[發(fā)明專利]電接觸構(gòu)件

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380056852.6
• 申請日: 2013-11-27
• 公開（公告）號: CN104755943A
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 木村哲平;福島則之;浦田敦夫;有田直樹;武田朋之
• 申請（專利權(quán)）人: 日本電子材料株式會社
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;H01L21/66
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 洪秀川

1.一種電接觸構(gòu)件，其特征在于，具備：

接觸部，其抵接于檢查對象物；

端子部，使其與配線基板導(dǎo)通；

彈性變形部，其設(shè)置在上述接觸部以及端子部之間，并在長邊方向的壓縮力的作用下彈性變形；以及

滑動部，其由引導(dǎo)板的貫通孔支承為能夠在長邊方向上移動，

上述滑動部具有由外層夾著中間層、層疊面在長邊方向上延伸的層疊構(gòu)造，

在上述滑動部的側(cè)面，上述中間層比上述外側(cè)更突出。

2.如權(quán)利要求1所述的電接觸構(gòu)件，其特征在于，

在上述滑動部的側(cè)面，以覆蓋中間層以及外層的方式形成有鍍層。

3.如權(quán)利要求1或2所述的電接觸構(gòu)件，其特征在于，

上述滑動部形成在上述接觸部以及上述彈性變形部之間。

4.如權(quán)利要求1或2所述的電接觸構(gòu)件，其特征在于，

上述滑動部形成在上述端子部以及上述彈性變形部之間。

5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的電接觸構(gòu)件，其特征在于，

上述彈性變形部由細(xì)長的板狀體構(gòu)成，

上述板狀體具有：由第1金屬構(gòu)成的導(dǎo)電層、在寬度方向上以夾著上述導(dǎo)電層的方式形成的由第2金屬構(gòu)成的應(yīng)力層、在上述板狀體的主面上以覆蓋上述導(dǎo)電層的方式形成的由第3金屬構(gòu)成的薄膜層，

第1金屬的電阻率小于第2金屬的電阻率，

第2金屬以及第3金屬的機(jī)械強(qiáng)度比第1金屬的機(jī)械強(qiáng)度高。

6.如權(quán)利要求5所述的電接觸構(gòu)件，其特征在于，

上述彈性變形部由以隔著空隙而使上述主面對置的方式配置的兩個以上的上述板狀體構(gòu)成，

上述板狀體在長邊方向的兩端相互結(jié)合。

7.如權(quán)利要求6所述的電接觸構(gòu)件，其特征在于，

上述薄膜層形成在配置于兩端的上述板狀體的外側(cè)的主面上，而未形成在與上述空隙相鄰的主面上。

8.如權(quán)利要求7所述的電接觸構(gòu)件，其特征在于，

具備三個以上的上述板狀體，

上述板狀體具有相互大致相同的厚度。

9.如權(quán)利要求5至8中任一項(xiàng)所述的電接觸構(gòu)件，其特征在于，

在上述薄膜層上形成有絕緣膜。