[發(fā)明專利]波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380048513.3
• 申請(qǐng)日: 2013-09-03
• 公開（公告）號(hào): CN104641286B
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齋藤寬;藤本正俊;大石真吾;福滿憲志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G02F1/37
• 分類號(hào): G02F1/37;G02F1/061;G02F1/13
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置。

背景技術(shù)

非專利文獻(xiàn)1記載有使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)鏡進(jìn)行紫外光(波長(zhǎng)400nm)在傅立葉面的相位調(diào)制的技術(shù)。該非專利文獻(xiàn)1所使用的MEMS鏡能將包含于200nm以上900nm以下的波長(zhǎng)范圍的光進(jìn)行空間上相位調(diào)制。

另外，非專利文獻(xiàn)2記載有使用能讓包含紫外區(qū)的波長(zhǎng)范圍的光透過的液晶裝置，進(jìn)行寬帶光在傅立葉面的相位調(diào)制的技術(shù)。該非專利文獻(xiàn)2所使用的液晶裝置為能將包含于260nm以上1100nm以下的波長(zhǎng)范圍的光進(jìn)行空間上相位調(diào)制。此外，該非專利文獻(xiàn)2所使用的液晶本身的評(píng)估結(jié)果記載于非專利文獻(xiàn)3。

另外，非專利文獻(xiàn)4記載有將350nm頻帶的光進(jìn)行空間上相位調(diào)制的技術(shù)。該非專利文獻(xiàn)4所使用的相位調(diào)制裝置，可想到具有衍射光學(xué)元件(DOE:Diffractive Optics Elements)這種固定的調(diào)制圖案的裝置。

另外，非專利文獻(xiàn)5記載有以紫外激光的脈沖波形控制作為目的，在傅立葉面的相位調(diào)制之后進(jìn)行波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換的技術(shù)。

先行技術(shù)文獻(xiàn)

非專利文獻(xiàn)

非專利文獻(xiàn)1：M.Hacker et al.,“Micromirror SLM for femtosecond pulse shaping in the ultraviolet”,Applied Physics B,Vol.76,pp.711-714(2003)

非專利文獻(xiàn)2：T.Tanigawa et al.,“Spatial light modulator of 648pixels with liquid crystal transparent from ultraviolet to near-infrared and its chirp compensation application”,Optics Letters,Vol.34,No.11,pp.1696-1698(2009)

非專利文獻(xiàn)3：K.Hazu et al.,“Spatial light modulator with an over-two-octave bandwidth from ultraviolet to near infrared”,Optics Letters,Vol.32,pp.3318-3320(2007)

非專利文獻(xiàn)4：A.Holle et a1.,“Optimizing UV laser focus profiles for improved MALDI performance”,Journal of Mass Spectrometry,Vol.41,pp.705-716(2006)

非專利文獻(xiàn)5：P.Nuernberger et al.,“Generation of shaped ultraviolet pulses at the third harmonic of titanium-sapphire femtosecond laser radiation”,Applied Physics B,Vol.88,pp.519-526(2007)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

近年來，在激光加工的領(lǐng)域中，使用空間光調(diào)制器將激光進(jìn)行空間上相位調(diào)制。通過使用空間光調(diào)制器能將激光整形成任意圖案，而能實(shí)現(xiàn)具有各種特征的加工。

另外，近年來，在激光加工的領(lǐng)域，嘗試由紫外激光的加工。由紫外激光的加工，相較于由近紅外光或可見光的加工，由于激光容易被各種材料吸收，能使點(diǎn)徑小因而能進(jìn)行微細(xì)加工，對(duì)加工對(duì)象的熱影響減少而具有眾多優(yōu)點(diǎn)。因此，通過紫外激光的加工使可加工的材料的適用范圍較廣，且可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量且微細(xì)的加工。另外，紫外激光也適用于光刻中的曝光、對(duì)紫外線硬化樹脂的照射等的利用化學(xué)性作用的加工。

但是，相較于近紅外光或可見光，紫外激光的光子能量大，因此在使用空間光調(diào)制器將紫外激光進(jìn)行空間上相位調(diào)制時(shí)，會(huì)有影響到空間光調(diào)制器的動(dòng)作的情形。例如，在LCOS(Liquid crystal on silicon)型空間光調(diào)制器的情形，由于紫外激光透過設(shè)置在液晶層或其兩側(cè)的取向膜而使得其等逐漸地劣化，因此要穩(wěn)定地進(jìn)行調(diào)制動(dòng)作變困難。

本發(fā)明鑒于這種問題點(diǎn)而研發(fā)，其目的在于提供波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其能輸出空間上經(jīng)相位調(diào)制的紫外激光，且能減少對(duì)空間光調(diào)制部的影響。

解決課題的手段