[發(fā)明專利]用于對壓板進(jìn)行等離子體涂覆的裝置的應(yīng)用及相應(yīng)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380042267.0
• 申請日: 2013-08-06
• 公開（公告）號: CN104755653B
• 公開（公告）日: 2017-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: A·格貝舒伯;D·黑姆;J·萊默;T·米勒;M·普羅舍克;O·施塔德勒;H·施托里
• 申請（專利權(quán)）人: 貝恩多夫許克鏈帶與壓板技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;B30B15/06;C23C16/52;H01J37/32
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所11038
• 代理人: 張立國

1.用于對壓板(2)進(jìn)行等離子體涂覆的裝置(100..103)的應(yīng)用，所述裝置包括真空腔(3)以及設(shè)置在其中的電極(400..409)，所述電極在運(yùn)行中基本上與所述壓板(2)平行并且與所述壓板的要涂覆的側(cè)面相對地定位，其中，對電極(400..409)進(jìn)行分割并且電極區(qū)段(500..512)中的每一個電極區(qū)段具有一個自己的用于電能量源(700..702)的連接端(6)，所述電極區(qū)段(500..512)的大小選擇為，使得該電極區(qū)段(500..512)內(nèi)的電能不再足以引起電弧，并且其中，電極(400..409)具有缺口(10)或者格柵狀地構(gòu)成，并且通過所述缺口(10)或者通過格柵可引導(dǎo)工藝氣體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用，其特征在于：所述裝置(100..103)的各個電極區(qū)段(501、504、505)彼此絕緣。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用，其特征在于：所述裝置(100..103)的各個電極區(qū)段(502、503)相互間通過狹長的板條(9)或者經(jīng)定義的歐姆電阻連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用，其特征在于：所述裝置(100..103)的各個電極區(qū)段(510)通過狹長的板條或者經(jīng)定義的歐姆電阻與至少一個能量源(700)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用，其特征在于：所述裝置(100..103)包括多個能彼此無關(guān)地控制/調(diào)節(jié)的能量源(701、702)，所述能量源經(jīng)由所述連接端(6)與電極區(qū)段(500..512)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的應(yīng)用，其特征在于：所述裝置(100..103)的每一個電極區(qū)段(510)都與各一個能量源(701..706)連接，所述能量源能與其余能量源(701..706)無關(guān)地控制/調(diào)節(jié)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的應(yīng)用，其特征在于：所述裝置(100..103)包括控制器件(1101)，所述控制器件設(shè)置為用于將能量源(701、702)交替地接通到一組(1301、1302)電極區(qū)段(508)中的各一個電極區(qū)段(508)上，而所述組(1301、1302)的其余電極區(qū)段(508)的各連接端(6)切換到與前述的電極區(qū)段(508)相絕緣的打開狀態(tài)中。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的應(yīng)用，其特征在于：所述裝置(100..103)的一個電極區(qū)段(500..512)的面積小于等于1㎡。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的應(yīng)用，其特征在于：所述裝置(100..103)的所述能量源(701..706)構(gòu)成為電流源。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的應(yīng)用，其特征在于：每個電極區(qū)段(500..512)的最大電流強(qiáng)度小于等于150A。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的應(yīng)用，其特征在于：所述裝置(100..103)的所述電極區(qū)段(503)格柵狀地構(gòu)成。

12.根據(jù)上述權(quán)利要求1至7中任一項所述的應(yīng)用，其特征在于：所述裝置(100..103)的電極(405)在其邊緣區(qū)域中朝著要涂覆的壓板(2)彎曲。

13.用于對壓板(2)進(jìn)行等離子體涂覆的方法，其特征在于以下步驟：

a)將要涂覆的壓板(2)與設(shè)置在真空腔(3)中的經(jīng)分割的電極(400..409)相對地并且基本上與所述電極平行定位地設(shè)置在真空腔(3)中，所述電極區(qū)段(500..512)的大小選擇為，使得該電極區(qū)段(500..512)內(nèi)的電能不再足以引起電弧；

b)激活至少一個配設(shè)給電極(400..409)的電極區(qū)段(500..512)的能量源(700..706)；以及

c)通過在電極(400..409)中的缺口(10)或者通過格柵狀的電極(400..409)引入氣體，其中，所述氣體在壓板坯(2)上引起等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于：為每個電極區(qū)段(500..512)激活各一個能量源(701..706)并且所述能量源與其余能量源(701..706)無關(guān)地控制/調(diào)節(jié)。