[發明專利]靜電夾具

在審

• 申請號: 201380059623.X
• 申請日: 2013-12-05
• 公開（公告）號: CN104797979A
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發明（設計）人: P·克洛普;B·梅爾藤斯;A·諾特布姆
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華;張寧

1.一種靜電夾具，包括：電極、位于所述電極上的阻性材料的層、以及位于所述阻性材料上的電介質的層，其中所述靜電夾具進一步包括從所述電介質的層突出的突節。

2.根據權利要求1所述的靜電夾具，其中，所述突節由電介質形成。

3.根據權利要求2所述的靜電夾具，其中，所述突節與所述電介質材料的層均由相同電介質形成。

4.根據權利要求2所述的靜電夾具，其中，所述突節由與用于形成所述電介質的層的所述電介質不同的電介質形成。

5.根據前述權利要求中任一項所述的靜電夾具，其中，其上提供了所述電介質的層的所述阻性材料的層的表面是平滑的。

6.根據前述權利要求中任一項所述的靜電夾具，其中，其上提供了所述電介質的層的所述阻性材料的層的表面是拋光的。

7.根據前述權利要求中任一項所述的靜電夾具，其中，所述突節由類金剛石碳形成。

8.根據前述權利要求中任一項所述的靜電夾具，其中，所述電介質的層與所述突節均由類金剛石碳形成。

9.一種靜電夾具，包括：電極、以及位于所述電極上的電介質的層，其中所述靜電夾具進一步包括從所述電介質的層突出的突節。

10.根據權利要求9所述的靜電夾具，其中，所述突節由電介質形成。

11.根據權利要求10所述的靜電夾具，其中，所述突節與所述電介質材料的層均由相同電介質形成。

12.根據權利要求9至11中任一項所述的靜電夾具，其中，其上提供了所述電介質的層的所述電極的表面是平滑的。

13.一種光刻設備，包括根據權利要求1或9所述的夾具。

14.一種制造靜電夾具的方法，包括：

在電極的頂部上提供阻性材料的層；

在所述阻性材料的層的頂部上提供電介質的層；

移除一些所述電介質以形成從所述電介質的層突出的突節。

15.根據權利要求14所述的方法，其中，其上提供了所述電介質的層的所述阻性材料的層的表面是平滑的。

16.根據權利要求14或15所述的方法，其中，其上提供了所述電介質的層的所述阻性材料的層的表面是拋光的。

17.一種制造靜電夾具的方法，包括：

在電極的頂部上提供阻性材料的層；

在所述阻性材料的層的頂部上提供電介質的層；

在所述電介質的層的頂部上形成突節。

18.根據權利要求17所述的方法，其中，所述突節由電介質形成。

19.根據權利要求18所述的方法，其中，所述突節和所述電介質的層均使用相同電介質形成。

20.根據權利要求17至19中任一項所述的方法，其中，其上提供了所述電介質的層的所述阻性材料的層的表面是平滑的。

21.根據權利要求17至20中任一項所述的方法，其中，其上提供了所述電介質的層的所述阻性材料的層的表面是拋光的。

22.一種制造靜電夾具的方法，包括：

在電極的頂部上提供電介質的層；

移除一些所述電介質以形成從所述電介質的層突出的突節。

23.根據權利要求22所述的方法，其中，其上提供了所述電介質的層的所述電極的表面是平滑的。

24.根據權利要求22或23所述的方法，其中，其上提供了所述電介質的層的所述電極的表面是拋光的。

25.一種制造靜電夾具的方法，包括：

在電極的頂部上提供電介質的層；

在所述電介質材料的層的頂部上形成突節。

26.根據權利要求25所述的方法，其中，其上提供了所述電介質的層的所述電極的表面是平滑的。

27.根據權利要求25或26所述的方法，其中，其上提供了所述電介質的層的所述電極的表面是拋光的。