[發(fā)明專利]自動化EDS標準校準

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380040282.1
• 申請日: 2013-07-29
• 公開（公告）號: CN104487829B
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設計）人: M.J.歐文
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N23/225
• 分類號: G01N23/225
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 王洪斌,陳嵐

1.一種實施能量色散x射線光譜學的方法，包括：

通過以下各項來使用源儀表創(chuàng)建庫光譜：

使用源儀表的電子源和聚焦光學件朝著一個或多個元素標準指引電子束；

使用源儀表的x射線檢測器獲得一個或多個元素標準的能量色散x射線光譜；

根據(jù)一個或多個元素標準的光譜來創(chuàng)建光譜庫；

通過以下各項來使用現(xiàn)場儀表創(chuàng)建具有比庫光譜低的分辨率的校準光譜：

使用現(xiàn)場儀表的電子源和聚焦光學件朝著元素標準樣本指引電子束；

使用現(xiàn)場儀表的x射線檢測器獲得元素標準樣本的能量色散x射線光譜；

將元素標準樣本的光譜與光譜庫的元素標準相比較；

基于元素標準樣本的光譜與光譜庫的元素標準的比較來確定變換；

將該變換應用于光譜庫以生成已校準光譜庫；

通過以下各項來使用現(xiàn)場儀表確定未知礦物組成的樣本中的元素：

使用現(xiàn)場儀表的電子源和聚焦光學件朝著未知礦物樣本指引電子束；

使用現(xiàn)場儀表的x射線檢測器獲得未知礦物樣本的能量色散x射線光譜；以及

將未知礦物樣本的所獲得的光譜與已校準光譜庫相比較。

2.權利要求1的方法，其中，確定所述變換包括確定用于平滑化函數(shù)的系數(shù)。

3.權利要求1或權利要求2的方法，其中，應用所述變換包括應用平滑化函數(shù)。

4.權利要求3的方法，其中，應用平滑化函數(shù)包括應用高斯平滑化函數(shù)。

5.前述權利要求中的任一項的方法，還包括將庫光譜存儲在數(shù)據(jù)庫中。

6.前述權利要求中的任一項的方法，其中，將所述變換應用于光譜庫包括將高斯模糊應用于光譜庫。

7.前述權利要求中的任一項的方法，還包括基于未知礦物樣本的生成光譜與已校準樣本庫的比較通過元素分解來確定未知樣本的元素組成。

8.前述權利要求中的任一項的方法，其中，獲得元素標準的光譜包括在高分辨率儀表中獲得元素標準的光譜，其中至少一百萬x射線計數(shù)被檢測。

9.前述權利要求中的任一項的方法，其中，掃描元素標準樣本包括用與用于獲得元素標準的光譜的高分辨率儀表相比較低分辨率的儀表來掃描元素標準樣本。

10.前述權利要求中的任一項的方法，其中，在不同的礦物分析儀表上執(zhí)行獲得元素標準的光譜并掃描元素標準樣本。

11.前述權利要求中的任一項的方法，其中，獲得元素標準的光譜包括在礦物分析中獲得全部72個元素的光譜。

12.前述權利要求中的任一項的方法，其中，掃描元素標準包括掃描銅。

13.前述權利要求中的任一項的方法，其中，掃描元素標準包括掃描樣本保持器。

14.前述權利要求中的任一項的方法，還包括識別未知礦物樣本。

15.一種對用于礦物分析的儀表進行校準的方法，包括：

使用儀表的電子束掃描元素標準樣本；

使用儀表的x射線檢測器獲得元素標準樣本的能量色散x射線光譜；

將元素標準樣本的所獲得的光譜與元素標準光譜的庫的庫值相比較，其中所述庫值具有比元素標準樣本的所獲得的光譜高的分辨率；

根據(jù)元素標準樣本的所獲得的光譜與庫值的比較來生成校準系數(shù)；以及

將校準系數(shù)應用于元素標準光譜的庫以生成元素標準光譜的已校準庫。

16.權利要求15的方法，其中，將校準系數(shù)應用于元素標準光譜庫包括將高斯模糊應用于元素標準光譜。

17.權利要求15或權利要求16的方法，其中，在與正在校準的儀表不同的儀表上獲得元素標準光譜庫。

18.權利要求15-17中的任一項的方法，其中，元素標準光譜庫包括來自用于礦物分析的72個礦物的光譜。

19.權利要求15-18中的任一項的方法，還包括：

將未知礦物樣本加載到儀表中；

生成未知樣本光譜；

將生成的未知樣本光譜與元素標準光譜的已校準庫相比較；以及

確定未知樣本的元素組成。

20.一種用于確定未知樣本的組成的系統(tǒng)，包括：

電子源，用于形成電子束；

聚焦光學件，用于使電子束聚焦到樣本上；

x射線檢測器，用于檢測在電子束撞擊時從樣本發(fā)射的x射線；

計算機可讀存儲器，其存儲：

對應于多個元素的庫x射線光譜；

計算機指令，用于：

將從已知元素獲取的光譜與已知元素的庫光譜相比較，其中已知元素的庫x射線光譜具有比從已知元素獲取的光譜高的分辨率；

確定從已知元素獲取的光譜與已知元素的庫光譜之間的變換；

將該變換應用于庫x射線光譜中的所有光譜以確定校準光譜；

將未知組成的材料的光譜與校準光譜相比較以確定未知材料的組成。