[發(fā)明專利]彈性波裝置的制造方法以及彈性波裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380060102.6
• 申請日: 2013-10-22
• 公開（公告）號(hào): CN104798302A
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 比良光善;甲斐誠二
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社村田制作所
• 主分類號(hào): H03H3/08
• 分類號(hào): H03H3/08;H01L41/09;H01L41/18;H03H9/25
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 薛凱

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及彈性波裝置的制造方法以及彈性波裝置。

背景技術(shù)

過去，作為彈性波裝置的制造方法，已知在由壓電體構(gòu)成的母基板上形成多個(gè)元件部后分?jǐn)喑筛髟浚纱艘韵嗤闹圃旃ば蛑圃於鄠€(gè)彈性波裝置的方法。例如在專利文獻(xiàn)1中記載了其一例。

在專利文獻(xiàn)1所記載的制造方法中，首先，在由壓電體構(gòu)成的母基板上形成多個(gè)元件部。在元件部的形成時(shí)，和元件部一起形成與各元件部電連接的供電線。接下來，在母基板上包圍各元件部地形成具有突起部的支承層。接下來在支承層上配置外罩構(gòu)件。之后，通過切割將得到的層疊體分?jǐn)喑筛髟浚纱艘酝恢圃旃ば蛑圃於鄠€(gè)彈性波裝置。

先行技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：WO2012/132147號(hào)公報(bào)

發(fā)明的概要

發(fā)明要解決的課題

如專利文獻(xiàn)1記載的那樣，通過在支承層設(shè)置突出部來抑制硬化收縮所引起的框狀的支承層的形變，由此能抑制密封空間的泄漏不良。

但是，在專利文獻(xiàn)1所記載的彈性波裝置的制造方法中，因切割所帶來的切削力，會(huì)讓供電線從母基板剝離，有時(shí)會(huì)發(fā)生不能除去供電線的問題。由于與功能元件電連接的供電線的剝離，而存在容易制造出有短路不良的彈性波裝置這樣的問題。另外，若用專利文獻(xiàn)1所記載的彈性波裝置的制造方法增加突起部的數(shù)量來防止供電線的剝離，則由于因切割所帶來的切削力而變形的突起部會(huì)使支承體主體變形，因此存在變得易于發(fā)生泄漏不良的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于，提供能使短路不良和泄漏不良的發(fā)生較少的彈性波裝置的制造方法。

用于解決課題的手段

在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的制造方法中，在具有壓電性的母基板的一方主面上形成多個(gè)功能元件部、和將多個(gè)功能元件部電連接的連接線。在母基板的一方主面上形成包圍功能元件部的樹脂制的支承層。通過按照切割線將具有母基板、功能元件部以及支承層的層疊體分?jǐn)喑啥鄠€(gè)，來得到具有功能元件部的彈性波裝置。連接線具有：位于切割線上的線主體；和將線主體和功能元件部電連接的連接部。在層疊體的分?jǐn)嗲埃谀富迳吓c支承層分離地形成在線主體的寬度方向上跨線主體的樹脂制的保持構(gòu)件。

在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的制造方法的某特定的局面下，設(shè)置覆蓋連接部的線主體側(cè)端部的保持構(gòu)件。

在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的制造方法的另外特定的局面下，在切割線所位于的區(qū)域，使不設(shè)保持構(gòu)件的面積大于設(shè)置保持構(gòu)件的面積地設(shè)置保持構(gòu)件。

在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的制造方法的再其它特定的局面下，用相同的工法形成保持構(gòu)件和支承層。

本發(fā)明所涉及的彈性波裝置具備：壓電基板、功能元件部、電極部、支承層和外罩。功能元件部設(shè)置在壓電基板的一方主面上。電極部與功能元件部電連接。電極部到達(dá)壓電基板的端邊。支承層在壓電基板的一方主面上包圍功能元件部而設(shè)。外罩被支承層支承。外罩覆蓋功能元件部。支承層從壓電基板的端邊分離而設(shè)，包圍功能元件部。本發(fā)明所涉及的彈性波裝置還具備樹脂制的保持構(gòu)件。保持構(gòu)件在壓電基板上與支承層分離而設(shè)。保持構(gòu)件到達(dá)壓電基板的端邊。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，能提供能減少短路不良和泄漏不良的發(fā)生的彈性波裝置的制造方法。

附圖說明

圖1是用于說明第1實(shí)施方式中的彈性波裝置的制造工序的概略俯視圖。

圖2是用于說明第1實(shí)施方式中的彈性波裝置的制造工序的概略俯視圖。

圖3是用于說明第1實(shí)施方式中的彈性波裝置的制造工序的概略俯視圖。

圖4是圖3的線IV-IV的概略截面圖。

圖5是圖3的線V-V的概略截面圖。

圖6是在第1實(shí)施方式中制作的層疊體的概略截面圖。

圖7是在第1實(shí)施方式中制作的層疊體的概略俯視圖。

圖8是在第1實(shí)施方式中制造的彈性波裝置的概略俯視圖。

圖9是圖8的線IX-IX的概略截面圖。

圖10是用于說明第2實(shí)施方式中的彈性波裝置的制造工序的概略俯視圖。

圖11是圖10的線XI-XI的概略截面圖。

圖12是在第2實(shí)施方式中制造的彈性波裝置的概略俯視圖。

圖13是圖12的線XIII-XIII中的概略截面圖。

圖14是放大圖12的電極連接盤近旁部分的概略俯視圖。

具體實(shí)施方式