[發(fā)明專利]搬運裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380063583.6
• 申請日: 2013-02-26
• 公開（公告）號: CN104822613A
• 公開（公告）日: 2015-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王鵬;松尾研吾;和田芳幸
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社IHI
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G15/42;B65G51/03;H01L21/677
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 丁文蘊;宋春華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及使如薄玻璃之類的基板浮起而進行搬運的搬運裝置。

背景技術(shù)

在以液晶顯示器為代表的平板顯示器的制造中，為了在不損傷如薄玻璃之類的基板的狀態(tài)下進行搬運，利用使基板浮起而進行搬運的搬運裝置。這種搬運裝置通常具備噴出壓縮空氣的浮起裝置，而且具備與浮起的基板接觸并對基板施加驅(qū)動力的帶式輸送機或輥式輸送機。

附著在玻璃基板上的灰塵和其表面的傷痕對顯示器的質(zhì)量帶來重大的影響。灰塵的附著和表面的傷痕的主要原因之一是，玻璃基板與搬運裝置等接觸。另一方面，玻璃基板由于例如其厚度為0.7mm或者其以下而具有撓性，因此為了防止搬運中的接觸而重視將基板保持平坦的狀態(tài)下進行搬運的技術(shù)。近年來希望得到更薄的玻璃，而將該玻璃保持平坦的狀態(tài)下進行搬運將越來越困難。

專利文獻1公開了具備帶式輸送機的搬運裝置的技術(shù)。根據(jù)該技術(shù)，帶具備以等間隔配置的突起，通過突起與浮起的玻璃基板接觸，來搬運該玻璃基板。

專利文獻2公開了具備輥式輸送機的搬運裝置的技術(shù)。根據(jù)專利文獻2，將“玻璃基板的通路線中央部較大地向上方浮起或下垂的彎曲變得明顯”這一情況作為技術(shù)問題。為了解決該技術(shù)問題，通過調(diào)節(jié)來自寬度方向中央位置的氣動工作臺單元的氣體供給量，抑制玻璃基板的彎曲。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利申請公開2008－066661號

專利文獻2：日本專利申請公開2008－260591號

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

如上所述的技術(shù)能夠?qū)⒉ＡЩ宕笾卤３制教埂５牵瑢τ谠诎徇\方向上的前端的撓曲等局部的撓曲，仍然存在技術(shù)問題。即，在玻璃基板從一個輥子向下一個輥子移動時，或者從一個搬運裝置向下一個搬運裝置移動時，由于不存在用于支撐前端的部件，因此前端因自重而向下方撓曲。存在前端容易與輥子或搬運裝置碰撞的問題。

本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的。本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，違反如上所述的技術(shù)常識，僅將玻璃基板的寬度方向的兩端平坦地支撐，反而使玻璃基板的中央部稍微撓曲，從而能夠抑制前端的撓曲，由此想到了本發(fā)明。

為了解決問題的方法

根據(jù)本發(fā)明的一個方案，用于通過氣體使對象物浮起并向第一方向搬運的搬運裝置具備：浮起部，通過噴出上述氣體對上述對象物加壓而使上述對象物浮起；搬運部，具備沿上述第一方向延伸的無接頭的帶和能夠從上述帶突出而與上述對象物接觸的多個突起，并且構(gòu)成為與上述對象物接觸并向上述第一方向進行驅(qū)動；以及吸引部，與上述搬運部鄰接并平行地延伸、或者與上述搬運部在同一直線上并排地配置，并且對上述對象物施加負壓而使上述對象物與上述搬運部接觸。

發(fā)明的效果

能夠防止基板的前端撓曲，能夠防止基板與搬運裝置等碰撞。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的一個實施方式的搬運裝置的一部分的立體圖。

圖2是本實施方式的搬運裝置的三視圖。

圖3是本實施方式的浮起部的立面剖視圖。

圖4是本實施方式的吸引部的立面剖視圖。

圖5是本實施方式的吸引部及搬運部的立視圖。

圖6是表示在搬運部中基板被保持平坦的狀態(tài)的立視圖。

圖7是表示基板在中央附近撓曲的狀態(tài)的側(cè)視圖。

圖8是表示另一個實施方式的搬運裝置的一部分的立體圖及側(cè)視圖。

圖9是表示再一個實施方式的搬運裝置的一部分的立體圖及俯視圖。

圖10是表示通過中央附近撓曲而防止前端的撓曲的狀態(tài)的基板的立體圖。

圖11是用于說明驗證裝置的結(jié)構(gòu)的說明圖。

圖12是表示驗證結(jié)果的曲線圖。

具體實施方式

以下，參照附圖說明本發(fā)明的幾個示例性的實施方式。

本發(fā)明的實施方式的搬運裝置能夠適合用于，例如在無塵室內(nèi)對如玻璃基板之類的薄的對象物進行搬運。在玻璃基板的情況下，不僅能夠?qū)⒑穸?.7mm左右的基板作為對象，而且還能夠?qū)⒑穸?.1～0.3mm左右的極薄的基板作為對象。