[發明專利]半導體激光器裝置

在審

• 申請號: 201380063301.2
• 申請日: 2013-10-01
• 公開（公告）號: CN104838550A
• 公開（公告）日: 2015-08-12
• 發明（設計）人: 森田大嗣;桂智毅;今野進;藤川周一;西田聰;熊本健二;宮本直樹;黑川裕章
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: H01S5/022
• 分類號: H01S5/022;H01S5/14;H01S5/40;G02B27/10
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

1.一種半導體激光器裝置，其具有：

半導體激光器，該半導體激光器具有半導體激光條、光束發散角度校正光學系統、以及光束旋轉光學系統，其中，該半導體激光條具有用于射出多條光束的多個發光點，該光束發散角度校正光學系統對從所述多個發光點射出的所述多條光束各自的發散角度進行校正，該光束旋轉光學系統使由所述光束發散角度校正光學系統校正發散角度后的所述多條光束各自相對于光軸旋轉；

波長色散光學元件，其配置于經由所述光束旋轉光學系統射出的所述多條光束的聚光位置處，具有波長色散功能；以及

部分反射鏡，其配置于由所述波長色散光學元件反射而以同軸的方式疊加的所述多條光束的光路上，

在該半導體激光器裝置中，

所述光束發散角度校正光學系統相對于所述多個發光點的在發散角度校正方向上的相對位置，按照所述多個發光點的排列順序依次變化。

2.根據權利要求1所述的半導體激光器裝置，其中，

所述多個發光點在所述半導體激光條上以等間距排列，

所述光束發散角度校正光學系統相對于彼此相鄰的2個發光點的在發散角度校正方向上的相對位置變化量的差異分別設定為固定值。

3.根據權利要求1或2所述的半導體激光器裝置，其中，

所述光束發散角度校正光學系統由柱面透鏡構成，在與從所述多個發光點射出的各光束的光軸垂直的面內，相對于所述多個發光點中的每一個相對傾斜地設置。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的半導體激光器裝置，其中，

所述半導體激光器配置為，射出的所述多條光束相對于與由慢軸方向即X軸和快軸方向即Y軸所規定的XY平面垂直的Z軸傾斜，

關于所述光束發散角度校正光學系統，以使從位于所述半導體激光器的中心的發光點射出的光束通過所述光束旋轉光學系統后相對于所述Z軸平行地行進的方式，對所述Y軸方向的位置進行調整。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的半導體激光器裝置，其中，

具有多個所述半導體激光器。

6.根據權利要求5所述的半導體激光器裝置，其中，

以從所述多個半導體激光器分別射出的光束匯聚于1點，形成光束疊加點的方式，分別配置所述多個半導體激光器。

7.根據權利要求5或6所述的半導體激光器裝置，其中，

還具有反射光學元件，該反射光學元件將從所述半導體激光器射出的光束向所述波長色散光學元件的位置方向反射，

以從所述多個半導體激光器分別射出的光束匯聚于1點，形成光束疊加點的方式，配置所述多個半導體激光器的每一個、以及所述反射光學元件。

8.根據權利要求6或7所述的半導體激光器裝置，其中，

還具有：第1透鏡，其焦距是第1焦距；以及第2透鏡，其焦距是第2焦距，

所述第1透鏡配置于與所述光束疊加點相距所述第1焦距的位置處，

所述第2透鏡配置于與所述第1透鏡的位置相距相當于所述第1焦距及所述第2焦距之和的距離的位置處。

9.根據權利要求6或7所述的半導體激光器裝置，其中，

還具有：第1透鏡，其焦距是第1焦距；以及第2透鏡，其焦距是第2焦距，

所述第1透鏡配置于與所述光束疊加點相距所述第1焦距的位置處，

所述第2透鏡配置于與所述第1透鏡的位置相距與相當于所述第1焦距及所述第2焦距之和的距離相比更短、或更長的位置處，

該半導體激光器裝置還具有在所述波長色散光學元件和所述部分反射鏡之間配置的所述第3透鏡，或者將所述部分反射鏡的鏡面設置為凹面形狀。