[發明專利]感光性樹脂元件的制造方法

有效

• 申請號: 201380038469.8
• 申請日: 2013-07-19
• 公開（公告）號: CN104471482B
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 五十嵐勉;木野智博
• 申請（專利權）人: 旭化成株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/033
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

本發明的課題是提供生產率優異且外觀良好的感光性樹脂元件的制造方法，提供感光性樹脂元件的制造方法，其包括以下的工序：將(a)羧基含量以酸當量計為100～600、且重均分子量為5000～500000的粘結劑用樹脂、(b)能夠光聚合的不飽和化合物、(c)光聚合引發劑、(d)丙酮和(e)非丙酮溶劑進行調合，從而得到調合液的工序，此處，該(d)丙酮的質量相對于該(d)丙酮和該(e)非丙酮溶劑的總計質量的比率為30質量％～98質量％，并且該調合液中的總固體成分的比率為30質量％～80質量％；以及將該調合液應用于支撐層上并進行干燥，從而在該支撐層上形成感光性樹脂元件的工序。

技術領域

本發明涉及感光性樹脂元件的制造方法等。

背景技術

用于制作印刷電路的感光性樹脂組合物的制造方法一般包括將粘結劑用樹脂、能夠光聚合的不飽和化合物、光聚合引發劑、染料等在以甲乙酮為代表的酮類、以醋酸乙酯為代表的酯類、以四氫呋喃為代表的醚類等為主成分的溶劑中均勻攪拌溶解的工序。例如，專利文獻1中描述了通過使用甲乙酮/1-甲氧基-2-丙醇＝2/1(重量比)的混合溶劑來調制的感光性樹脂調合液。另外，還可以使用模涂機等將所得調合液均勻地涂布在作為支撐層的聚酯薄膜等上，在干燥工序中使溶劑干燥，獲得感光性樹脂層疊體。再有，還可以層壓作為保護層的聚乙烯薄膜等而獲得三層結構的感光性樹脂層疊體。這些層疊體一般稱為干膜光致抗蝕劑(以下簡稱為“DF”)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平11-143069號公報

發明內容

發明要解決的問題

然而，在使用甲乙酮作為溶劑的主成分的現有制造方法中，粘結劑用樹脂與能夠光聚合的不飽和化合物的溶解性和染料等添加劑的溶解性不充分，在過濾調合液時過濾器經常被堵塞。另外，從降低所制造的DF的表面的微小凹凸、降低在外觀的目視檢查中觀察到不均的頻率的觀點出發，仍有改良的余地。

因此，本發明的課題是提供生產率優異且外觀良好的感光性樹脂元件的制造方法。

用于解決問題的方案

本發明人等為了解決上述課題進行了反復深入的研究，結果發現，在制作上述調合液時使用包含丙酮的混合溶劑而制作感光性樹脂組合物時，生產率提高，所制造的DF的外觀沒有不均等，是良好的，由此完成了本發明。即，本發明如下所述。

[1]一種感光性樹脂元件的制造方法，其包括以下的工序：

將(a)羧基含量以酸當量計為100～600、且重均分子量為5000～500000的粘結劑用樹脂、

(b)能夠光聚合的不飽和化合物、

(c)光聚合引發劑、

(d)丙酮、和

(e)非丙酮溶劑

進行調合，從而得到調合液的工序，此處，該(d)丙酮的質量相對于該(d)丙酮和該(e)非丙酮溶劑的總計質量的比率為30質量％～98質量％，并且該調合液中的總固體成分的比率為30質量％～80質量％；以及

將該調合液應用于支撐層上并進行干燥，從而在該支撐層上形成感光性樹脂元件的工序。

[2]根據第[1]項所述的方法，其中，所述(e)非丙酮溶劑選自由醇、酯和醚組成的組。

[3]根據第[2]項所述的方法，其中，所述醇為選自由甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇和正丁醇組成的組。

[4]根據第[3]項所述的方法，其中，所述醇為乙醇。