[發(fā)明專(zhuān)利]探針卡盒和探針卡輸送方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380061159.8
• 申請(qǐng)日: 2013-11-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104813458A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森親臣;雨宮貴
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 日本電子材料株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01R1/04
• 分類(lèi)號(hào): G01R1/04;G01R31/28
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種用于收納探針卡的探針卡盒，其特征在于，包括：

第1盒部件，其被安裝所述探針卡，所述探針卡包括絕緣性基板和配置在該絕緣性基板的下表面的探針；

第2盒部件，其能夠與所述第1盒部件的上表面?zhèn)惹逗希哂杏糜诠潭ㄋ鎏结樋ǖ奶结樋ü潭C(jī)構(gòu)；和

盒固定機(jī)構(gòu)，其可選擇將所述第1盒部件固定于所述第2盒部件，或者將所述第1盒部件從所述第2盒部件分開(kāi)，

能夠在將所述探針卡收納在所述探針卡盒內(nèi)、將所述第1盒部件固定于所述第2盒部件的狀態(tài)下進(jìn)行輸送，并且，

能夠在將所述探針卡固定在所述第2盒部件且將所述第1盒部件從所述第2盒部件分開(kāi)的狀態(tài)下，將所述探針卡僅與所述第2盒部件一起輸送。

2.如權(quán)利要求1所述的探針卡盒，其特征在于：

能夠利用所述探針卡固定機(jī)構(gòu)從所述第2盒部件的外側(cè)固定所述探針卡，能夠?qū)⒈还潭ǖ乃鎏结樋◤乃龅?盒部件脫離。

3.如權(quán)利要求1所述的探針卡盒，其特征在于：

所述第2盒部件的至少一部分為透明，從外部能夠目視收納于所述探針卡盒的內(nèi)部的所述探針卡。

4.如權(quán)利要求1所述的探針卡盒，其特征在于：

在所述第2盒部件設(shè)置有多個(gè)用于搬運(yùn)的把手。

5.如權(quán)利要求1所述的探針卡盒，其特征在于：

在所述第2盒部件的上表面和所述第1盒部件的下表面各自配置有在將多個(gè)所述探針卡盒重疊時(shí)相互嵌合的嵌合部。

6.一種輸送探針卡的探針卡輸送方法，所述探針卡包括：

絕緣性的基板；

配置在所述基板的下表面的探針；

配置在所述基板的上表面且通過(guò)與所述探針電連接而與電測(cè)定裝置連接的電連接部；和

包圍所述基板的周?chē)目蝮w，

所述探針卡輸送方法的特征在于，包括：

在權(quán)利要求1所述的探針卡盒內(nèi)收納所述探針卡的步驟；和

在將所述探針卡固定在所述第2盒部件的狀態(tài)下，將所述探針卡僅與所述第2盒部件一起輸送的步驟。