[發明專利]壓電器件

有效

• 申請號: 201380029622.0
• 申請日: 2013-05-14
• 公開（公告）號: CN104364924B
• 公開（公告）日: 2019-01-08
• 發明（設計）人: 佐久間仁志;倉知克行;會田康弘;前島和彥;中島真由美
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: H01L41/047
• 分類號: H01L41/047;H01L41/08
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

一種壓電器件(100A～100D)，具有第一電極膜(4)、設置在第一電極膜上的壓電膜(3)、以及設置在壓電膜上的第二電極膜(8)。一對電極膜中的至少一者由合金構成，并且合金的主成分是選自Ti、Al、Mg和Zn中的金屬。

技術領域

本發明涉及壓電器件。

背景技術

以往，如專利文獻1或2中所公開的，已知的有具有壓電膜和位于該壓電膜的兩側的一對電極膜的壓電器件。已知的電極膜材料是貴金屬諸如Au、Pt和Ir。

引文列表

專利文獻

專利文獻1：日本特開2010-103194號公報

專利文獻2：日本特開2006-286911號公報

發明內容

所要解決的技術問題

然而，要求進一步減少壓電器件的成本。本發明是鑒于該問題而完成的并且提供一種能夠進一步減少成本的壓電器件。

解決技術問題的手段

根據本發明的壓電器件包括第一電極膜、設置在第一電極膜上的壓電膜、以及設置在壓電膜上的第二電極膜。一對電極膜的至少一個由合金構成，并且合金的主成分是選自Ti、Al、Mg和Zn中的金屬。

(Ti合金)

合金優選是含有Ti作為主成分的合金。更優選地，合金的主成分是Ti并且合金含有Al作為副成分。此外，合金優選是含有90～96原子％(以下at％)的Ti和4～10at％的Al的合金。

另一種優選的配置是：合金的主成分是Ti，并且合金含有Al和V 作為副成分。在這種情況下，合金優選是含有90～96at％的Ti、2～7at％的Al和2～5at％的V的合金。

(Mg合金)

前述合金優選是含有Mg作為主成分的合金。更優選地，合金的主成分為Mg并且合金含有Al作為副成分。此外，合金優選是含有 92～98at％的Mg和2～8at％的Al的合金。

(Al合金)

前述合金優選是含有Al作為主成分的合金。更優選地，合金的主成分是Al并且合金含有選自Cu、Mg和Mn中的元素作為副成分。此外，合金優選是含有90～99at％的Al和1～6at％的選自Cu、Mg和Mn 中的元素的合金。

(Zn合金)

前述合金優選是含有Zn作為主成分的合金。更優選地，合金的主成分是Zn并且合金含有Al作為副成分。合金優選是含有80～92at％的 Zn和8～20at％的Al的合金。

一對電極膜優選具有非取向或非結晶的結構。壓電膜優選具有擇優取向結構。

在本發明中，“擇優取向結構”是指的在X射線衍射測量中，歸屬于某個晶格面的峰的強度不低于所有峰的總強度的50％的結構。“非取向結構”是指在X射線衍射測量中，歸屬于任何晶格面的峰的強度低于所有峰的總強度的50％的結構。“非結晶結構”是指在X射線衍射測量中，沒有觀察到歸屬于晶格面的峰。

本發明中的電極膜可以含有除了上述元素之外的金屬元素，并且還可以含有除了金屬之外的元素。

在本發明中，形成一對電極膜的每種金屬元素的氧化還原電位優選高于形成壓電膜的每種金屬元素的氧化還原電位。這使得壓電膜在不被電極膜還原的情況下化學穩定和電穩定，由此進一步提高壓電器件的壽命和可靠性。

壓電膜的一個主面可以與第一電極膜接觸，并且壓電膜的另一個主面可以與第二電極膜接觸(參考圖1中的(b))。