[發明專利]缺陷分類裝置、缺陷分類方法、控制程序和記錄介質

無效

• 申請號: 201380039119.3
• 申請日: 2015-08-04
• 公開（公告）號: CN104508469A
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發明（設計）人: 山田榮二
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G02F1/13;H01L21/66
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝

1.一種缺陷分類裝置，是對拍攝在表面形成有薄膜的檢查對象物而得到的檢查圖像中檢測出的缺陷區域的缺陷進行分類的缺陷分類裝置，其特征在于，具備：

特征量算出單元，其算出表示作為上述缺陷區域的一部分的沿著該缺陷區域的外周的環狀的區域即外周區域中包含的像素的顏色和作為上述缺陷區域外的區域的與上述外周區域相鄰的非缺陷區域的像素的顏色之間的差異的大小的特征量；以及

缺陷分類單元，其基于上述特征量算出單元所算出的上述特征量，將上述缺陷區域的缺陷分類為相對于上述薄膜在上述檢查對象物的內部側存在異物的膜內異物缺陷，或者分類為相對于上述薄膜在上述檢查對象物的外部側存在異物的膜上異物缺陷。

2.根據權利要求1所述的缺陷分類裝置，其特征在于，

具備區域設定單元，上述區域設定單元基于上述缺陷區域中包含的各像素的亮度值來設定上述外周區域。

3.根據權利要求1或者2所述的缺陷分類裝置，其特征在于，

上述特征量算出單元算出對上述外周區域中包含的像素的色相的代表值與上述非缺陷區域中包含的像素的色相的代表值的差乘以上述外周區域中包含的像素的彩度的代表值而得到的值作為上述特征量。

4.根據權利要求1至3中的任一項所述的缺陷分類裝置，其特征在于，

具備區域寬度算出單元，上述區域寬度算出單元算出上述外周區域的環的寬度，

上述缺陷分類單元在上述特征量算出單元所算出的上述特征量大于等于基于顏色的缺陷分類用的預先決定的閾值且上述區域寬度算出單元所算出的寬度大于等于基于區域寬度的缺陷分類用的預先決定的閾值的情況下，將上述缺陷區域的缺陷分類為膜內異物缺陷。

5.根據權利要求1至4中的任一項所述的缺陷分類裝置，其特征在于，

具備第1差算出單元，上述第1差算出單元算出上述外周區域中包含的像素的亮度值的代表值與作為上述缺陷區域內的上述外周區域以外的區域的內部區域中包含的像素的亮度值的代表值的差，

上述缺陷分類單元在上述特征量算出單元所算出的上述特征量大于等于基于顏色的缺陷分類用的預先決定的閾值并且上述第1差算出單元所算出的亮度值的差大于等于基于上述外周區域與內部區域的亮度差的缺陷分類用的預先決定的閾值的情況下，將上述缺陷區域的缺陷分類為膜內異物缺陷。

6.根據權利要求1至5中的任一項所述的缺陷分類裝置，其特征在于，

具備第2差算出單元，上述第2差算出單元算出上述外周區域中包含的像素的亮度值的代表值與上述非缺陷區域中包含的像素的亮度值的代表值的差，

上述缺陷分類單元在上述特征量算出單元所算出的上述特征量大于等于基于顏色的缺陷分類用的預先決定的閾值并且上述第2差算出單元所算出的亮度值的差小于基于上述外周區域與非缺陷區域的亮度差的缺陷分類用的預先決定的閾值的情況下，將上述缺陷區域的缺陷分類為膜內異物缺陷。

7.一種缺陷分類裝置，是對拍攝在表面形成有薄膜的檢查對象物而得到的檢查圖像中檢測出的缺陷區域的缺陷進行分類的缺陷分類裝置，其特征在于，具備：

特征量算出單元，其算出表示作為上述缺陷區域的一部分的沿著該缺陷區域的外周的環狀的區域即外周區域中包含的像素的顏色與上述缺陷區域內的上述外周區域以外的區域即內部區域的像素的顏色之間的差異的特征量；以及

缺陷分類單元，其基于上述特征量算出單元所算出的上述特征量，將上述缺陷區域的缺陷分類為相對于上述薄膜在上述檢查對象物的內部側存在異物的膜內異物缺陷，或者分類為相對于上述薄膜在上述檢查對象物的外部側存在異物的膜上異物缺陷。

8.一種缺陷分析方法，采用對拍攝在表面形成有薄膜的檢查對象物而得到的檢查圖像中檢測出的缺陷區域的缺陷進行分類的缺陷分類裝置，其特征在于，具備：

特征量算出步驟，算出表示作為上述缺陷區域的一部分的沿著該缺陷區域的外周的環狀的區域即外周區域中包含的像素的顏色和作為上述缺陷區域外的區域的與上述外周區域相鄰的非缺陷區域的像素的顏色之間的差異的大小的特征量；以及

缺陷分類步驟，基于在上述特征量算出步驟中算出的上述特征量，將上述缺陷區域的缺陷分類為相對于上述薄膜在上述檢查對象物的內部側存在異物的膜內異物缺陷，或者分類為相對于上述薄膜在上述檢查對象物的外部側存在異物的膜上異物缺陷。