[發明專利]掩模單元和蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201380035621.7
• 申請日: 2013-04-15
• 公開（公告）號: CN104428439A
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 越智貴志;川戶伸一;大崎智文;二星學;小坂知裕;塚本優人;菊池克浩
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及包括掩模單元的蒸鍍裝置，該掩模單元包括蒸鍍掩模和用于保持蒸鍍掩模的蒸鍍掩模保持部件。

背景技術

近年來，在各種商品和領域有效利用平板顯示器，要求平板顯示器的進一步的大型化、高畫質化、低消耗電力化。

這種狀況下，具有利用有機材料的電致發光(Electroluminescence，以下記作“EL”)的有機EL元件的有機EL顯示裝置，作為在全固體型且低電壓驅動、高速響應性、自發光性等方面優秀的平板顯示器，備受矚目。

有機EL顯示裝置例如具有以下結構：在由設置有TFT(薄膜晶體管)的玻璃基板構成的基板上，設置有與TFT連接的有機EL元件。

有機EL元件，是能夠利用低電壓直流驅動的高亮度發光的發光元件，具有依次層疊第一電極、有機EL層和第二電極的結構。其中，第一電極與TFT連接。另外，在第一電極與第二電極之間，作為上述有機EL層，設置有層疊了空穴注入層、空穴輸送層、電子阻擋層、發光層、空穴阻擋層、電子輸送層、電子注入層等的有機層。

全彩的有機EL顯示裝置，一般將紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)各色的有機EL元件作為子像素在基板上排列形成，利用TFT使這些有機EL元件有選擇地以期望的亮度發光，由此進行圖像顯示。

這種有機EL顯示裝置的發光部中的有機EL元件，一般由有機膜的層疊蒸鍍形成。有機EL顯示裝置的制造中，至少由發出各色光的有機發光材料構成的發光層，按每個作為發光元件的有機EL元件以規定的圖案成膜。

層疊蒸鍍的規定圖案的成膜中，除了能夠使用例如被稱為蔭罩(Shadow?mask)的蒸鍍掩模的蒸鍍法以外，還能夠使用噴墨法、激光轉印法等。其中，當前使用蒸鍍掩模的真空蒸鍍法是最常用的(例如參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本公開專利公報《特開2006-164815號公報(公開日：2006年6月22)》

發明內容

發明要解決的技術問題

但是，像這樣在使用蒸鍍掩模進行蒸鍍的情況下，當基板尺寸變大時，隨之蒸鍍掩模也變大。

其結果是，因蒸鍍掩模的自重導致的撓曲和延伸，會發生蒸鍍掩模的翹曲現象，在蒸鍍所使用的被成膜基板與蒸鍍掩模之間產生間隙。

圖13是表示現有的蒸鍍掩模的撓曲導致的問題點的截面圖。圖13示意性地表示現有的蒸鍍裝置內部的主要構成要素的概略結構。

如圖13所示，使用蒸鍍掩模301的蒸鍍中，在與被成膜基板200相反的一側配置有蒸鍍源310，蒸鍍源310與被成膜基板200之間隔著蒸鍍掩模301。

有機發光材料等蒸鍍材料，在高真空下加熱、升華，由此作為蒸鍍顆粒從蒸鍍源310出射。

在使用了蒸鍍掩模301的蒸鍍中，如圖13所示，在蒸鍍掩模301設置有與蒸鍍區域的一部分的圖案對應的開口部302，經由該開口部302使蒸鍍顆粒蒸鍍到被成膜基板200上由此進行圖案形成，以使得作為目標的蒸鍍區域以外的區域不附著蒸鍍顆粒。

作為蒸鍍顆粒從蒸鍍源310出射的蒸鍍材料，通過設置于蒸鍍掩模301的開口部302被蒸鍍到被成膜基板200。

由此，僅在與開口部302對應的被成膜基板200的規定的位置，蒸鍍形成具有期望的成膜圖案的有機膜作為蒸鍍膜。另外，有機EL蒸鍍工藝的發光層的蒸鍍，按發光層的每個顏色進行(將之稱為“分別涂敷蒸鍍”)。

在這樣的蒸鍍工藝中，在被成膜基板200使用大型基板的情況下，伴隨被成膜基板200的大型化蒸鍍掩模301也大型化，由此如圖13的二點劃線所示，在蒸鍍掩模301發生自重導致的撓曲。

從蒸鍍源310射出的蒸鍍顆粒，呈放射狀地飛散而蒸鍍到被成膜基板200。此時，蒸鍍顆粒從蒸鍍源310具有角度地飛散，所以蒸鍍掩模301的撓曲導致的高度方向的位置偏移，呈現橫向的位置偏移。

因此，當蒸鍍掩模301發生撓曲時，如圖13的二點劃線所示，在蒸鍍源310的正上方的位置P1不發生蒸鍍位置的偏移，而在從蒸鍍源310離開的位置P2、P3蒸鍍位置發生偏移。

因此，在例如如上所述RGB分別涂敷方式的大型有機EL蒸鍍工藝中，當蒸鍍掩模301發生撓曲時，蒸鍍位置精度降低，不能進行位置精度高的圖案形成，會發生蒸鍍位置偏移或混色，難以實現高精細化。

另外，這樣的問題在使用與被成膜基板200同等尺寸的蒸鍍掩模作為蒸鍍掩模301的情況下顯得更加顯著。