[發(fā)明專利]振動(dòng)控制的基板傳送機(jī)械手、系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380061393.0
• 申請日: 2013-11-20
• 公開（公告）號: CN104813462A
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尼爾·瑪利;杰弗里·C·赫金斯;亞歷克斯·明科維奇;布倫丹·蒂爾
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B65G49/06;B25J9/16;B25J19/02
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種振動(dòng)控制的機(jī)械手設(shè)備，包括：

機(jī)械手，所述機(jī)械手具有終端受動(dòng)器，所述終端受動(dòng)器能操作以輸送基板；

傳感器，所述傳感器耦接至所述機(jī)械手，所述傳感器能操作以在所述機(jī)械手輸送所述基板時(shí)感測振動(dòng)；及

基于由所述傳感器測量的數(shù)據(jù)來減少所述機(jī)械手的振動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)控制的機(jī)械手設(shè)備，其中所述傳感器是微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì)。

3.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)控制的機(jī)械手設(shè)備，包括濾波器，所述濾波器能操作以過濾到達(dá)所述機(jī)械手的某些輸入頻率。

4.如權(quán)利要求3所述的振動(dòng)控制的機(jī)械手設(shè)備，其中所述濾波器包括陷波濾波器，所述陷波濾波器能操作以通過阻止預(yù)設(shè)定頻率下的振動(dòng)傳達(dá)至所述基板來減少振動(dòng)。

5.如權(quán)利要求3所述的振動(dòng)控制的機(jī)械手設(shè)備，其中所述總?cè)菰S振動(dòng)低于0.1g的加速度。

6.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)控制的機(jī)械手設(shè)備，進(jìn)一步包括振動(dòng)控制器，所述振動(dòng)控制器能操作以接收來自所述傳感器的指示所述振動(dòng)的第一信號。

7.如權(quán)利要求6所述的振動(dòng)控制的機(jī)械手設(shè)備，其中所述振動(dòng)控制器包括用以將感測到的振動(dòng)與所述機(jī)械手的特定運(yùn)動(dòng)相關(guān)聯(lián)的邏輯。

8.如權(quán)利要求7所述的振動(dòng)控制的機(jī)械手設(shè)備，其中所述邏輯將所述第一信號與數(shù)據(jù)庫對比以確定預(yù)期振動(dòng)。

9.一種機(jī)械手振動(dòng)減少方法，所述方法包括以下步驟：

利用機(jī)械手的終端受動(dòng)器支撐基板；

提供耦接至所述機(jī)械手的傳感器；

在所述機(jī)械手輸送所述基板時(shí)利用所述傳感器檢測所述機(jī)械手的振動(dòng)；

確定發(fā)生不利的振動(dòng)量的一或更多個(gè)條件；及

將所述機(jī)械手的所述終端受動(dòng)器的所述振動(dòng)的至少一些振動(dòng)降至最低。

10.如權(quán)利要求9所述的方法，其中將所述機(jī)械手的所述振動(dòng)的至少一些振動(dòng)降至最低的步驟包括以下步驟：

將濾波器應(yīng)用至電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路以攔截發(fā)生所述不利的振動(dòng)量的一或更多個(gè)頻率。

11.如權(quán)利要求9所述的方法，其中將所述機(jī)械手的所述振動(dòng)的至少一些振動(dòng)降至最低的步驟包括以下步驟：

阻止所述機(jī)械手在發(fā)生所述不利的振動(dòng)量的所述頻率下操作。

12.如權(quán)利要求9所述的方法，其中確定發(fā)生不利的振動(dòng)量的頻率的步驟包括以下步驟：

利用振動(dòng)體人工誘發(fā)外部振動(dòng)。

13.一種振動(dòng)控制的基板輸送系統(tǒng)，包括：

腔室；

機(jī)械手，所述機(jī)械手收納在所述腔室中，所述機(jī)械手具有終端受動(dòng)器，所述終端受動(dòng)器能操作以輸送基板；及

傳感器，所述傳感器耦接至所述機(jī)械手，所述傳感器能操作以在所述機(jī)械手支撐所述基板時(shí)檢測所述機(jī)械手的振動(dòng)。

14.如權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，包括用于驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)電路，所述驅(qū)動(dòng)電路具有濾波器，所述濾波器能操作以減少所述終端受動(dòng)器的振動(dòng)。

15.如權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中所述濾波器是陷波濾波器。