[發(fā)明專利]具有交替的導(dǎo)電層和不導(dǎo)電層的多層構(gòu)造

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380055191.5
• 申請(qǐng)日: 2013-10-23
• 公開（公告）號(hào): CN104718310A
• 公開（公告）日: 2015-06-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M.阿布阿薩爾;O.凱特爾;S.席布利;A.賴辛格
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 賀利氏貴金屬有限責(zé)任兩合公司
• 主分類號(hào): C23C18/06
• 分類號(hào): C23C18/06;C23C18/12;G01N33/543
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 杜荔南;胡莉莉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于制造層構(gòu)造的方法，該方法至少包括下列步驟：提供襯底；將第一液體施加到襯底的至少一部分上；使第一液體干燥，其中形成第一層；將第二液體施加到第一層的至少一部分上；使第二液體干燥，其中形成第二層，其中要么襯底和第二層為導(dǎo)電的并且第一層為絕緣的，要么其中襯底和第二層為絕緣的并且第一層為導(dǎo)電的。此外，本發(fā)明還涉及一種可根據(jù)前述方法獲得的層構(gòu)造、以及一種包括下列至少三層的層構(gòu)造：i.襯底；ii.第一層；iii.第二層，其中要么襯底和第二層為導(dǎo)電的并且第一層為絕緣的，要么其中襯底和第二層為絕緣的并且第一層為導(dǎo)電的。除此之外，本發(fā)明涉及一種包含前述層構(gòu)造的測量裝置。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有技術(shù)中，具有不同導(dǎo)電層的層構(gòu)造大多在應(yīng)用耗費(fèi)的濺射工藝的情況下來描述。在此，必須使用耗費(fèi)的設(shè)備來遵循方法條件，并且此外必須執(zhí)行昂貴的方法來氣化用于濺射的材料。

發(fā)明內(nèi)容

一般地，本發(fā)明的任務(wù)在于，至少部分地克服從現(xiàn)有技術(shù)中得出的缺點(diǎn)。

另一任務(wù)在于，提供一種低成本且有效的用于制造具有至少三個(gè)層的層構(gòu)造的方法。

另一任務(wù)在于，提供一種用于制造具有至少三個(gè)層的層構(gòu)造的方法，利用該方法可以制造盡可能薄的層。

另一任務(wù)在于，提供一種簡單且快速的用于制造具有至少三個(gè)層的層構(gòu)造的方法，所述三個(gè)層中的至少兩個(gè)層具有不同的電導(dǎo)率，也就是說，至少一個(gè)層是導(dǎo)電的并且至少一個(gè)第二層是絕緣的。

另一任務(wù)在于，提供一種用于制造具有至少三個(gè)層的層構(gòu)造的方法，其中積聚盡可能少的廢物、尤其是盡可能少的清除起來昂貴的廢物。

另一任務(wù)在于，提供一種可簡單和低成本地制造的具有至少三個(gè)層的層構(gòu)造。

另一任務(wù)在于，提供一種可盡可能簡單和低成本地制造的具有層構(gòu)造的測量裝置。

另一任務(wù)在于，提供一種具有層構(gòu)造的測量裝置，其層構(gòu)造至少與從現(xiàn)有技術(shù)中已知的具有層構(gòu)造的測量裝置一樣精確、可靠或長壽命地可使用。

獨(dú)立權(quán)利要求的主題有助于解決開頭提到的任務(wù)中的至少一個(gè)。從屬于獨(dú)立權(quán)利要求的從屬權(quán)利要求的主題是優(yōu)選的構(gòu)型。

本發(fā)明的第一主題是一種用于制造層構(gòu)造的方法，包括下列步驟：

a.提供襯底，

b.將第一液體施加到襯底的至少一部分上，

c.使第一液體干燥，其中形成第一層，

d.將第二液體施加到第一層的至少一部分上，

e.使第二液體干燥，其中形成第二層，

其中

A）襯底和第二層為導(dǎo)電的并且第一層為絕緣的，或者

B）襯底和第二層為絕緣的并且第一層為導(dǎo)電的。

在本發(fā)明的范圍內(nèi)，“導(dǎo)電”是指，所表示的對(duì)象具有小于10kΩ（10000歐姆）、優(yōu)選小于5kΩ或者小于1kΩ的比表面電阻。但是比表面電阻常常同時(shí)大于1Ω、優(yōu)選大于5Ω。如果襯底包含多個(gè)導(dǎo)電層，則這些層中的每個(gè)單個(gè)層的比表面電阻滿足前述準(zhǔn)則中的至少一個(gè)。多個(gè)導(dǎo)電層中的不同導(dǎo)電層可以具有在前述準(zhǔn)則之內(nèi)的相同或不同的表面電阻。

在本發(fā)明的范圍內(nèi)，“絕緣”是指，所表示的對(duì)象具有大于50?kΩ、優(yōu)選大于500?kΩ或者大于1MΩ（1000000歐姆）的比表面電阻。但是比表面電阻常常同時(shí)小于100MΩ、優(yōu)選小于10MΩ。如果襯底包含多個(gè)導(dǎo)電層，則這些層中的每個(gè)單個(gè)層的比表面電阻滿足前述準(zhǔn)則中的至少一個(gè)。多個(gè)導(dǎo)電層中的不同導(dǎo)電層可以具有在前述準(zhǔn)則之內(nèi)的相同或不同的表面電阻。

“生物相容”是指，所表示的對(duì)象根據(jù)ISO?10993?1-20標(biāo)準(zhǔn)滿足對(duì)生物相容性的相關(guān)要求。

原理上，根據(jù)本發(fā)明的方法來形成層可以按照本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的并且對(duì)根據(jù)本發(fā)明的方法顯得合適的方法來進(jìn)行。為了形成一個(gè)、優(yōu)選多個(gè)以及特別優(yōu)選所有層，特別優(yōu)選地選擇溶膠－凝膠方法或者如下的方法：在該方法的情況下，層形成通過從膠質(zhì)溶液或分散體中沉積顆粒來進(jìn)行。在絕緣層的制造方面，溶膠－凝膠方法在本發(fā)明的范圍內(nèi)是特別優(yōu)選的。在制造導(dǎo)電層的方面，通過從膠質(zhì)溶液或從分散體中進(jìn)行沉積來施加是優(yōu)選的。前述方法對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員是熟悉的。

在根據(jù)本發(fā)明方法的一個(gè)優(yōu)選構(gòu)型中，施加通過與液體接觸、尤其是通過浸入到液體中或者通過用液體噴涂必要時(shí)被鍍層的襯底來執(zhí)行。多個(gè)層可以以相同或不同方式來施加。多個(gè)相同的層也可以被不同地施加，也就是說，例如第一次通過浸入并且另一次通過噴涂。