[發(fā)明專利]缺陷分類裝置、缺陷分類方法、控制程序和記錄介質(zhì)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380039119.3
• 申請(qǐng)日: 2015-08-04
• 公開（公告）號(hào): CN104508469A
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山田榮二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 夏普株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01N21/956
• 分類號(hào): G01N21/956;G02F1/13;H01L21/66
• 代理公司: 北京市隆安律師事務(wù)所 11323
• 代理人: 權(quán)鮮枝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及通過對(duì)拍攝檢查對(duì)象物得到的圖像進(jìn)行解析的該檢查對(duì)象物的缺陷檢測(cè)，具體涉及檢測(cè)出的缺陷的分類。

背景技術(shù)

在工業(yè)產(chǎn)品的制造工序中，進(jìn)行缺陷的檢查對(duì)于確保產(chǎn)品的質(zhì)量很重要，一般都要進(jìn)行。另外，使用檢查裝置的自動(dòng)檢查也變得實(shí)用化。

例如，下述的專利文獻(xiàn)1記載了如下技術(shù)，使用作為檢查對(duì)象物的平板顯示器的圖像的輸入圖像來檢測(cè)在該平板顯示器中產(chǎn)生的缺陷，另外將檢測(cè)出的缺陷按每個(gè)類型分類。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本國公開專利公報(bào)“特開2012-32369號(hào)公報(bào)(2012年2月16日公開)”

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

在此，已知在如形成有配線的基板那樣在表面形成有薄膜的產(chǎn)品中，會(huì)由于異物進(jìn)入了膜內(nèi)而產(chǎn)生缺陷(以下稱為膜內(nèi)異物)。另外，作為與膜內(nèi)異物在外觀上類似的缺陷，也已知會(huì)由于在膜上附著有異物而產(chǎn)生缺陷(以下稱為膜上異物)。這種缺陷在使用CVD(Chemical?Vapor?Deposition：化學(xué)氣相沉積)裝置制造的產(chǎn)品中特別容易發(fā)生。

膜內(nèi)異物是產(chǎn)品不合格的原因，因此需要利用修復(fù)裝置除去。另一方面，膜上異物可通過清洗除去，因此不會(huì)成為不合格的原因。這樣，膜內(nèi)異物和膜上異物所需的處理方法不同，因此希望能識(shí)別這些缺陷。

然而，在如上所述的現(xiàn)有技術(shù)中，有難以識(shí)別外觀上類似的膜內(nèi)異物和膜上異物或者識(shí)別精度低的問題。

本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供能對(duì)膜內(nèi)異物和膜上異物進(jìn)行識(shí)別分類的缺陷分類裝置等。

用于解決問題的方案

為了解決上述問題，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的缺陷分析裝置是對(duì)拍攝在表面形成有薄膜的檢查對(duì)象物而得到的檢查圖像中檢測(cè)出的缺陷區(qū)域的缺陷進(jìn)行分類的缺陷分類裝置，其特征在于，具備：特征量算出單元，其算出表示作為上述缺陷區(qū)域的一部分的沿著該缺陷區(qū)域的外周的環(huán)狀的區(qū)域即外周區(qū)域中包含的像素的顏色和作為上述缺陷區(qū)域外的區(qū)域的與上述外周區(qū)域相鄰的非缺陷區(qū)域的像素的顏色之間的差異的大小的特征量；以及缺陷分類單元，其基于上述特征量算出單元所算出的上述特征量，將上述缺陷區(qū)域的缺陷分類為相對(duì)于上述薄膜在上述檢查對(duì)象物的內(nèi)部側(cè)存在異物的膜內(nèi)異物缺陷，或者分類為相對(duì)于上述薄膜在上述檢查對(duì)象物的外部側(cè)存在異物的膜上異物缺陷。

另外，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的缺陷分析方法是對(duì)拍攝在表面形成有薄膜的檢查對(duì)象物而得到的檢查圖像中檢測(cè)出的缺陷區(qū)域的缺陷進(jìn)行分類的缺陷分類裝置所涉及的缺陷分析方法，其特征在于，具備：特征量算出步驟，算出表示作為上述缺陷區(qū)域的一部分的沿著該缺陷區(qū)域的外周的環(huán)狀的區(qū)域即外周區(qū)域中包含的像素的顏色和作為上述缺陷區(qū)域外的區(qū)域的與上述外周區(qū)域相鄰的非缺陷區(qū)域的像素的顏色之間的差異的大小的特征量；以及缺陷分類步驟，基于在上述特征量算出步驟中算出的上述特征量，將上述缺陷區(qū)域的缺陷分類為相對(duì)于上述薄膜在上述檢查對(duì)象物的內(nèi)部側(cè)存在異物的膜內(nèi)異物缺陷，或者分類為相對(duì)于上述薄膜在上述檢查對(duì)象物的外部側(cè)存在異物的膜上異物缺陷。

并且，本發(fā)明的其它實(shí)施方式的缺陷分析裝置是對(duì)拍攝在表面形成有薄膜的檢查對(duì)象物而得到的檢查圖像中檢測(cè)出的缺陷區(qū)域的缺陷進(jìn)行分類的缺陷分析裝置，其特征在于，具備：特征量算出單元，其算出表示作為上述缺陷區(qū)域的一部分的沿著該缺陷區(qū)域的外周的環(huán)狀的區(qū)域即外周區(qū)域中包含的像素的顏色與上述缺陷區(qū)域內(nèi)的上述外周區(qū)域以外的區(qū)域即內(nèi)部區(qū)域的像素的顏色之間的差異的特征量；以及缺陷分類單元，其基于上述特征量算出單元所算出的上述特征量，將上述缺陷區(qū)域的缺陷分類為相對(duì)于上述薄膜在上述檢查對(duì)象物的內(nèi)部側(cè)存在異物的膜內(nèi)異物缺陷，或者分類為相對(duì)于上述薄膜在上述檢查對(duì)象物的外部側(cè)存在異物的膜上異物缺陷。