[發明專利]半導體激光器裝置

在審

• 申請號: 201380063301.2
• 申請日: 2013-10-01
• 公開（公告）號: CN104838550A
• 公開（公告）日: 2015-08-12
• 發明（設計）人: 森田大嗣;桂智毅;今野進;藤川周一;西田聰;熊本健二;宮本直樹;黑川裕章
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: H01S5/022
• 分類號: H01S5/022;H01S5/14;H01S5/40;G02B27/10
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

技術領域

本發明涉及一種半導體激光器裝置，該半導體激光器裝置通過具有波長色散功能的波長色散光學元件而實現了波長疊加。

背景技術

在現有的半導體激光器裝置中，已知如下技術，即，為了提高半導體激光器的亮度，對來自半導體激光條各發光點的光束的發散角度進行校正，在使各光束旋轉后，利用透鏡聚光至波長色散光學元件，并且，通過波長色散光學元件的波長色散性，將來自各發光點的光束進行疊加，針對疊加后的光束設置部分透射鏡，形成外部共振器(例如參照專利文獻1)。

專利文獻1：美國專利申請公開第2011/0216417號(Fig.3A)

發明內容

現有的半導體激光器裝置需要用于將從半導體激光條的不同發光點射出的光束匯聚的聚光透鏡，需要確保半導體激光條和聚光透鏡之間的距離、以及聚光透鏡和波長色散光學元件之間的距離，并且應該確保的各距離由半導體激光條的尺寸和波長色散光學元件所具有的波長色散性之間的關系決定，因此存在不能將裝置整體小型化及簡單化的課題。

本發明就是為了解決上述課題而提出的，其目的在于以小型且簡單的結構得到高亮度的半導體激光器裝置。

本發明所涉及的半導體激光器裝置具有：半導體激光條，其具有用于射出多條光束的多個發光點；光束發散角度校正光學系統，其對從多個發光點射出的多條光束各自的發散角度進行校正；光束旋轉光學系統，其使由光束發散角度校正光學系統校正發散角度后的多條光束各自相對于光軸旋轉；波長色散光學元件，其配置于經由光束旋轉光學系統射出的多條光束的聚光位置處，具有波長色散功能；以及部分反射鏡，其配置于由波長色散光學元件反射而以同軸的方式疊加的多條光束的光路上，在該半導體激光器裝置中，光束發散角度校正光學系統相對于多個發光點的在發散角度校正方向上的相對位置，按照多個發光點的排列順序依次變化。

發明的效果

根據本發明，通過使半導體激光條的各發光點和光束發散角度校正光學系統之間的位置關系變化，從而能夠使各光束以同軸的方式疊加，而無需另外設置聚光透鏡，能夠以更小型且簡單的結構得到高亮度的半導體激光器裝置。

附圖說明

圖1是概略地表示本發明的實施方式1所涉及的半導體激光器裝置的斜視圖。

圖2是表示本發明的實施方式1所涉及的半導體激光條上的發光點和光束發散角度校正光學系統之間的位置關系的俯視圖。

圖3是表示本發明的實施方式1所涉及的光束聚光效果的斜視圖。

圖4是表示本發明的實施方式1所涉及的光束聚光效果的俯視圖及側視圖。

圖5是表示本發明的實施方式1所涉及的光束聚光效果的斜視圖。

圖6是表示本發明的實施方式1所涉及的光束聚光效果的俯視圖及側視圖。

圖7是表示本發明的實施方式1所涉及的光束傾角產生機理的斜視圖。

圖8是表示本發明的實施方式1所涉及的光束傾角產生機理的俯視圖及側視圖。

圖9A是表示本發明的實施方式1所涉及的光束聚光效果的斜視圖。

圖9B是表示本發明的實施方式1所涉及的光束聚光效果的斜視圖。

圖10是表示本發明的實施方式1所涉及的半導體激光條上的發光點和光束發散角度校正光學系統之間的位置關系的俯視圖。

圖11是表示本發明的實施方式2所涉及的半導體激光條上的發光點和光束發散角度校正光學系統之間的位置關系的俯視圖。

圖12是概略地表示本發明的實施方式3所涉及的半導體激光器裝置的俯視圖。

圖13是概略地表示本發明的實施方式4所涉及的半導體激光器裝置的俯視圖。

圖14是概略地表示本發明的實施方式5所涉及的半導體激光器裝置的俯視圖。

圖15A是概略地表示本發明的實施方式6所涉及的半導體激光器裝置的俯視圖。

圖15B是概略地表示本發明的實施方式6所涉及的半導體激光器裝置的側視圖。

圖16A是概略地表示在與本發明的實施方式6所涉及的半導體激光器裝置的對比說明中使用的半導體激光器裝置的俯視圖。

圖16B是概略地表示在與本發明的實施方式6所涉及的半導體激光器裝置的對比說明中使用的半導體激光器裝置的側視圖。

具體實施方式

實施方式1

圖1是概略地表示本發明的實施方式1所涉及的半導體激光器裝置的斜視圖。