[發(fā)明專(zhuān)利]測(cè)試半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380050136.7
• 申請(qǐng)日: 2013-05-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104704379B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龔宇清;劉恒立;金明燮;蘇芮戌·P·帕拉瑪斯偉朗;張慶煌;布恩·Y·安格
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 吉林克斯公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/319
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/319;G01R31/28;G01R31/317
• 代理公司: 北京寰華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11408
• 代理人: 林柳岑

1.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，包括：

中介片，其包括布線電路系統(tǒng)，該布線電路系統(tǒng)在該半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的一或更多個(gè)布線層中包含復(fù)數(shù)條訊號(hào)線路區(qū)段；

復(fù)數(shù)個(gè)微凸塊接點(diǎn)，其放置在該中介片的表面上并且耦合至該布線電路系統(tǒng)；

其中該復(fù)數(shù)條訊號(hào)線路區(qū)段中的每一條訊號(hào)線路區(qū)段分別連接該復(fù)數(shù)個(gè)微凸塊接點(diǎn)中的一對(duì)微凸塊接點(diǎn)；以及

復(fù)數(shù)個(gè)測(cè)試電路，其堆疊于該中介片上，每一個(gè)測(cè)試電路皆透過(guò)該復(fù)數(shù)個(gè)微凸塊接點(diǎn)所組成的相應(yīng)子集被耦合至該復(fù)數(shù)條訊號(hào)線路區(qū)段所組成的子集，每一個(gè)測(cè)試電路被配置成用以：

切換地將連接該復(fù)數(shù)個(gè)微凸塊接點(diǎn)所組成的該相應(yīng)子集中的第一對(duì)微凸塊接點(diǎn)連接至該復(fù)數(shù)個(gè)微凸塊接點(diǎn)所組成的該相應(yīng)子集中的至少第二對(duì)微凸塊接點(diǎn)，以形成該復(fù)數(shù)條訊號(hào)線路區(qū)段所組成的該子集的第一組菊鏈，以及動(dòng)態(tài)地將該復(fù)數(shù)個(gè)微凸塊接點(diǎn)所組成的該相應(yīng)子集中的第三對(duì)微凸塊接點(diǎn)連接至該復(fù)數(shù)個(gè)微凸塊接點(diǎn)所組成的該相應(yīng)子集中的至少第四對(duì)微凸塊接點(diǎn)，以形成該復(fù)數(shù)條訊號(hào)線路區(qū)段所組成的該子集的第二組菊鏈；

測(cè)試該第一組菊鏈與該第二組菊鏈之間的短路；

測(cè)試該第一組菊鏈與該第二組菊鏈的開(kāi)路；

響應(yīng)于偵測(cè)菊鏈中的開(kāi)路而決定該菊鏈中的該開(kāi)路所在的部分；以及

響應(yīng)于偵測(cè)該第一組菊鏈與該第二組菊鏈之間的短路而決定該第一組菊鏈短路連接至該第二組菊鏈的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其中該中介片包括

經(jīng)排列成數(shù)組的復(fù)數(shù)個(gè)焊球；以及

分別被連接至該焊球的復(fù)數(shù)個(gè)直通硅穿孔；

其中該布線電路系統(tǒng)被連接至該復(fù)數(shù)個(gè)微凸塊接點(diǎn)和該復(fù)數(shù)個(gè)直通硅晶穿孔，該布線電路系統(tǒng)包括在該中介片之第一布線層中的第一組訊號(hào)線路以及在該中介片之第二布線層中的第二組訊號(hào)線路。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其中：

每一個(gè)測(cè)試電路在決定該菊鏈中的該開(kāi)路所在之部分中進(jìn)一步被配置成用以決定該菊鏈中的該復(fù)數(shù)個(gè)微凸塊接點(diǎn)中在其之間有不連續(xù)性的相鄰微凸塊接點(diǎn)對(duì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其中，每一個(gè)測(cè)試電路在決定該第一組菊鏈短路連接至該第二組菊鏈的位置中進(jìn)一步被配置成用以決定被連接在一起的一對(duì)微凸塊接點(diǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其中，該復(fù)數(shù)個(gè)測(cè)試電路中的每一者包含：

第一切換電路，其配置成用以響應(yīng)于表示該第一組菊鏈中的第一菊鏈的第一控制訊號(hào)將該第一菊鏈的第一端連接至第一終端；

第二切換電路，其配置成用以響應(yīng)于表示該第一菊鏈的第二控制訊號(hào)將該第一菊鏈的第二端連接至第二終端；

第三切換電路，其配置成用以響應(yīng)于表示該第二組菊鏈中的第二菊鏈的第三控制訊號(hào)將該第二菊鏈的第一端連接至第三終端；

第四切換電路，其配置成用以響應(yīng)于表示該第二菊鏈的第四控制訊號(hào)將該第二菊鏈的第二端連接至第四終端；

感測(cè)電路，其連接至該第一終端、該第二終端、該第三終端、以及該第四終端；以及

控制電路，其耦合至該第一切換電路、該第二切換電路、該第三切換電路、以及該第四切換電路，并且被配置成用以調(diào)整該第一控制訊號(hào)、該第二控制訊號(hào)、該第三控制訊號(hào)、以及該第四控制訊號(hào)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其中，該復(fù)數(shù)個(gè)測(cè)試電路中的每一者被配置成用以針對(duì)該第一組菊鏈中的每一個(gè)菊鏈通過(guò)下面方式來(lái)測(cè)試該第一組菊鏈和該第二組菊鏈之間的短路：

將該第一組菊鏈中的該菊鏈的第一端與第二端連接至第一終端；

將該第二組菊鏈中的一或更多個(gè)菊鏈的第一端與第二端連接至第二終端；以及

測(cè)試該第一終端與該第二終端之間的連續(xù)性。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其中，

該第二組菊鏈中的該一或更多個(gè)菊鏈包含該第二組菊鏈中的所有菊鏈；以及

該測(cè)試電路進(jìn)一步被配置成用以響應(yīng)于偵測(cè)該第一終端與該第二終端之間的連續(xù)性，通過(guò)選擇該第二組菊鏈的子集、僅將該第二組菊鏈的該子集中的菊鏈連接至該第二終端、以及重復(fù)測(cè)試該第一終端與該第二終端之間的連續(xù)性，以找出在該第一組菊鏈中的該菊鏈上提供連續(xù)性的電氣路徑，該第二組菊鏈的該子集之選擇是根據(jù)二元搜尋來(lái)實(shí)施。