[發明專利]彈性波裝置的制造方法以及彈性波裝置

在審

• 申請號: 201380060102.6
• 申請日: 2013-10-22
• 公開（公告）號: CN104798302A
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發明（設計）人: 比良光善;甲斐誠二
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H3/08
• 分類號: H03H3/08;H01L41/09;H01L41/18;H03H9/25
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 薛凱

1.一種彈性波裝置的制造方法，具備：

在具有壓電性的母基板的一方主面上形成多個功能元件部、和將所述多個功能元件部電連接的連接線的工序；

在所述母基板的一方主面上形成包圍所述功能元件部的樹脂制的支承層的工序；和

通過按照切割線將具有所述母基板、所述功能元件部以及所述支承層的層疊體分斷為多個來得到具有所述功能元件部的彈性波裝置的工序，

所述連接線具有：位于所述切割線上的線主體；和將所述線主體與所述功能元件部電連接的連接部，

在所述層疊體的分斷前，還具備：在所述母基板上與所述支承層分離地形成在所述線主體的寬度方向上跨所述線主體的樹脂制的保持構件的工序。

2.根據權利要求1所述的彈性波裝置的制造方法，其中，

設置覆蓋所述連接部的所述線主體側端部的所述保持構件。

3.根據權利要求1或2所述的彈性波裝置的制造方法，其中，

在所述切割線所位于的區域，使未設所述保持構件的面積大于設置所述保持構件的面積地設置所述保持構件。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的彈性波裝置的制造方法，其中，

用相同的工法形成所述保持構件和所述支承層。

5.一種彈性波裝置，具備：

壓電基板；

設置在所述壓電基板的一方主面上的功能元件部；

與所述功能元件部電連接并到達所述壓電基板的端邊的電極部；

在所述壓電基板的一方主面上包圍所述功能元件部而設的支承層；和

被所述支承層支承并覆蓋所述功能元件部的外罩，

所述支承層從所述壓電基板的端邊分離而設，并包圍所述功能元件部，

所述彈性波裝置還具備樹脂制的保持構件，其在所述壓電基板上與所述支承層分離而設，并到達所述壓電基板的端邊。