[發(fā)明專利]基板處理裝置、基板處理系統(tǒng)以及輸送容器的異常檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380064421.4
• 申請日: 2013-12-10
• 公開（公告）號: CN104854689A
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發(fā)明（設計）人: 森川勝洋;須中郁雄;榎木田卓
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/02
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種基板處理裝置，該基板處理裝置用于自輸送容器取出基板并對基板進行處理，該輸送容器的容器主體的前表面的基板取出口能被蓋體氣密地封堵，該輸送容器用于收納并輸送多個基板，其特征在于，

該基板處理裝置包括：

裝載部，相對于該裝載部輸入和輸出所述輸送容器；以及

裝置控制器，其用于對所述裝載部中的操作進行控制，

所述裝置控制器具有：

存儲部，其用于根據(jù)輸送容器的識別符號來存儲自外部發(fā)送過來的參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)，所述參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)是通過將該輸送容器的使用次數(shù)與將以下操作中的至少一個操作的結果數(shù)值化而得到的參數(shù)值相關聯(lián)而得到的，即，為了向裝載部輸入所述輸送容器并將蓋體拆卸而進行的操作和為了將該輸送容器自裝載部輸出而進行的操作；以及

判斷部，在將輸送容器輸入到該基板處理裝置的裝載部之后，該判斷部根據(jù)與該輸送容器的輸入和輸出中的至少一者相對應的所述參數(shù)值以及與該輸送容器有關的所述參數(shù)值的過去的推移數(shù)據(jù)來判斷該輸送容器有無異常。

2.根據(jù)權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，

所述參數(shù)值是與在將輸送容器載置于載置部之后用于使輸送容器的蓋體移動到拆卸位置的驅動有關的值和為了將蓋體拆卸而解除蓋體的鎖定狀態(tài)的操作的重復次數(shù)中的至少一者。

3.根據(jù)權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，

在針對使用次數(shù)超過設定值的輸送容器取得的所述參數(shù)值為異常時，所述判斷部判斷為該輸送容器存在異常。

4.一種基板處理系統(tǒng)，其特征在于，

該基板處理系統(tǒng)包括：

多個基板處理裝置，其分別具有裝載部、基板處理部和裝置控制器，相對于該裝載部輸入和輸出輸送容器，該輸送容器的容器主體的前表面的基板取出口能被蓋體氣密地封堵，該輸送容器用于收納并輸送多個基板，該基板處理部用于對自輸入到該裝載部的輸送容器取出的基板進行處理，該裝置控制器用于對所述裝載部中的操作進行控制；以及

主計算機，其用于與所述多個基板處理裝置分別進行通信，

所述主計算機包括：

存儲部，其用于根據(jù)輸送容器的識別符號來存儲自外部發(fā)送過來的參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)，所述參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)是通過將該輸送容器的使用次數(shù)與將以下操作中的至少一個操作的結果數(shù)值化而得到的參數(shù)值相關聯(lián)而得到的，即，為了向裝載部輸入所述輸送容器并將蓋體拆卸而進行的操作和為了將該輸送容器自裝載部輸出而進行的操作；以及

判斷部，在將輸送容器輸入到基板處理裝置的裝載部之后，該判斷部根據(jù)與該輸送容器的輸入和輸出中的至少一者相對應的所述參數(shù)值以及與該輸送容器有關的所述參數(shù)值的過去的推移數(shù)據(jù)來判斷該輸送容器有無異常。

5.根據(jù)權利要求4所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，

所述參數(shù)值是與在將輸送容器載置于載置部之后用于使輸送容器的蓋體移動到拆卸位置的驅動有關的值和為了將蓋體拆卸而解除蓋體的鎖定狀態(tài)的操作的重復次數(shù)中的至少一者。

6.根據(jù)權利要求4所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，

在針對使用次數(shù)超過設定值的輸送容器取得的所述參數(shù)值為異常時，所述判斷部判斷為該輸送容器存在異常。

7.根據(jù)權利要求4所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，

在一基板處理裝置的裝載部中針對使用次數(shù)為設定值以下的一輸送容器取得的所述參數(shù)值為異常時，所述判斷部根據(jù)自在該一輸送容器之前輸入到該裝載部中的其他輸送容器取得的參數(shù)值有無異常來判斷該裝載部有無異常。

8.根據(jù)權利要求4所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，

在一基板處理裝置的裝載部中針對使用次數(shù)為設定值以下的一輸送容器取得的所述參數(shù)值為異常時，所述判斷部根據(jù)由在將該輸送容器輸入到所述一基板處理裝置之前被輸送有該輸送容器的其他基板處理裝置取得的所述參數(shù)值有無異常來判斷所述輸送容器有無異常。