[發明專利]用于工件分離的方法及裝置及借此制造的物品

有效

• 申請號: 201380047456.7
• 申請日: 2013-09-23
• 公開（公告）號: CN104684677B
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 張海濱;單芳;馬修·雷克;張敏;格蘭·西門森;徐倩;詹姆斯·布魯克伊塞;喬瑟夫·法蘭克爾;麥克·達爾文;杰克·羅戴爾;馬修·賽謝爾
• 申請（專利權）人: 伊雷克托科學工業股份有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/04;B23K26/08
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種方法，該方法包括：

提供一工件，其具有一第一表面、與該第一表面相對的一第二表面以及該第一表面與該第二表面之間的一內部；

產生一聚焦的激光脈沖射束，該聚焦的激光脈沖射束是以束腰為特征，其中該束腰在該射束內的激光脈沖能達到一第一通量之處；以及

該工件內形成多個修改區，各修改區的形成是自該工件的該第二表面開始且自該工件的該第二表面延伸至該內部中，其中形成該多個修改區中的各修改區包括：

將該激光脈沖射束導引至該工件上，以使得該射束內的激光脈沖穿過該工件的該第一表面進入該內部中并朝向該第二表面，在引起該工件與該激光脈沖射束之間的相對運動的同時，修改該工件的多個部分，以使得該工件的該多個部分中的至少一個部分是在該工件的該第二表面處，且使得該工件的至少一修改部分是利用以小于該第一通量但足以修改該工件的額外部分的通量為特征的一激光脈沖照射；以及

在以一激光脈沖照射該工件的該至少一修改部分之后，修改該激光脈沖射束的特征，使得該工件的至少一修改部分不是利用以足以修改該工件的一部分的通量為特征的一激光脈沖照射。

2.如權利要求1的方法，其進一步包括基于該激光束的特征測定修改區應延伸到該工件的該內部中的一深度。

3.如權利要求1的方法，其中該射束的該特征包括脈沖重復率。

4.如權利要求1的方法，其中該射束的該特征包括脈沖強度。

5.如權利要求1的方法，其中該射束的該特征包括脈沖通量。

6.如權利要求1的方法，其中該射束的該特征包括空間脈沖斑點形狀。

7.如權利要求1的方法，其中該射束的該特征包括脈沖斑點大小。

8.如權利要求1的方法，其中該射束的該特征包括沿著該激光脈沖碰撞到該工件的該第一表面處的一光軸的方位。

9.如權利要求1的方法，其中該射束的該特征包括脈沖持續時間。

10.如權利要求1的方法，其中該射束的該特征包括瞬態脈沖形狀。

11.如權利要求1的方法，其中該射束的該特征包括脈沖波長。

12.如權利要求1的方法，其中該射束內的至少一個激光脈沖以具有一非圓形形狀的一斑點碰撞該第一表面。

13.如權利要求1的方法，其中該工件包括一強化玻璃工件。

14.如權利要求1的方法，其中該射束內的至少一個激光脈沖包括具有在可見光譜中的綠色范圍中的一波長的光。

15.如權利要求1的方法，其中該激光脈沖射束具有大于10％的一工作周期。

16.如權利要求15的方法，其中該激光脈沖射束具有小于50％的一工作周期。

17.如權利要求1的方法，其中該修改區中的至少一者自該工件的該第二表面延伸至該工件中達到一高度，該高度大于該工件厚度的30％。

18.如權利要求17的方法，其中該修改區中的至少一者自該工件的該第二表面延伸至該工件中達到一高度，該高度小于該工件厚度的60％。

19.如權利要求1的方法，其中該激光脈沖中的至少一者具有大于18ns的一脈沖持續時間。

20.如權利要求1的方法，其中該激光脈沖中的至少一者具有小于20ns的一脈沖持續時間。