[發(fā)明專利]波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380048513.3
• 申請日: 2013-09-03
• 公開（公告）號: CN104641286B
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 齋藤寬;藤本正俊;大石真吾;福滿憲志
• 申請（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會社
• 主分類號: G02F1/37
• 分類號: G02F1/37;G02F1/061;G02F1/13
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦

1.一種波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

具備：

空間光調(diào)制部，具有相位調(diào)制面，其輸入比紫外區(qū)更長的波長區(qū)的激光，且在二維排列的多個區(qū)域的各個對所述激光的相位進行調(diào)制并產(chǎn)生調(diào)制激光；

波長轉(zhuǎn)換部，具有接收從所述空間光調(diào)制部輸出的所述調(diào)制激光的光入射面，并將所述調(diào)制激光的波長轉(zhuǎn)換成紫外區(qū)的波長；以及

像轉(zhuǎn)移光學(xué)系統(tǒng)，將所述空間光調(diào)制部的所述相位調(diào)制面和所述波長轉(zhuǎn)換部的所述光入射面，以彼此光學(xué)上成為共軛系統(tǒng)的方式進行結(jié)合。

2.如權(quán)利要求1所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述空間光調(diào)制部具有：

對應(yīng)施加電場的大小而對所述激光的相位進行調(diào)制的液晶層；

配置于所述液晶層的兩側(cè)的取向膜；及

設(shè)置于所述多個區(qū)域的各個、且將產(chǎn)生所述施加電場的電壓施加于所述液晶層的多個電極。

3.如權(quán)利要求1或2所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述波長轉(zhuǎn)換部包含非線性光學(xué)結(jié)晶。

4.如權(quán)利要求3所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述非線性光學(xué)結(jié)晶通過產(chǎn)生所述調(diào)制激光的高次諧波而將所述調(diào)制激光的波長轉(zhuǎn)換成紫外區(qū)的波長。

5.如權(quán)利要求1所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述波長轉(zhuǎn)換部，在所述光入射面接收所述調(diào)制激光、以及與從所述空間光調(diào)制部輸出的所述調(diào)制激光不同的光束，利用所述調(diào)制激光和所述光束將所述調(diào)制激光的波長轉(zhuǎn)換成紫外區(qū)的波長。

6.如權(quán)利要求5所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述波長轉(zhuǎn)換部包含非線性光學(xué)結(jié)晶，通過產(chǎn)生所述調(diào)制激光和所述光束的和頻或差頻，而將所述調(diào)制激光的波長轉(zhuǎn)換成紫外區(qū)的波長。

7.如權(quán)利要求5或6所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述光束是從輸入至所述空間光調(diào)制部之前的所述激光分波的光。

8.如權(quán)利要求1或2所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述像轉(zhuǎn)移光學(xué)系統(tǒng)包含4f光學(xué)系統(tǒng)。

9.如權(quán)利要求3所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述像轉(zhuǎn)移光學(xué)系統(tǒng)包含4f光學(xué)系統(tǒng)。

10.如權(quán)利要求4所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述像轉(zhuǎn)移光學(xué)系統(tǒng)包含4f光學(xué)系統(tǒng)。

11.如權(quán)利要求5所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述像轉(zhuǎn)移光學(xué)系統(tǒng)包含4f光學(xué)系統(tǒng)。

12.如權(quán)利要求6所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述像轉(zhuǎn)移光學(xué)系統(tǒng)包含4f光學(xué)系統(tǒng)。

13.如權(quán)利要求7所述的波長轉(zhuǎn)換型空間光調(diào)制裝置，其特征在于，

所述像轉(zhuǎn)移光學(xué)系統(tǒng)包含4f光學(xué)系統(tǒng)。