[發明專利]液浸構件及曝光裝置

有效

• 申請號: 201380038451.8
• 申請日: 2013-07-16
• 公開（公告）號: CN104487897B
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發明（設計）人: 佐藤真路
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 李景輝

1.一種液浸構件，用于通過在光學構件的射出面與基板之間的液體以曝光用光使該基板曝光的液浸曝光裝置，在能于該光學構件下方移動的物體上形成液浸空間，具備：

第1構件，配置在該光學構件周圍的至少一部分，具有第1下面；

第2構件，于該第1構件的下方，配置在該曝光用光的光路周圍的至少一部分，能相對該第1構件移動；以及

第1供應部及第2供應部，其能供應用于形成該液浸空間的液體，

其中該第2構件具備：

與該第1構件的該第1下面通過間隙相對的第2上面；

能與該物體相對的第2下面；以及

配置在該第2下面周圍至少一部分的流體回收部；

其中該第2構件能在與該光學構件的光軸實質垂直的方向移動，該第2供應部能供應液體至該第1下面與該第2上面之間的第1空間。

2.如權利要求1的液浸構件，其進一步具備相對該光路于該第1構件的外側連接于該第2構件的支承構件；

其中通過由驅動裝置使該支承構件移動，該第2構件即能移動。

3.如權利要求1的液浸構件，其中，該液體從該第2上面側的空間及該第2下面側的空間中的一方往另一方的移動受到抑制。

4.如權利要求1的液浸構件，其中，該流體回收部相對該光路配置在該第1構件外側。

5.如權利要求1的液浸構件，其中，該第1構件進一步具有相對該光路朝向外側的外側面；

該第2構件進一步具有通過間隙與該第1構件的該外側面相對的內側面、與從該流體回收部回收的流體流經的回收流路；以及

于該內側面的外側配置該第2構件的該回收流路。

6.如權利要求1的液浸構件，其中，該物體能與該流體回收部相對。

7.如權利要求1的液浸構件，其中，該第2構件的該流體回收部能通過多孔構件的孔回收流體。

8.如權利要求1的液浸構件，其中，該第1供應部配置于該第1構件。

9.如權利要求1的液浸構件，其中，來自該第1供應部的該液體的至少一部分被供應至該第1下面與該第2上面之間的該第1空間；以及

該液浸構件進一步具備能回收來自該第1空間的該液體的液體回收部。

10.如權利要求9的液浸構件，其進一步具備配置在該第1下面、能誘導來自該第1供應部的該液體的至少一部分的誘導部。

11.如權利要求10的液浸構件，其中，該誘導部使該液體的至少一部分流向與該第2構件的移動方向平行的方向。

12.如權利要求1的液浸構件，其進一步具備能回收來自該第1空間的該液體的液體回收部。

13.如權利要求12的液浸構件，其中，該液體回收部配置于該第1構件。

14.如權利要求12的液浸構件，其中，該液體回收部配置在該光路的周圍。

15.如權利要求1的液浸構件，其中，該第2上面對該液體具有撥液性。

16.如權利要求1的液浸構件，其中，該第1構件具有與該光學構件的側面相對的相對面；以及具有設置成該側面與該相對面之間的液體的至少一部分流于該第2上面的流路。

17.如權利要求16的液浸構件，其進一步具備能回收流于該第2上面的該液體的液體回收部。

18.如權利要求17的液浸構件，其中，該液體回收部能回收來自該第1空間的該液體。

19.如權利要求1的液浸構件，其中，該第2下面的至少一部分于相對該光路的放射方向朝外側向上方傾斜。

20.如權利要求1的液浸構件，其具備相對該光路配置在該第2構件的外側、能回收流體的第3構件。

21.如權利要求20的液浸構件，其中，該第3構件能通過多孔構件回收流體。

22.如權利要求20的液浸構件，其中，該第3構件能與該第2構件一起移動。

23.如權利要求1的液浸構件，其中，該第1構件實質上不移動。

24.如權利要求1的液浸構件，其中，該第2構件能與該曝光用光從該射出面射出的期間的至少一部分并行移動。