[發明專利]探針卡盒和探針卡輸送方法

在審

• 申請號: 201380061159.8
• 申請日: 2013-11-12
• 公開（公告）號: CN104813458A
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發明（設計）人: 森親臣;雨宮貴
• 申請（專利權）人: 日本電子材料株式會社
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/28
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

本發明提供一種探針卡盒，其能夠容易地進行探針卡的操作處理且還能夠應對小徑化(小型化)了的探針卡。一種用于收納探針卡的探針卡盒，其特征在于，包括：第1盒部件，其能夠將上述探針卡載置在規定位置；第2盒部件，其能夠與上述第1盒部件的上側嵌合，具有用于固定上述探針卡的探針卡固定機構；和盒固定機構，其用于固定上述第1盒部件和上述第2盒部件，能夠在將上述探針卡收納在上述探針卡盒的內部、且將上述第1盒部件和上述第2盒部件固定了的狀態下進行輸送，并且，能夠在將上述探針卡固定在上述第2盒部件的狀態下，將上述探針卡僅與上述第2盒部件一起輸送。

技術領域

本發明涉及探針卡盒和探針卡輸送方法。

背景技術

在半導體器件的制造步驟中，使用用于進行形成在半導體晶片上的半導體器件的電檢查的探針裝置。在這樣的探針裝置中，使用配置有與半導體晶片上的電極極板接觸的多個探針的探針卡(例如參照專利文獻1。)。

在上述的探針卡中，開發有使探針與形成在半導體晶片上的多個半導體器件一起接觸的探針卡，來實現半導體器件檢查的效率化。在這樣的探針卡中，有時在從探針裝置取下的狀態下作業員將探針卡拿在手中進行輸送。

但是，在使探針一起與半導體器件接觸的探針卡中，存在大型化、其重量也變重的趨勢。另外，在用手保持探針卡時，也需要使手不與探針接觸。因此，以在探針的配置區域的外側確保一定程度的較寬的區域的方式配置構成部件，或者設置用于保持探針卡的把手等。

但是，在上述的構成中，產生探針卡進一步大徑化(大型化)，重量也變重，制造成本也增大等的問題。另一方面，為了避免這樣的問題，當使探針卡小徑化(小型化)時，存在對其的操作處理變得困難的問題。

此外，也已知有將探針卡收納于盒來保護探針等的技術(例如參照專利文獻2、專利文獻3。)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2010-80775號公報

專利文獻2：日本特開平7-169800號公報

專利文獻3：日本特開2003-100821號公報

發明內容

發明想要解決的技術問題

如上所述，在現有技術中，存在探針卡大型化、其重量也變重的趨勢。為了避免這樣的問題，當使探針卡小徑化(小型化)時，產生對其的操作處理變得困難的問題。

本發明是針對上述現有的情況而完成的，其目的在于提供一種能夠容易地進行探針卡的操作處理且也能夠應對小徑化(小型化)的探針卡的探針卡盒和探針卡輸送方法。

用于解決技術課題的技術方案

根據本發明，提供一種用于收納探針卡的探針卡盒，其特征在于，包括：第1盒部件，其能夠將上述探針卡載置在規定位置；第2盒部件，其能夠與上述第1盒部件的上側嵌合，具有用于固定上述探針卡的探針卡固定機構；和盒固定機構，其用于固定上述第1盒部件和上述第2盒部件，能夠在將上述探針卡收納在上述探針卡盒的內部、且將上述第1盒部件和上述第2盒部件固定了的狀態下進行輸送，并且，能夠在將上述探針卡固定在上述第2盒部件的狀態下，將上述探針卡僅與上述第2盒部件一起輸送。

本發明中，優選能夠通過上述探針卡固定機構從上述第2盒部件的外側固定上述探針卡，能夠將被固定的上述探針卡從上述第2盒部件脫離。

本發明中，優選上述第2盒部件的至少一部分為透明，從外部能夠目視收納于上述探針卡盒的內部的上述探針卡。

本發明中，優選在上述第2盒部件設置有多個用于搬運的把手。