[發明專利]用于工件分離的方法及裝置及借此制造的物品

有效

• 申請號: 201380047456.7
• 申請日: 2013-09-23
• 公開（公告）號: CN104684677B
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 張海濱;單芳;馬修·雷克;張敏;格蘭·西門森;徐倩;詹姆斯·布魯克伊塞;喬瑟夫·法蘭克爾;麥克·達爾文;杰克·羅戴爾;馬修·賽謝爾
• 申請（專利權）人: 伊雷克托科學工業股份有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/04;B23K26/08
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

本發明涉及一種用于自一共同基板分離一工件的方法。該方法包括以下步驟：提供該工件；在一射束源中產生一激光脈沖束，該激光脈沖束組配來修改該工件的一部分；基于該工件的一特征測定用于建立一修改區的一深度；以及修改該工件內的多個區以形成多個修改區。修改多個區包括：將來自該射束源的一輸出的該激光脈沖束導向至該工件上；引起該工件與該射束源的該輸出之間的相對運動，同時將該激光脈沖束導向至工件上；以及在產生大量脈沖之后修改該射束的該脈沖的一特征，其通常相應于建立該修改區至經測定的該深度。

相關申請案的交互參照

本申請案為美國非臨時申請案。本申請案主張2013年8月16日申請的美國臨時申請案第61/866,736號、2013年2月19日申請的美國臨時申請案第61/766,274號、2012年12月10日申請的美國臨時申請案第61/735,489號以及2012年9月21日申請的美國臨時申請案第61/704,038號的權益，該美國臨時申請案的內容以全文引用方式納入本文以達所有目的。

背景技術

本發明的實施例通常關于用于分離諸如玻璃片、晶圓、基板等等的工件的方法。

包括薄玻璃基板的硬光學材料，不論是否經化學強化、熱強化或未經強化，其已在消費性電子產品及其他行業中得到廣泛應用。例如，化學強化玻璃基板及熱強化玻璃基板已用作封蓋基板，其用于并入移動電話、顯示設備(諸如電視及計算機監視器)以及多種其他電子設備中的LCD與LED顯示器以及觸控應用。為降低與制造此類消費性電子設備相關聯的成本，將大型基板或共同基板自硬光學材料制造商運送至材料使用者，且隨后該使用者使用諸如機械劃痕輪或激光的設備自共同基板單一化個別基板。

然而，當共同玻璃基板由化學強化或熱強化玻璃形成時，自共同玻璃基板單一化個別玻璃基板可為尤其困難的。例如，壓縮應力與儲存于中央張力區內的彈性能的量級可使得難以對化學強化或熱強化玻璃進行切割及精整。高表面壓縮層及深壓縮層使得難以如傳統劃線及彎曲過程中一樣來對玻璃基板機械地劃線。此外，若中央張力區中儲存的彈性能足夠高，則當表面壓縮層遭穿透時，玻璃可以爆裂方式破裂。在其他情況下，彈性能的釋放可導致該破裂偏離分離路徑。類似地，對適于用作電子顯示器的封蓋材料的其他硬光學材料分離或單一化亦存在困難，該材料諸如剛玉、陶瓷、半導體、金屬或金屬合金以及玻璃陶瓷。因此，存在對用于分離包括硬光學材料的強化玻璃基板的可靠方法的需要。

附圖說明

圖1A為例示根據本文示范性描述的一或多個實施例的工件的平面圖，該工件可沿分離路徑的一實施例分離；

圖1B為例示可沿分離路徑分離的工件的一實施例的橫截面視圖，該橫截面視圖沿圖1A中所示的線IB-IB截取；

圖2為多個修改區已沿分離路徑形成之后的圖1B中所示的工件的橫截面視圖；

圖3A、圖4A及圖5A為例示脈沖計時的脈沖計時圖表，激光脈沖可以該脈沖計時受導向來碰撞于工件上，以便形成圖2中所示的修改區；

圖3B、圖4B及圖5B為示意性地例示修改區形成的各種階段的放大橫截面視圖，該形成由于激光脈沖根據圖3A、圖4A及圖5A中分別所示的脈沖計時碰撞于工件上而產生；

圖6為例示根據本文示范性描述的一或多個實施例的分離路徑的另一實施例的平面圖，工件可沿該分離路徑分離；

圖7示意性地例示根據一實施例的包括射束源的工件處理裝置，該射束源可操作來形成修改區，諸如相對于圖2示范性描述的彼等區域；

圖8至圖11示意性地例示可并入圖7中所示的工件處理裝置中的射束源的其他實施例；

圖12為描述用工件處理裝置來處理工件的方法的一實施例的流程圖；

圖13A為示意性地例示工件載體的一實施例的平面圖，該工件載體供相對于圖12示范性描述的方法使用；