[發明專利]用于真空隔絕的管路的適配器

有效

• 申請號: 201380024949.9
• 申請日: 2013-05-06
• 公開（公告）號: CN104685285B
• 公開（公告）日: 2017-03-08
• 發明（設計）人: M·布勒斯
• 申請（專利權）人: 歐瑞康先進科技股份公司
• 主分類號: F16L59/14
• 分類號: F16L59/14;F16L41/03
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 梁冰,胡斌

技術領域

下文描述的發明涉及一種適配器或者說連接件，其用于將真空隔絕的管路連接到真空加工設備上。

背景技術

真空加工設備是這樣的系統，其中工件或者基質在加工腔中在真空條件下、即低于大氣壓力的環境壓力下得到處理或者說加工。這種系統在現有技術中已經被公開并且用于在減小了的壓力條件下的熱處理、涂裝、蝕刻工藝和很多其他工藝。

多種類型的真空加工設備使用預真空鎖或者說裝載鎖(Schleuse/Load?Lock)以便使用與處理腔相比更小的容腔來將工件放入到處理腔中或者從處理腔中取出。其優點在于，與處理腔相比，所述更小的容腔能夠更快地被排空(抽成真空)，所述處理腔由此能夠更長時間地保持在低的目標壓力下。此外這樣能夠更簡單地保持所述處理腔不受有害的環境氣體如水蒸汽、揮發性的有機化合物等影響。這些污染物中的一些僅能夠非常困難地借助真空泵去除，因此泵功率經常通過所謂的邁斯納體(Meissner-Falle)來支持。簡單來說，邁斯納體簡化地表示用于微量氣體或者說殘余氣體的冷卻了的冷凝表面、尤其用于真空中的水蒸汽的冷凝表面。其通常設計為用銅或不銹鋼制成的管道，該管道以螺旋的形式或者平面地以曲折形式布置在真空腔中，以便提供盡可能大的冷卻了的表面。作為冷卻液主要可考慮市場上常見的無氟的冷卻劑或者液態氣體(例如氮氣)。

冷卻液必須從源頭(例如冷卻裝置、儲罐)通過隔絕的管路導入到真空處理腔中并且再從該真空處理腔中導出。為此通常使用真空隔絕的管路，其中柔性的管路或者管道在外側的真空密封的保護罩中得到導引。位于原本的冷卻劑管路和外側套管之間的中間腔被抽成真空，從而使通往周圍環境的熱量損失最小化。這種真空管路在市場上很常見，其能夠隨時使用(被預抽成真空)。中間腔通常設有吸氣材料，該吸氣材料能夠補償可能存在的泄漏或者殘余氣體。所述管路通過處理腔壁中的真空穿引部與邁斯納體連接，該邁斯納體根據應用類型能夠位于處理腔中或者預真空鎖中。

所述真空管路敏感且不能可靠地長時間真空密封。拆卸和替換或者說后續抽真空需要較高的維護費用，該維護費用不利于尤其用于工業用途的真空加工設備的經濟性。

發明內容

本發明要克服現有技術的缺點。為此提出一種真空適配器，其適用于將冷卻管路穿引到真空加工設備中。所述管路在大氣環境中在真空隔絕的導入管路30、31中得到導引。適配器4具有中間容腔2，該中間容腔2一方面與真空隔絕的導入管路30、31的至少一個隔絕中間腔32、33連接并且另一方面與真空泵連接。

根據本發明的解決方案在于真空適配器，該真空適配器允許將冷卻劑管路連接到真空處理系統的冷卻體(Kühlfalle)上并且同時允許有通往管路的真空隔絕部的入口。通過所述入口能夠將存在于處理系統處的前級真空泵與真空隔絕部有效地連接，從而例如借助閥使得泵功率能夠用于將導入管路的隔絕中間腔抽成真空。這優選在系統本身暫時不需要該泵功率的情況下進行。這能夠根據需要進行或者出于預防性維護的目的周期性或者持續地進行、優選受控地通過例如真空處理設備本身的控制裝置的例行程序進行。

具體實施方式

附圖中以剖視圖示出了真空適配器4。該真空適配器能夠安裝在處理設備的壁上或者甚至集成到所述壁中。附圖中示出了真空腔1并且設備的壁以6、7標明。草繪出的冷卻體10由導入管路及導出管路11、12供給。真空適配器4包括腔2，該腔通過泵接頭5與真空泵連接。腔2借助密封裝置13、14相對于真空腔1密封，該密封裝置13、14允許冷卻劑導入管路12、11通過。以理想的方式，密封裝置13、14還負責相對于適配器4或者壁接頭6、7對管路11、12進行熱隔絕。附圖標記13表示簡單的墊圈，該墊圈能夠由導熱差的材料制成。細節14表示套管，該套管例如被旋入到適配器4的壁中并且通過突出到腔2中的突出部增大了壁與管路11的保持件之間的熱傳導阻抗。可被抽成真空的腔2朝向真空導入管路30、31的隔絕中間腔32或者說33敞開，也就是說允許在不需機械地分離所述連接部或者不影響腔1中的真空的情況下將所述隔絕中間腔抽成真空。真空管路30、31由外罩20、21組成，所述外罩能夠設計為固定的或者可動的管道、波紋管、罩體或者軟管。內導體22、23是通往適配器4或者從適配器4出來的冷卻劑管路。26和27是外側套管20、21通往適配器4的法蘭連接部；作為替代方案，該連接部也能夠以螺紋連接、焊接或者借助另外合適的連接方式實現。這同樣適用于內導體22、23的所標明的法蘭24、25。隔絕中間腔32、33或者其形狀穩定性能夠通過(這里未示出的)間隔件保證。

如附圖表明的那樣，隔絕中間腔32、33通過適配器4的內腔2與可能的泵持久地連接。由此能夠確保導入管路30、31的真空隔絕部的功能性，必要時甚至可全自動地進行監控。此外能夠在中間腔2中安裝壓力傳感器，該壓力傳感器顯示出隔絕真空的減弱并且在真空腔1中的冷凍能力降低之前發出警告消息。當可能由此停止或者推遲加工步驟時，能夠避免腔1中的工件上的損壞或者說缺陷。