[發(fā)明專利]布線基板有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380038723.4 | 申請日: | 2013-08-23 |
| 公開(公告)號: | CN104508810B | 公開(公告)日: | 2017-08-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 西田智弘;森圣二;若園誠 | 申請(專利權(quán))人: | 日本特殊陶業(yè)株式會社 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60;H01L23/12;H05K3/28;H05K3/34 |
| 代理公司: | 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11277 | 代理人: | 劉新宇,張會華 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 布線 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及布線基板。
背景技術(shù)
對于布線基板而言,已知有構(gòu)成為能夠安裝半導(dǎo)體芯片的布線基板(例如,參照專利文獻(xiàn)1、2)。在這樣的布線基板上形成有連接端子,該連接端子構(gòu)成為能夠與半導(dǎo)體芯片連接。
在專利文獻(xiàn)1中記載了這樣的技術(shù):為了防止因鍍敷材料導(dǎo)致連接端子之間發(fā)生電短路,而形成具有開口的絕緣層,該開口能使多個連接端子暴露,在該開口處的多個連接端子之間形成絕緣物,之后,對多個連接端子實施鍍敷。在專利文獻(xiàn)2中記載了這樣的技術(shù):為了防止因軟釬料導(dǎo)致連接端子之間發(fā)生電短路,而將形成在連接端子之間的絕緣層減薄至連接端子的厚度以下。
在向布線基板安裝半導(dǎo)體芯片時,將布線基板的連接端子釬焊于半導(dǎo)體芯片,并且向連接端子周圍的布線基板與半導(dǎo)體芯片之間的間隙填充液狀固化性樹脂,該液狀固化性樹脂還被稱作填底膠(underfill)(例如,參照專利文獻(xiàn)3)。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2007-103648號公報
專利文獻(xiàn)2:日本特開2011-192692號公報
專利文獻(xiàn)3:日本特開2010-153495號公報
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題
在專利文獻(xiàn)1、2中,考慮到了防止因鍍敷、軟釬料導(dǎo)致連接端子之間發(fā)生短路的情況,但對于向連接端子周圍填充的填底膠沒有進行充分的考慮,因而存在這樣的問題:有時會形成空隙(空洞),該空隙是因填底膠的流動受到阻礙、填底膠的填充不良而產(chǎn)生的。在專利文獻(xiàn)3中,沒有對填底膠被吸入布線基板與半導(dǎo)體芯片之間的間隙后的流動情況進行充分的考慮,因而存在這樣的問題:有時會形成因填底膠的填充不良而產(chǎn)生的空隙。
用于解決問題的方案
本發(fā)明是為了解決所述問題而做成的,能夠通過以下的技術(shù)方案實現(xiàn)。
(1)根據(jù)本發(fā)明的一技術(shù)方案,提供一種布線基板,該布線基板包括:基層,其具有絕緣性;絕緣層,其層疊于所述基層,具有第1表面和第2表面,該第1表面形成有開口部,該第2表面在所述開口部的內(nèi)側(cè)相對于所述第1表面向所述基層側(cè)凹陷;以及連接端子,其具有導(dǎo)電性,在所述開口部的內(nèi)側(cè)自所述絕緣層突出。在該布線基板中,所述第2表面在所述開口部的內(nèi)側(cè)形成在從所述第1表面到所述連接端子的整個范圍內(nèi);在沿著所述絕緣層相對于所述基層層疊的層疊方向的平面、即剖面中,自所述第2表面中的任意點朝向所述絕緣層外側(cè)的法線、同自所述任意點以與所述第1表面平行的方式朝向所述連接端子的平行線所成的角度大于0°且小于90°。采用該技術(shù)方案的布線基板,在第2表面的各個部位將填底膠的流動向連接端子側(cè)引導(dǎo),從而能夠使填底膠的流動穩(wěn)定化。其結(jié)果,能夠抑制形成因填底膠的填充不良而產(chǎn)生的空隙。
(2)在所述技術(shù)方案的布線基板中,也可以是,所述第2表面由曲面構(gòu)成。與第2表面由平面構(gòu)成的情況相比,采用該技術(shù)方案的布線基板,第2表面的與填底膠接觸的表面積增加,因此能夠提高第2表面與填底膠之間的密合性。并且,與第2表面由平面構(gòu)成的情況相比,絕緣層的隨著填底膠的固化而產(chǎn)生的應(yīng)力減小,因此能夠抑制絕緣層出現(xiàn)開裂(裂紋)。
(3)在所述技術(shù)方案的布線基板中,也可以是,所述第2表面由平面構(gòu)成。與第2表面由曲面構(gòu)成的情況相比,采用該技術(shù)方案的布線基板,填底膠在第2表面之上流動的距離縮短,因此能夠縮短填充填底膠所需要的時間。
(4)在所述技術(shù)方案的布線基板中,也可以是,所述第2表面的表面粗糙度大于所述第1表面的表面粗糙度。采用該技術(shù)方案的布線基板,不會阻礙填底膠的流動性,能夠利用毛細(xì)管現(xiàn)象使填底膠遍及第2表面上的各個部位。
本發(fā)明也能夠通過除布線基板以外的各種形式實現(xiàn)。例如,能夠通過包括布線基板的裝置、制造布線基板的制造方法等形式實現(xiàn)。
附圖說明
圖1是示意性地表示第1實施方式的布線基板的結(jié)構(gòu)的局部剖面圖。
圖2是示意性地表示安裝有半導(dǎo)體芯片的布線基板的結(jié)構(gòu)的局部剖面圖。
圖3是示意性地表示第2實施方式的布線基板的結(jié)構(gòu)的局部剖面圖。
圖4是示意性地表示第3實施方式的布線基板的結(jié)構(gòu)的局部剖面圖。
圖5是示意性地表示第4實施方式的布線基板的結(jié)構(gòu)的局部剖面圖。
具體實施方式
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





