[發(fā)明專(zhuān)利]用于真空隔絕的管路的適配器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380024949.9
• 申請(qǐng)日: 2013-05-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104685285B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·布勒斯
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 歐瑞康先進(jìn)科技股份公司
• 主分類(lèi)號(hào): F16L59/14
• 分類(lèi)號(hào): F16L59/14;F16L41/03
• 代理公司: 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 梁冰,胡斌

1.真空適配器(4)，用于將冷卻劑管路(11、12、22、23)穿引到帶有真空腔(1)的真空加工設(shè)備中，其中所述冷卻劑管路在大氣環(huán)境中在真空隔絕的導(dǎo)入管路(30、31)中得到導(dǎo)引，其特征在于，所述真空適配器(4)具有中間容腔(2)，所述中間容腔(2)一方面與所述真空隔絕的導(dǎo)入管路(30、31)的至少一個(gè)隔絕中間腔(32、33)連接并且另一方面與真空泵連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空適配器，其特征在于，所述真空泵為前級(jí)真空泵并且泵功率能夠至少暫時(shí)用于將圍繞所述冷卻劑管路(22、23)的隔絕中間腔(32、33)抽成真空。

3.根據(jù)權(quán)利要求1-2所述的真空適配器，其特征在于，所述中間容腔(2)通過(guò)泵接頭(5)與所述真空泵有效地連接并且借助密封裝置(13、14)相對(duì)于所述真空腔(1)密封，所述密封裝置(13、14)允許所述冷卻劑導(dǎo)入管路(12、11)通過(guò)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3所述的真空適配器，其特征在于，所述密封裝置(13、14)還確保了所述管路(11、12)相對(duì)于所述適配器(4)或者壁接頭(6、7)的熱隔絕。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空適配器，其特征在于，所述密封裝置設(shè)計(jì)為由導(dǎo)熱差的材料制成的墊圈(13)或者設(shè)計(jì)為套管(14)，所述套管被旋入到所述適配器(4)的壁中并且具有突出到所述中間容腔(2)中的突出部并且增大了所述壁與所述管路(11)的保持件之間的熱傳導(dǎo)阻抗。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5所述的真空適配器，其特征在于，所述中間容腔(2)朝向所述真空導(dǎo)入管路(30、31)的隔絕中間腔(32、33)敞開(kāi)并且由此允許在不需機(jī)械地分離冷卻劑連接部的情況下將所述隔絕中間腔32或者33抽成真空。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6所述的真空適配器，其特征在于，所述真空管路(30、31)由外罩(20、21)組成，所述外罩(20、21)設(shè)計(jì)為固定的或者可動(dòng)的管道、波紋管、罩體或者軟管并且具有作為冷卻劑管路(22、23)的內(nèi)導(dǎo)體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7所述的真空適配器，其特征在于，所述真空適配器在所述中間腔(2)中具有壓力傳感器，所述壓力傳感器適用于顯示隔絕真空的減弱。