 代理人： | 朱健;陳國軍 |
| 地址： | 韓國慶尚北道*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 利用 高速 粒子束 去除 方法 | ||
1.一種利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，包括：
濕式清洗步驟，利用清洗液清洗對象物；
干式清洗步驟，通過噴射升華性粒子來同時去除殘留于所述對象物的所述清洗液及包含于所述清洗液的污染物質(zhì)或雜質(zhì)，
所述干式清洗步驟，將粒子生成氣體通過包括第一膨脹部和第二膨脹部的噴嘴并噴射至對象物，并且所述第二膨脹部的平均膨脹角比所述第一膨脹部的膨脹角大，所述干式清洗步驟包括：核生成步驟，所述粒子生成氣體通過置于所述噴嘴的噴嘴喉的孔口的同時急速膨脹，從而實現(xiàn)核生成；粒子生成步驟，經(jīng)過所述核生成步驟后，通過從噴嘴喉出口延伸的第一膨脹部的同時實現(xiàn)核生長，從而生成升華性粒子；以及粒子加速步驟，經(jīng)過所述粒子生成步驟后，通過第二膨脹部的同時，抵消邊界層的生長且所述升華性粒子的噴射速度上升，所述第二膨脹部從所述第一膨脹部的出口延伸并具有比所述第一膨脹部的膨脹角更大的平均膨脹角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，還包括：
干燥步驟，與所述干式清洗步驟同時對所述對象物進(jìn)行干燥，以便在所述干式清洗步驟中因根據(jù)升華性粒子的對象物表面的冷卻而水分冷凝不產(chǎn)生在所述對象物的表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，所述干燥步驟包括：
加熱步驟，在所述對象物的下部具備加熱裝置，從而對所述對象物進(jìn)行加熱。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，所述干燥步驟包括：
氮噴射步驟，將氮噴射在所述對象物，從而對表面進(jìn)行干燥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于：
所述干式清洗步驟在密封室內(nèi)實現(xiàn)，所述密封室裝滿二氧化碳或氮，以便因根據(jù)升華性粒子的對象物的表面的冷卻而水分冷凝不產(chǎn)生在所述對象物的表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，還包括：
第一移送步驟，在所述濕式清洗步驟后，將所述對象物裝載至干式清洗位置；以及
第二移送步驟，在所述干式清洗步驟后，將所述對象物從干式清洗位置卸載。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于：
所述粒子生成氣體由二氧化碳構(gòu)成，
所述第一膨脹部具有大于0°且小于30°的膨脹角，
所述第二膨脹部具有比所述第一膨脹部的膨脹角增加10°～45°的平均膨脹角。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，所述干式清洗步驟經(jīng)過所述粒子加速步驟后，還包括：
流動調(diào)節(jié)步驟，通過第三膨脹部的同時，向噴嘴外部形成升華性粒子的高速核，所述第三膨脹部從所述第二膨脹部的出口延伸并具有比所述第二膨脹部的平均膨脹角增加10°～45°且最大小于90°的膨脹角。
9.一種利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，包括：
干式清洗步驟，通過噴射升華性粒子去除存在于對象物的液膜及包含于所述液膜的雜質(zhì)或污染物質(zhì)，
所述干式清洗步驟，將粒子生成氣體通過包括第一膨脹部和第二膨脹部的噴嘴并噴射至對象物，并且所述第二膨脹部的平均膨脹角比所述第一膨脹部的膨脹角大，所述干式清洗步驟包括：核生成步驟，所述粒子生成氣體通過置于所述噴嘴的噴嘴喉的孔口的同時急速膨脹，從而實現(xiàn)核生成；粒子生成步驟，經(jīng)過所述核生成步驟后，通過從噴嘴喉出口延伸的第一膨脹部的同時實現(xiàn)核生長，從而生成升華性粒子；以及粒子加速步驟，經(jīng)過所述粒子生成步驟后，通過第二膨脹部的同時，抵消邊界層的生長且所述升華性粒子的噴射速度上升，所述第二膨脹部從所述第一膨脹部的出口延伸并具有比所述第一膨脹部的膨脹角大的平均膨脹角。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，還包括：
干燥步驟，與所述干式清洗步驟同時對所述對象物進(jìn)行干燥，以便在所述干式清洗步驟中因根據(jù)升華性粒子的對象物表面的冷卻而水分冷凝不產(chǎn)生在所述對象物的表面。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，所述干燥步驟還包括：
加熱步驟，在所述對象物的下部具備加熱裝置，從而對所述對象物進(jìn)行加熱。
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