[發(fā)明專利]用于對(duì)壓板進(jìn)行等離子體涂覆的裝置的應(yīng)用及相應(yīng)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380042267.0
• 申請(qǐng)日: 2013-08-06
• 公開（公告）號(hào): CN104755653B
• 公開（公告）日: 2017-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A·格貝舒伯;D·黑姆;J·萊默;T·米勒;M·普羅舍克;O·施塔德勒;H·施托里
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 貝恩多夫許克鏈帶與壓板技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/50
• 分類號(hào): C23C16/50;B30B15/06;C23C16/52;H01J37/32
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所11038
• 代理人: 張立國(guó)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于對(duì)基板、特別是壓板進(jìn)行等離子體涂覆的裝置，所述裝置包括真空腔和設(shè)置在其中的電極，所述電極在運(yùn)行中基本上與所述基板平行并且與所述基板的要涂覆的側(cè)面相對(duì)地定位。此外，提出了一種用于制造基板、特別是壓板的方法。最后，本發(fā)明還涉及用于制造單層或多層板狀材料的方法，所述板狀材料特別是由具有和不具有覆蓋紙的塑料、木料和層壓材料制成。

背景技術(shù)

原則上已知所述類型的裝置和方法。例如，EP 1 417 090 B1對(duì)此公開了一種用于加工和制造具有可再現(xiàn)的(reproduzierbar)光澤度的材料表面的方法以及一種用于應(yīng)用該方法的擠壓工具。為了提高所述擠壓工具的穩(wěn)定性，給擠壓工具配設(shè)涂層，該涂層由具有類金鋼石層的碳制成。由此，在對(duì)高耐磨材料進(jìn)行加工時(shí)(例如在制造表面層中具有剛玉顆粒(Korundpartikel)的地板的過程中)顯著減少了所述擠壓工具表面的磨損。

所述類金剛石層也被已知為“類金剛石碳”(DLC)的概念。其特征在于高硬度和高耐磨性并且例如可以借助等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(英文為：plasma enhanced chemical vapor deposition-PECVD)產(chǎn)生。這里，在要涂覆的工件的上方點(diǎn)燃等離子體，所述等離子體中經(jīng)電離的成分到達(dá)所述要涂覆的工件上。

由于開頭所述材料(如地板、刨花板、纖維板等)的規(guī)格總是有著越來越大的趨勢(shì)，所以也就需要相應(yīng)大小的壓板來制造所述材料。這里的問題在于，涂覆到所述壓板上的層僅非常困難地能在窄的公差范圍內(nèi)進(jìn)行制造，并且由此也是有限制地可再現(xiàn)的。對(duì)此的原因在于不均勻的或者說難以施加影響的工藝條件。例如，等離子體中的離子濃度在所述壓板上是不同的并且難以控制的，由此即使在電極上的場(chǎng)強(qiáng)和電流強(qiáng)度都恒定的情況下也由所述等離子體產(chǎn)生不同的沉積速度。但實(shí)際上，總歸無法實(shí)現(xiàn)恒定的或者說是在窄的公差帶中延伸的場(chǎng)分布和電流分布，從而由此在要涂覆層的沉積速度方面也造成不希望的差異。

不幸的是，上述波動(dòng)還會(huì)對(duì)此導(dǎo)致工藝中的不穩(wěn)定，以及導(dǎo)致振蕩現(xiàn)象。例如，等離子體中離子濃度局部增大由于電導(dǎo)率增大而導(dǎo)致電流強(qiáng)度局部增大，該局部增大的電流強(qiáng)度不僅可能引起要涂覆層的沉積速度提高，而且在極端情況下還可能引起電弧。這里，由于高電流，所述壓板的表面在任何情況下都會(huì)受到強(qiáng)烈毀壞，以至于必須將其丟棄。這導(dǎo)致高的經(jīng)濟(jì)損失，因?yàn)椴粌H所述壓板的基礎(chǔ)材料而且加工本身(例如表面結(jié)構(gòu)的光刻產(chǎn)生或是用于光刻蝕的表面結(jié)構(gòu)或者說光刻掩模的借助噴墨印刷工藝、絲網(wǎng)印刷法、平板印刷法或輥筒印刷法的產(chǎn)生)都非常昂貴。壓板越大，則對(duì)于出現(xiàn)上述錯(cuò)誤之一的幾率也就越大。

發(fā)明內(nèi)容

因此本發(fā)明的任務(wù)在于，提出用于對(duì)基板、特別是壓板進(jìn)行等離子體涂覆的經(jīng)改進(jìn)的裝置和經(jīng)改進(jìn)的方法。特別是應(yīng)該實(shí)現(xiàn)下述可能性，即在窄的公差范圍內(nèi)涂覆基板上的層，以及避免等離子體中的電弧或者減弱其影響。本發(fā)明的另一任務(wù)在于，提出一種經(jīng)改進(jìn)的用于制造單層或多層板狀材料的方法。特別是應(yīng)便利于或者能實(shí)現(xiàn)大尺寸板的制造。

所述任務(wù)通過開頭所述類型的裝置來解決，在該裝置中對(duì)電極進(jìn)行分割并且電極區(qū)段中的每一個(gè)電極區(qū)段具有一個(gè)自己的用于電能量源的連接端。

此外，所述任務(wù)通過用于制造基板、特別是壓板的方法來解決，其包括以下步驟：

a)將要涂覆的基板與設(shè)置在真空腔中的經(jīng)分割的電極相對(duì)地并且基本上與所述電極平行定位地設(shè)置在真空腔中；

b)激活至少一個(gè)配設(shè)給電極區(qū)段的能量源；以及

c)引入氣體，該氣體在所述基板(例如壓板坯)上引起等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積。

最后，所述任務(wù)通過一種用于制造單層或多層板狀材料的方法來解決，所述材料特別是由具有和不具有覆蓋紙的塑料、木料和層壓材料制成，其中使用借助所述方法制造的基板或壓板。

在本發(fā)明的范圍中通過如下方式定義電極區(qū)段，即，該區(qū)段與其余區(qū)段相比可以采用明顯不同的電位，而將不會(huì)有值得注意的補(bǔ)償電流流動(dòng)。換句話說，在各個(gè)區(qū)段之間存在高絕緣電阻。在本發(fā)明的意義上，所述分割應(yīng)在電的方面來看，而不是一定要在結(jié)構(gòu)方面來看。“連接端”這一概念應(yīng)寬泛地加以理解，原則上可以將其理解為所有結(jié)構(gòu)類型的電連接的可能性。