[發(fā)明專利]加工對(duì)象物切割方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380044327.2
• 申請(qǐng)日: 2013-08-01
• 公開（公告）號(hào): CN104584195A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山田丈史
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/301
• 分類號(hào): H01L21/301;B23K26/00;B23K26/04;B23K26/38;B23K26/40
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于將具備單晶藍(lán)寶石基板的加工對(duì)象物切割成各發(fā)光元件部從而制造多個(gè)發(fā)光元件的加工對(duì)象物切割方法。

背景技術(shù)

作為上述技術(shù)領(lǐng)域中的現(xiàn)有的加工對(duì)象物切割方法，在專利文獻(xiàn)1中記載了一種方法，其中，通過切割(dicing)和劃刻(scribing)在藍(lán)寶石基板的表面及背面形成分離溝，并且通過激光的照射在藍(lán)寶石基板內(nèi)多級(jí)地形成加工變質(zhì)部，沿著分離溝及加工變質(zhì)部將藍(lán)寶石基板切割。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本特開2006-245043號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

[本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題]

但是，為了將具備包括與c面形成偏角(off?angle)的角度的表面及背面的單晶藍(lán)寶石基板的加工對(duì)象物切割成各發(fā)光元件部，通過激光的照射在單晶藍(lán)寶石基板內(nèi)形成改質(zhì)區(qū)域的話，從沿著與單晶藍(lán)寶石基板的a面及背面平行的多條切割預(yù)定線的各條所形成的改質(zhì)區(qū)域所產(chǎn)生的龜裂的蛇行量(在單晶藍(lán)寶石基板的表面或是背面蛇行的龜裂的擺動(dòng)寬度)會(huì)產(chǎn)生偏差，由此，會(huì)有被制造的發(fā)光元件的質(zhì)量下降的情況。

于是，本發(fā)明的目的是提供一種可以抑制從沿著與單晶藍(lán)寶石基板的a面及背面平行的多條切割預(yù)定線的各條所形成的改質(zhì)區(qū)域所產(chǎn)生的龜裂的蛇行量的偏差的加工對(duì)象物切割方法。

[用以解決技術(shù)問題的手段]

本發(fā)明人為了達(dá)成上述目的而反復(fù)專心研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，從沿著與單晶藍(lán)寶石基板的a面及背面平行的多條切割預(yù)定線的各條所形成的改質(zhì)區(qū)域所產(chǎn)生的龜裂的蛇行量偏差的產(chǎn)生，其起因是沿著該切割預(yù)定線使激光的聚光點(diǎn)相對(duì)地移動(dòng)的方向與單晶藍(lán)寶石基板的r面傾斜的方向的關(guān)系。即，在：使激光的聚光點(diǎn)從單晶藍(lán)寶石基板的r面和背面所形成的角度成為銳角的一側(cè)朝其相反側(cè)相對(duì)地移動(dòng)的情況、與使激光的聚光點(diǎn)從單晶藍(lán)寶石基板的r面和背面所形成的角度成為鈍角的一側(cè)朝其相反側(cè)相對(duì)地移動(dòng)的情況下，改質(zhì)區(qū)域的形成狀態(tài)會(huì)變化，其結(jié)果，從改質(zhì)區(qū)域產(chǎn)生的龜裂的蛇行量會(huì)變化。本發(fā)明人基于此見解進(jìn)一步反復(fù)研究，而完成本發(fā)明。

即，本發(fā)明的一個(gè)方面的加工對(duì)象物切割方法是用于將具備單晶藍(lán)寶石基板和元件層的加工對(duì)象物切割成各發(fā)光元件部而制造多個(gè)發(fā)光元件的加工對(duì)象物切割方法，其中，單晶藍(lán)寶石基板具有與c面形成偏角的角度的表面及背面，元件層包括在表面上呈矩陣狀被排列的多個(gè)發(fā)光元件部，切割方法具備：第1工序，將背面作為單晶藍(lán)寶石基板中的激光的入射面，將激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)離開背面僅第1距離的單晶藍(lán)寶石基板內(nèi)的位置，沿著被設(shè)定成與單晶藍(lán)寶石基板的a面及背面成為平行的多條第1切割預(yù)定線的各條，使聚光點(diǎn)從一側(cè)朝另一側(cè)相對(duì)地移動(dòng)，從而沿著第1切割預(yù)定線的各條在單晶藍(lán)寶石基板內(nèi)形成第1改質(zhì)區(qū)域；及第2工序，在第1工序之后，通過沿著第1切割預(yù)定線的各條使外力作用于加工對(duì)象物，從而使從第1改質(zhì)區(qū)域產(chǎn)生的第1龜裂伸展，沿著第1切割預(yù)定線的各條切割加工對(duì)象物。

在此加工對(duì)象物切割方法中，在被設(shè)定成與單晶藍(lán)寶石基板的a面及背面成為平行的多條第1切割預(yù)定在線的各條處，使激光的聚光點(diǎn)從一側(cè)朝另一側(cè)相對(duì)地移動(dòng)。由此，可以抑制從沿著各第1切割預(yù)定線形成的第1改質(zhì)區(qū)域所產(chǎn)生的第1龜裂的蛇行量變化。因此，依據(jù)此加工對(duì)象物切割方法，可抑制從沿著與單晶藍(lán)寶石基板的a面及背面平行的多條切割預(yù)定線的各條所形成的改質(zhì)區(qū)域所產(chǎn)生的龜裂的蛇行量的偏差。又，偏角包含0°的情況。此情況下，單晶藍(lán)寶石基板的表面及背面與c面平行。

在此，也可以在第1工序中，將單晶藍(lán)寶石基板的r面和背面所形成的角度成為銳角的一側(cè)作為一側(cè)，且將r面和背面所形成的角度成為鈍角的一側(cè)作為另一側(cè)，使聚光點(diǎn)沿著各第1切割預(yù)定線從一側(cè)朝另一側(cè)相對(duì)地移動(dòng)，從而沿著各第1切割預(yù)定線在單晶藍(lán)寶石基板內(nèi)形成第1改質(zhì)區(qū)域，并且使第1龜裂到達(dá)背面。由此，與使激光的聚光點(diǎn)從單晶藍(lán)寶石基板的r面和背面所形成的角度成為鈍角的一側(cè)朝該角度成為銳角的一側(cè)相對(duì)地移動(dòng)的情況相比，可以將從第1改質(zhì)區(qū)域到達(dá)單晶藍(lán)寶石基板的背面的第1龜裂的蛇行量抑制得較小。

此時(shí)，也可以在第2工序中，通過沿著各第1切割預(yù)定線從表面?zhèn)认蚣庸?duì)象物抵接刀緣，從而沿著各第1切割預(yù)定線使外力作用于加工對(duì)象物。由此，因?yàn)橥饬κ且允沟竭_(dá)單晶藍(lán)寶石基板的背面的第1龜裂打開的方式作用于加工對(duì)象物，所以可以沿著第1切割預(yù)定線容易地且精度良好地切割加工對(duì)象物。