[發明專利]感光性樹脂元件的制造方法有效
| 申請號: | 201380038469.8 | 申請日: | 2013-07-19 |
| 公開(公告)號: | CN104471482B | 公開(公告)日: | 2019-08-02 |
| 發明(設計)人: | 五十嵐勉;木野智博 | 申請(專利權)人: | 旭化成株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/004 | 分類號: | G03F7/004;G03F7/033 |
| 代理公司: | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 劉新宇;李茂家 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 感光性 樹脂 元件 制造 方法 | ||
1.一種感光性樹脂元件的制造方法,其包括以下的工序:
將(a)羧基含量以酸當量計為100~600、且重均分子量為5000~500000的粘結劑用樹脂、
(b)能夠光聚合的不飽和化合物、
(c)光聚合引發劑、
(d)丙酮、和
(e)乙醇
進行調合,從而得到調合液的工序,此處,該(d)丙酮的質量相對于該(d)丙酮和該(e)乙醇的總計質量的比率為30質量%~98質量%,并且該調合液中的總固體成分的比率為30質量%~80質量%;以及
將該調合液應用于支撐層上并進行干燥,從而在該支撐層上形成感光性樹脂元件的工序。
2.根據權利要求1所述的方法,其中,所述調合液的干燥后的膜厚為5μm~50μm。
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